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증기 셀 및 이를 제조하는 방법

  • 기술번호 : KST2019017536
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 특정 원소의 증기 셀(vapor cell)을 제조하는 방법에 있어서, 제1 접합면을 포함하는 제1 유리 벽체 및 제2 접합면을 포함하는 제2 유리 벽체를 준비하는 단계, 제1 접합면 및 제2 접합면 상에 실링 페이스트(sealing paste)를 도포하는 단계, 진공 환경에서 특정 원소의 원자들을 제1 유리 벽체 및 제2 유리 벽체 중 적어도 하나의 내부 표면에 증착(evaporation)시키는 단계, 진공 환경에서 제1 접합면 및 제2 접합면의 접합을 수행하여 원자들이 위치하는 내부 공간을 형성하는 단계, 및 접합에 의해 형성되는 실링 페이스트의 접합층에 레이저 펄스를 조사하여 내부 공간을 밀봉하는 단계를 포함하는 방법이 개시된다.
Int. CL G04F 5/14 (2006.01.01) G01C 19/62 (2006.01.01) B23K 26/0622 (2014.01.01) B23K 26/06 (2014.01.01) H01L 51/52 (2006.01.01)
CPC G04F 5/14(2013.01) G04F 5/14(2013.01) G04F 5/14(2013.01) G04F 5/14(2013.01) G04F 5/14(2013.01)
출원번호/일자 1020190015561 (2019.02.11)
출원인 국방과학연구소
등록번호/일자 10-2018893-0000 (2019.08.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190905) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.02.11)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태현 대전광역시 유성구
2 임신혁 대전광역시 유성구
3 이성의 경기도 성남시 분당구
4 김용우 경기도 시흥시 산
5 권택용 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국방과학연구소 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-0140947-10
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2019-0147505-62
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.04.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0245666-16
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0561857-17
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2019-0561856-72
6 등록결정서
Decision to grant
2019.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0620398-26
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
특정 원소의 증기 셀(vapor cell)을 제조하는 방법에 있어서,제1 접합면을 포함하는 제1 유리 벽체 및 제2 접합면을 포함하는 제2 유리 벽체를 준비하는 단계;상기 제1 접합면 및 상기 제2 접합면 상에 실링 페이스트(sealing paste)를 도포하는 단계;진공 환경에서 상기 특정 원소의 원자들을 상기 제1 유리 벽체 및 상기 제2 유리 벽체 중 적어도 하나의 내부 표면에 증착(evaporation)시키는 단계;상기 진공 환경에서 상기 제1 접합면 및 상기 제2 접합면의 접합을 수행하여 상기 원자들이 위치하는 내부 공간을 형성하는 단계; 및상기 접합에 의해 형성되는 상기 실링 페이스트의 접합층에 레이저 펄스를 조사하여 상기 내부 공간을 밀봉하는 단계를 포함하고,상기 제1 유리 벽체 및 상기 제2 유리 벽체는 전면(全面)이 레이저를 투과시키는 투명 재질로 형성되고, 상기 투명 재질은 붕규산염(borosilicate) 및 알루미노규산염(aluminosilicate) 중 적어도 하나를 포함하는, 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 밀봉하는 단계는,해칭(hatching) 간격, 해칭 반복 주파수 및 해칭 스캔 속도 중 적어도 하나를 포함하는 해칭 패턴에 따라 상기 접합층에 상기 레이저 펄스를 조사하는 단계를 포함하는, 방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 밀봉하는 단계는,파장, 출력, 직경 및 초점 거리 중 적어도 하나를 포함하는 상기 레이저 펄스의 동작 사양을 상기 실링 페이스트의 물성에 따라 설정하는 단계를 포함하는, 방법
4 4
제 1항에 있어서,상기 증착시키는 단계는,상기 제1 유리 벽체 및 상기 제2 유리 벽체를 냉각하는 단계; 및전류 공급을 통해 상기 원자들을 가열하여 상기 원자들을 방출시키는 단계를 포함하는, 방법
5 5
제 1항에 있어서,상기 도포하는 단계는,상기 제1 접합면 및 상기 제2 접합면 상에 상기 실링 페이스트를 인쇄하여 인쇄층을 형성하는 단계;상기 인쇄층에 대한 건조 및 소성(baking)을 수행하여 고밀도층을 형성하는 단계; 및상기 고밀도층에 대한 연마(polishing)를 수행하는 단계를 포함하는, 방법
6 6
제 1항에 있어서,상기 접합이 수행되기 이전에, 상기 진공 환경을 구현하는 용기에 노블 가스(noble gas) 및 버퍼 가스(buffer gas) 중 적어도 하나를 주입하는 단계를 더 포함하는, 방법
7 7
제 1항에 있어서,상기 실링 페이스트는 글래스 프릿(glass frit) 및 결합제(binder)를 포함하는 페이스트(paste)와 점도 조절용 첨가제로 구성되는, 방법
8 8
제 1항에 있어서,상기 진공 환경의 진공도는 10-6 Torr 이하인, 방법
9 9
제 1항에 있어서,상기 특정 원소는 알칼리 금속(alkali metal) 중 어느 하나인, 방법
10 10
제 1항에 있어서,상기 증기 셀의 형상은 다각기둥 형상, 원기둥 형상 및 구 형상 중 어느 하나인, 방법
11 11
제 1항 내지 제 10항 중 어느 한 항의 방법에 따라 제조되는 증기 셀
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.