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(a) 출발 물질로써, α-Al2O3 분말과 Cu 분말을 상이한 비율로 혼합되며, 퍼니스 내에서 150℃로 건조되어 혼합 분말들로부터 수분을 제거하고, 상기 혼합 분말들이 에어로졸 챔버에 놓여지는 단계; (b) 캐리어 가스로 사용된 헬륨 가스가 유량 제어기를 사용하여 주입되며, 상기 헬륨 가스와 바이브레이터는 준비된 혼합 분말을 확산시켜 에어로졸을 생성하며, 상기 캐리어 가스와 상기 바이브레이터에 의해 생성된 에어로졸은 에어로졸 챔버와 증착 챔버 사이의 압력차에 의해 노즐로부터 분사되고 상기 증착 챔버로 전달되며, 에어로졸이 노즐에 의해 가속되어 기판에 살포되는 단계; (c) 상기 노즐로부터 주입된 분말이, 미리-설계된 X-Y 축을 따라 이동하는 상기 기판에 충돌하여 밀(dense)하게 기판 상에 증착되며, 에어로졸 증착 공정을 통해 필름 저항(film resistor)용 접착 강도를 갖는 Al2O3/Cu 복합 필름의 접착 필름을 생성하는 단계를 포함하며, 상기 혼합 분말은 각진 형태의 0
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제1항에 있어서, 상기 혼합 분말은 상기 α-Al2O3 분말 및 상기 Cu 분말들을 사용하여 혼합된 1
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제1항에 있어서, 상기 Al2O3/Cu 복합 필름의 미세구조는 주사 전자 현미경(SEM) 또는 원자 현미경(AFM)을 사용하여 상이한 Cu와 α-Al2O3 함량에 따라 가변되는 표면 형태(surface morphology)를 관찰하였으며, 증착 필름 상에서 상기 α-Al2O3와 상기 Cu 분말의 분포와 함량은 에너지 분산형 스테레오스코피 매핑 분석(EDS mapping analysis)에 의해 분석되었으며, Al2O3/Cu 복합 필름의 저항도(resistivity)은 4-점 프로브 시스템을 사용하여 측정 및 평가되었으며, 코팅 필름의 표면 경도(surface hardness)를 측정하기 위해, 필름에 인가되는 정상 부하를 가변시킴으로써 scratch test가 수행되는, 필름 저항의 적용을 위한 에어로졸 증착 공정을 통해 Al2O3/Cu 복합 필름의 접착 방법
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제4항에 있어서, 상기 알루미나 기판과 상기 Al2O3/Cu 복합 필름 사이의 접착 강도(adhesive strength)는 범용 시험기를 사용하여 측정되는, 필름 저항의 적용을 위한 에어로졸 증착 공정을 통해 Al2O3/Cu 복합 필름의 접착 방법
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제1항에 있어서, 원자 현미경(AFM) 분석을 수행하여, 다른 Cu 함량을 갖는 Al2O3/Cu 복합 필름들의 표면 형태는 Cu 분말 함량이 높을수록, 그 표면의 RMS 거칠기(RMS roughness)가 증가되었으며, 80 wt%를 초과하는 Cu 함량을 갖는 Al2O3/Cu 복합 필름들은 RMS 거칠기가 상승했으며, 50, 70, 80, 및 90 wt%의 Cu 함량을 갖는 Al2O3/Cu 복합 필름의 RMS 거칠기 값은 각각, 111 ㎚, 121 ㎚, 124 ㎚, 및 152 ㎚ 였으며, 표면 거칠기 변화(surface roughness variation)의 주된 이유는 α-Al2O3/Cu 혼합 분말이 고속으로 Al2O3 기판과 충돌할 때, α-Al2O3 입자들보다 크기가 더 큰 연성 Cu 입자들이 충분히 분열되지 않으며, 경질 세라믹 입자들(hard ceramic particles)에 의해 야기되는 해머링 효과가 분말들을 파쇄하여, 표면 거칠기(low RMS roughness)를 가져올 수 있으며, 반면에, 상기 혼합 분말에서 후속 Cu 입자들은 Cu 재료의 경도(low hardness)와 연성 기계적 성질 때문에 해머링 효과에 영향받을 수 없었으며 이러한 이유들로, 거친 필름 표면(rough film surface)이 50, 70, 80, 및 90 wt%의 Cu 함량을 갖는 Cu를 포함하는 Al2O3/Cu 복합 필름의 경우에 나타나는, 필름 저항의 적용을 위한 에어로졸 증착 공정을 통해 Al2O3/Cu 복합 필름의 접착 방법
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제1항에 있어서, 상기 에어로졸(AD) 공정을 사용하여 Cu 함량이 증가함에 따라 저항도(resitivity)는 감소하며, 이는 Cu 입자들 사이의 연결이 증가되며, 반대로, 상기 에어로졸(AD) 공정을 사용하여 Al2O3/Cu 복합 필름의 α-Al2O3 절연체 함량을 증가시키는 것은 필름 저항(film resistors)의 적용을 위한 단위 면적 당 저항(resistance per unit area)을 증가시키는, 필름 저항의 적용을 위한 에어로졸 증착 공정을 통해 Al2O3/Cu 복합 필름의 접착 방법
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제1항에 있어서, α-Al2O3 필름과 기판 간의 접착 강도(adhesion strength)는 12
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제1항에 있어서, 상기 Al2O3/Cu 복합 필름의 기계적 특성으로부터 그 형성 매커니즘을 조사하기 위해, 스크래치 테스트(scratch test)를 통해 Cu 또는 α-Al2O3 함량에 따른 표면의 경도(hardness of the surface)가 조사되었으며, 스크래치 경도(scratch hardness)는 재료의 연성(ductility), 탄성력 상수(elastic stiffness), 응력변형(strain), 및 가소성(plasticity)에 의해 영향을 받으며, 0
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제1항에 있어서, 상기 Al2O3/Cu 복합 필름과 기판 간의 접착 강도(adhesive strength)는 α-Al2O3 함량을 증가시킴에 따라 4
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제1항에 있어서, α-Al2O3와 Cu 모두 50 wt%의 함량을 갖는 상기 혼합 분말이 상기 기판에 증착될 때, 접착 강도(adhesive strength)는 7
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