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레이저 광을 생성하는 레이저 광원부;상기 레이저 광원부로부터 생성된 레이저를 물체광 1과 기준광 2로 나누어 주는 빔분배기 S1;상기 물체광 1의 주파수를 변위시키는 주파수 변위기 AOM;상기 주파수 변위기 AOM에 의해서 회절된 물체광 1의 여러 차수들의 광들 중 1차 회절광인 물체광 3을 제외한 다른 광들을 차단하기 위한 조리개 I1;상기 조리개 I1을 통과한 상기 물체광 3을 진동을 측정하고자 하는 1번 물체 O1의 진동면에 설치된 거울로 향하는 물체광 4와 진동을 측정하고자 하는 2번 물체 O2의 진동면에 설치된 거울로 향하는 물체광 6으로 나누어 주는 빔분배기 S2;물체광 6을 2번 물체 O2의 진동면에 설치된 거울로 향하는 물체광 7이 되도록 방향을 전환시키는 거울 M2;상기 물체광 7은 2번 물체 O2의 진동면에 설치된 거울로 향하도록 하며, 상기 물체광 7이 2번 물체 O2의 진동면에 설치된 거울에서 반사된 후인 물체광 8이 빔분배기 S4로 향하게 하는 빔분배기 S3;2번 물체 O2의 진동면에 설치된 거울에서 반사된 물체광 5가 빔분배기 S2에 의해서 반사된 후 조리개 I1을 통과하고 주파수 변위기 AOM에서 변조된 후 빔분배기 S1에 의해서 반사되고, 상기 주파수 변위기 AOM에 의해서 회절된 물체광 5의 여러 차수들의 광들 중 1차 회절광인 물체광 9를 제외한 다른 광들을 차단하기 위한 조리개 I2;상기 조리개 I2를 통과한 상기 기준광 2 및 상기 물체광 9는 통과하고, 상기 물체광 8은 반사시켜 상기 기준광 2, 상기 물체광 9, 상기 물체광 8이 중첩되게 하는 빔분배기 S4;상기 기준광 2, 상기 물체광 9, 상기 물체광 8의 신호를 생성하는 탐지기 D1;을 포함하는 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제1항에 있어서,물체광 9, 물체광 8, 기준광 10의 광량을 맞추기 위한 필터조립체 F1 및 광 경로 길이를 맞추기 위한 거울 M1, 거울 M2가 부가된 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제1항에 있어서,상기 물체광 5가 상기 주파수 변위기 AOM를 통과 후 변위된 최종 주파수의 상기 물체광 1 대비 변위량은 상기 물체광 3의 변위된 주파수의 물체광 1 대비 변위량의 2배와 상기 물체 O1의 진동면에 설치된 거울에 의해서 변위된 양을 합한 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제1항에 있어서,상기 물체광 5가 빔분배기 S2에 의해서 반사되고, 조리개 I1을 지나며, 주파수 변위기 AOM을 통과하고, 빔분배기 S1에 의해서 반사되는 경로는 상기 물체광 1, 상기 물체광 3, 상기 물체광 4의 경로와 동일한 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제1항에 있어서,상기 물체광 8의 상기 물체광 1 대비 주파수 변위량은 상기 물체광 1이 주파수 변위기 AOM를 통과하면서 변위된 량과 상기 물체 O2의 진동면에 설치된 거울에 의해서 변위된 양을 합한 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제1항에 있어서,빔분배기 S2와 주파수 변위기 AOM 사이의 광경로 길이는 조리개 I1을 사용하여 회절 되는 광을 분해할 수 있는 최소한의 거리 이상이고,빔분배기 S2와 거울 M2 사이의 광 경로 거리는 광량이 허용되는 범위까지인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제2항에 있어서,물체광 1과 물체광 6의 광 경로 길이의 변화에 따라 기준광 10의 광 경로 길이를 간섭 조건에 부합하기 위해 상기 거울 M1, 거울 M2를 사용하여 조절하는 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제1항에 있어서,상기 주파수 변위기 AOM과 상기 조리개 I1 사이의 거리를 제외한 모든 광 경로 길이는 두 개의 진동측정 위치에 따라 조절 가능하며 광원의 광량의 성능에 따라 측정 위치의 제한이 없는 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제1항에 있어서,물체광 1과 물체광 8의 광량을 일치시키기 위한 광 경로 길이를 조절하는 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제2항에 있어서,상기 물체광 1, 상기 물체광 8, 상기 기준광 10의 광량을 일치시키기 위해 상기 필터조립체 F1을 사용하는 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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11
제1항에 있어서,상기 조리개 I1 또는 조리개 I2에서 광량이 가장 강한 1차 회절광뿐만 아니라 다른 고차항의 회절광을 물체광으로 사용할 수 있는 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 장치
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,각 2개 물체 각각의 진동면의 진동을 동시에 측정하기 위해서 1개의 주파수 변위기 및 3개의 빔배분기가 추가로 부가되어 직렬로 연결되는 것인 물체의 진동면의 진동을 측정하는 장치
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a) 레이저 광원부로부터 레이저 광을 조사하는 단계;b) 상기 단계 a)의 레이저를 빔분배기 S1을 사용하여 물체광 1과 기준광 2로 나누는 단계;c) 상기 물체광 1의 주파수를 주파수 변위기 AOM을 사용하여 변조하는 단계;d) 상기 단계 c)의 주파수 변위기 AOM에 의해서 회절된 물체광 1의 여러 차수들의 광들 중 1차 회절광인 물체광 3을 제외한 다른 광들을 조리개 I1을 사용하여 차단하는 단계;e) 상기 물체광 3을 빔분리기 S2를 사용하여 물체광 4와 물체광 6으로 분리한 후 물체광 4를 진동을 측정하고자 하는 1번 물체 O1의 진동면에 설치된 거울로 조사하고 물체광 6을 진동을 측정하고자 하는 2번 물체 O2의 진동면에 설치된 거울로 조사하는 단계;f) 상기 1번 물체 O1의 진동면에 설치된 거울에서 반사된 물체광 5를 상기 조리개 I1를 통과시키고, 상기 주파수 변위기 AOM에 의해서 변조시킨 후 상기 빔분배기 S1에 의해서 반사시킨 후 상기 주파수 변위기 AOM에 의해서 회절된 물체광 5의 여러 차수들의 광들 중 1차 회절광인 물체광 9를 제외한 다른 광들을 조리개 I2를 사용하여 차단하는 단계;g) 상기 기준광 2를 상기 조리개 I2를 통과시킨 후, 상기 물체광 9 및 상기 기준광 2를 빔분배기 S4에서 통과시키고, 상기 2번 물체 O2의 진동면에 설치된 거울에서 반사된 물체광 8을 빔분배기 S4에서 반사시켜, 상기 물체광 9, 상기 기준광 2, 상기 물체광 8을 중첩시켜 탐지기 D1으로 조사하는 단계;를 포함하는 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 방법
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제13항에 있어서,상기 물체광 5가 상기 주파수 변위기 AOM를 통과 후 변위된 최종 주파수의 상기 물체광 1 대비 변위량은 상기 물체광 3의 변위된 주파수의 물체광 1 대비 변위량의 2배와 상기 물체 O1의 진동면에 설치된 거울에 의해서 변위된 양을 합한 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 방법
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제13항에 있어서,상기 물체광 5가 빔분배기 S2에 의해서 반사되고, 조리개 I1을 지나며, 주파수 변위기 AOM을 통과하고, 빔분배기 S1에 의해서 반사되는 경로는 상기 물체광 1, 상기 물체광 3, 상기 물체광 4의 경로와 동일한 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 방법
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제13항에 있어서,상기 물체광 8의 상기 물체광 1 대비 주파수 변위량은 상기 물체광 1이 주파수 변위기 AOM를 통과하면서 변위된 량과 상기 물체 O2의 진동면에 설치된 거울에 의해서 변위된 양을 합한 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 방법
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제13항 에 있어서,상기 조리개 I1 또는 조리개 I2에서 광량이 가장 강한 1차 회절광뿐만 아니라 다른 고차항의 회절광을 물체광으로 사용할 수 있는 것인 두 개의 진동하는 물체의 진동면의 진동을 동시에 측정하는 방법
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제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,각 2개 물체 각각의 진동면의 진동을 동시에 측정하기 위해서 1개의 주파수 변위기 및 3개의 빔배분기가 추가로 부가되어 직렬로 연결되는 것인 물체의 진동면의 진동을 측정하는 방법
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