맞춤기술찾기

이전대상기술

몰리브덴 산화막 나노 구조체 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019017650
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 몰리브덴 산화막 나노 구조체 및 그 제조 방법을 제공한다. 상기 몰리브덴 산화막 나노 구조체 제조 방법은 평평한 상면을 가지는 기판을 제공하고, 상기 투명 기판의 상면 상에 제1 방향으로 연장되고, 몰리브덴 산화막을 포함하는 나노 와이어를 성장시키고, 상기 나노 와이어를 성장시키는 것은, 상기 몰리브덴 산화막의 상기 제1 방향으로 제1 성장률만큼 성장시키고, 상기 몰리브덴 산화막의 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 제2 성장률만큼 성장시키고, 상기 몰리브덴 산화막의 상기 제1 및 제2 방향과 직교하는 제3 방향으로 제3 성장률만큼 성장시키고, 상기 제1 성장률은 상기 제2 성장률보다 크고, 상기 제2 성장률은 상기 제3 성장률보다 크다.
Int. CL C23C 14/08 (2006.01.01) C23C 14/00 (2018.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01)
CPC C23C 14/083(2013.01) C23C 14/083(2013.01) C23C 14/083(2013.01)
출원번호/일자 1020180024278 (2018.02.28)
출원인 인천대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2150836-0000 (2020.08.27)
공개번호/일자 10-2019-0103627 (2019.09.05) 문서열기
공고번호/일자 (20200902) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.02.28)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인천대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 연수구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김준동 인천광역시 연수구
2 박왕희 인천광역시 남동구
3 이경남 인천광역시 남동구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인가산 대한민국 서울 서초구 남부순환로 ****, *층(서초동, 한원빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인천대학교 산학협력단 인천광역시 연수구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2018-0206315-77
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.01.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.03.15 수리 (Accepted) 9-1-2019-0012277-78
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.14 수리 (Accepted) 4-1-2019-5212872-93
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0886492-81
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.02.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0118982-61
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-0118983-17
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2020.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0116837-59
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.04.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0385291-15
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2020-0385290-70
11 등록결정서
Decision to grant
2020.08.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0581759-70
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
평평한 상면을 가지는 기판을 제공하고,리액티브 스퍼터링을 이용하여, 상기 기판의 상면 상에 제1 방향으로 연장되고, 몰리브덴 산화막을 포함하는 나노 와이어를 성장시키는 것을 포함하고,상기 몰리브덴 산화막은 MoO3를 포함하고,상기 제1 방향은 상기 몰리브덴 산화막의 (001) 결정면 방향인 몰리브덴 산화막 나노 구조체 제조 방법
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
제1 항에 있어서,상기 몰리브덴 산화막의 결정계는 사방정계(orthorhombic)인 몰리브덴 산화막 나노 구조체 제조 방법
7 7
제1 항에 있어서,상기 나노 와이어를 성장시키는 것은 200 내지 1000℃의 온도에서 상기 나노 와이어를 증착하는 것을 포함하는 몰리브덴 산화막 나노 구조체 제조 방법
8 8
제1 항에 있어서,상기 나노 와이어를 성장시키는 것은 1 내지 200분의 증착 시간 동안 상기 나노 와이어를 증착하는 것을 포함하는 몰리브덴 산화막 나노 구조체 제조 방법
9 9
제1 항에 있어서,상기 나노 와이어를 성장시키는 것은 10 내지 500W의 DC 파워로 증착하는 것을 포함하는 몰리브덴 산화막 나노 구조체 제조 방법
10 10
삭제
11 11
제1 항에 있어서,상기 나노 와이어를 성장시키는 것은 MoO3 타겟을 이용하여 상기 나노 와이어를 증착하는 것을 포함하는 몰리브덴 산화막 나노 구조체 제조 방법
12 12
제1 항에 있어서,상기 나노 와이어를 성장시키는 것은 순수 Mo 타겟을 이용하여 상기 나노 와이어를 증착하는 것을 포함하는 몰리브덴 산화막 나노 구조체 제조 방법
13 13
제1 항에 있어서,상기 나노 와이어를 성장시키는 것은 Ar 가스와 산소(O2) 가스의 혼합비를 100:0 내지 100:30으로 하여 상기 나노 와이어를 증착하는 것을 포함하는 몰리브덴 산화막 나노 구조체 제조 방법
14 14
삭제
15 15
삭제
16 16
삭제
17 17
삭제
18 18
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 인천대학교 일반연구자사업 산화물 반도체 기반의 투명 태양전지를 이용한 창조적 생태에너지 순환시스템
2 산업통상자원부 인천대학교 에너지기술개발사업 투명 전도체 나노 렌지를 이용한 태양전지 성능향상기술개발