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석션(suction) 기능을 통하여 기판을 홀딩하는 기판 서셉터로서, 상기 기판을 홀딩(holding)하기 위한 상기 석션 기능을 수행하는 생크부; 및상기 생크부와 탈부착되는 콜릿부를 포함하고, 상기 생크부는,하우징부;상기 하우징부의 하면에 마련되고, 하면에 상기 콜릿부의 상단부를 수납하는 콜릿부 수납홈; 상기 하우징부의 하면에서 상기 콜릿부 수납홈과 이격되고, 상기 콜릿부 수납홈을 감싸며 마련되는 코일 수납홈; 및상기 코일 수납홈에 마련되고, 외부로부터 전력을 공급받아 전자기적 인력을 발생시키는 코일을 포함하며,상기 콜릿부는,상기 콜릿부 수납홈에 수납되고, 상기 코일에서 발생되는 전자기적 인력에 의해 상기 생크부와 결합되는 자력 본체; 및상기 자력 본체의 하부에서 상기 자력 본체와 결합하는 탄성 본체를 포함하며,상기 코일은, 상기 코일 수납홈의 내부에서 상기 콜릿부 수납홈과 인접하는 내벽을 따라 마련되며,상기 기판 서셉터는, 상기 콜릿부의 부착 및 탈착에 따라 상기 코일로 인가되는 전력의 세기를 조절하는 전력 제어부; 및상기 콜릿부가 상기 콜릿부 수납홈으로 삽입 및 이탈되는 것을 감지하는 센서를 더 포함하며,상기 전력 제어부는,상기 센서로부터 상기 콜릿부의 삽입 신호가 전달되는 경우, 상기 코일을 동작시키면서 기 설정된 제1 전력을 상기 코일로 공급하고,상기 센서로부터 상기 콜릿부의 이탈 신호가 전달되는 경우, 상기 코일로 상기 제1 전력 보다 낮게 설정되는 제2 전력을 공급하는, 기판 서셉터
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