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시료가 장착되는 시료 장착부를 포함하는 프로브 시스템으로서, 상기 시료 장착부는, 시료 장착 공간을 포함하는 제 1 프레임 및 개구된 일 단부가 상기 제 1 프레임과 결합되면서 상기 시료 장착 공간을 내부에 수용하는 제 2 프레임을 포함하고,상기 제 1 프레임은, 외부와의 통전을 위한 전기 단자가 형성되는 시료 지지부;상기 시료 지지부의 일면 상에 상기 일 면으로부터 멀어지는 방향으로 연장되며, 단열재로 이루어지고 지지선이 결합될 수 있는 복수의 제 1 지지봉;상기 시료 지지부의 일면 상에 상기 일 면으로부터 멀어지는 방향으로 연장되며, 고 열전도체로 이루어지고 시료를 거치할 수 있는 복수의 제 2 지지봉; 상기 제 1 지지봉 사이에 지지선에 의해 현수되는 온도계 및 히터; 및 상기 전기 단자로부터 상기 온도계 및 히터에 각각 연결되는 전기공급선을 포함하는, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 시료와 상기 온도계 및 히터를 연결할 수 있도록 상기 온도계 및 히터와 결합되어 제공되는 와이어 단자를 더 포함하는,저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 지지봉의 일 단부에 결합되며, 시료를 거치할 수 있는 시료 거치대를 더 포함하는, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 프레임의 타 단부와 결합되는 퍽(puck)을 더 포함하고, '상기 퍽은 상기 저온 초정밀 측정장치의 냉각 조절 부분과 접촉되는 것인, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 복수의 제 2 지지봉 중 상기 시료가 거치되는 것 이외의 것 중 하나 이상은 상기 제 2 프레임과 직접 접촉되는, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 전기공급 선은 상기 제 1 지지봉의 외주면의 일부 영역에 접착되어 상기 제 1 지지봉의 연장방향으로 연장되는 전기선 연결부;상기 전기선 연결부와 상기 전기 단자를 연결하는 제 1 전도성 와이어; 및상기 전기선 연결부와 일단부가 결합되고, 타단부가 상기 히터 또는 온도계 각각에 연결되는 제 2 전도성 와이어;를 포함하는,저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 온도계는 SrTiO3 정전용량 온도계를 포함하는, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 1 지지봉은 세라믹, 글래스 파이버 및 수지 중 어느 하나를 포함하는, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 지지선은 고분자 재질을 포함하는, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 제 2 지지봉은 금속소재를 포함하는,저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 6 항에 있어서, 제 1 전도성 와이어 및 제 2 전도성 와이어 중 어느 하나 이상은 Pt/Ir 합금을 포함하는, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 3 항에 있어서, 상기 시료 거치대는 사파이어를 포함하는, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템은,프로브 헤드부;상기 프로브 헤드부의 일 단부와 연결되는 프로브 연결부; 및 일 단부가 상기 프로브 연결부의 타 단부와 연결되는 히트 싱크부를 포함하고,상기 히트 싱크부의 타 단부에 상기 시료 장착부가 연결되는 것인, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 13 항에 있어서, 상기 프로브 연결부는, 코어 프레임과 상기 코어 프레임의 외면을 감싸면서 연장되는 동축 케이블을 포함하는 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 13 항에 있어서, 상기 시료 장착부는 상기 히트 싱크부에 탈착 가능하게 연결되는 것인, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 13 항에 있어서, 상기 히트 싱크부의 일단부는 접점 스프링(contact finger) 혹은 콜드 핑거 (cold finger)을 이용하여 저온 초정밀 측정장치의 챔버 내벽과 접촉된 것인,저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 13 항에 있어서, 상기 히트 싱크부는, 금속소재의 몸통부; 및 몸통부의 외주면을 감싸면서 연장되는 동축 케이블;을 포함하는,저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 17 항에 있어서, 상기 동축 케이블의 쉴드(shield)를 상기 제 2 프레임과 전기적으로 연결시킨, 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템
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제 1 항 내지 제 18 항 중 어느 하나의 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템을 포함하되,상기 저온 초정밀 열수송 측정용 프로브 시스템은 복수 개의 SrTiO3 정전용량 온도계를 포함하고, 상기 복수 개의 SrTiO3 정전용량 온도계 각각은 동축 릴레이를 통해 동일한 정전용량 측정용 브릿지에 연결되는, 저온 초정밀 열수송 측정장치
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