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고-감도 센서를 제작함에 있어서 센서 소재 표면이 성게 모양의 돌출부위를 가지도록 유도하여 가스 진행 방향에 대하여 접촉면적이 넓게 제작된 성게모양 일차원 섬유구조를 가지는 것을 특징으로 하고, 일차원 섬유가 삼차원적으로 입체적인 구조물 위에 달라붙은 구조를 가지는 입체적 센서 구조, 및 여러 가지 가스가 혼재 된 복수개의 가스 개개에 대하여 선택적인 감지 능력을 가지는 복수 개의 센서를 삼차원으로 수직 정렬한 입체 정렬 블록등을 포함하는 것을 특징으로 하는 고 감도 센서 제작 방법
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제 1항에 있어서 일차원 구조를 가지는 섬유 소재는 날숨 가스에 대하여 탁월한 감지 능력을 가지는 전이금속 칼코제나이드 소재를 사용하는 것을 특징으로 하는 센서 제작 방법
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제 1항에 있어서 입체적 센서 구조는 기판 위에 원뿔, 삼각 기둥, 사각 기둥, 원 기둥 등을 포함하는 3차원적인 입체 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 고 감도 센서 제작 방법
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제 1항에 있어서 정렬 블록은 가기 다른 날숨의 징후 가스에 대하여 선별적인 감지 능력을 가지는 각각 복수 개로 제한 후, 이를 삼차원 수직방향으로 정렬한 입체 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 고 감도 센서 제작 방법
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제 2항에 있어서 전이금속 칼코제나이드 소재를 MoS2, WS2, MoSe2, WSe2, MoTe2, TaS2, TaSe2, NbSe2, Black Phosphor 등으로 구성되는 것을 특징으로 하는 고 감도 센서 제작 방법
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제 2항에 있어서 산화물 반도체 소재를 SnO2, WO3, MoO3, TiO2, ZnO, In2O3, Fe2O3, Co3O4, Cr2O3, Mn3O4 등으로 구성되는 것을 특징으로 하는 고 감도 센서 제작 방법
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제 3항에 있어서 입체적 구조를 가지는 센서는 기판 위에 하나의 원뿔, 삼각 기둥, 사각 기둥, 원 기둥 등만으로 구성하는 것을 포함하는 것 이외에 이러한 구조들을 이차원 평면 상에 하나 이상을 반복하여 정렬한 반복정렬 구조를 가지는 것을 포함하는 고 감도 센서 제작 방법
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