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MEMS;일단이 상기 MEMS의 일단과 연결되고, 타단이 직류전원과 연결되는 좌측 레그 상단 스위칭소자;일단이 상기 MEMS의 타단과 연결되고, 타단이 상기 좌측 레그 상단 스위칭소자의 타단과 연결되는 우측 레그 상단 스위칭소자;일단이 상기 직류전원과 연결되고, 타단이 상기 MEMS의 일단과 연결되는 좌측 레그 하단 스위칭소자;일단이 상기 좌측 레그 하단 스위칭소자와 연결되고, 타단이 상기 MEMS의 타단과 연결되는 우측 레그 하단 스위칭소자;상기 좌측 레그 상단 스위칭소자 및 상기 우측 레그 상단 스위칭소자와 연결되고, 상기 좌측 레그 상단 스위칭소자에 대한 제1신호의 전달과 상기 우측 레그 상단 스위칭소자에 대한 제2신호의 전달을 교번적으로 수행하는 비교기 회로;상기 좌측 레그 하단 스위칭소자 및 상기 우측 레그 하단 스위칭소자와 연결되고, 상기 좌측 레그 하단 스위칭소자에 대한 제3신호의 전달과 상기 우측 레그 하단 스위칭소자에 대한 제4신호의 전달을 교번적으로 수행하는 신호전달부; 및,상기 비교기 회로와 상기 신호전달부에 전류를 제공하는 교류전원;을 포함하고,상기 좌측 레그 상단 스위칭소자 내지 상기 우측 레그 하단 스위칭소자의 작동에 의해 상기 MEMS에 제공되는 전류 방향이 변경되어 상기 MEMS의 구동 방향이 변경되는 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 1에 있어서,상기 비교기 회로로부터 상기 좌측 레그 상단 스위칭소자로 상기 제1신호가 전달되는 경우 상기 신호전달부로부터 상기 우측 레그 하단 스위칭소자로 상기 제4신호가 전달되고, 상기 비교기 회로로부터 상기 우측 레그 상단 스위칭소자로 상기 제2신호가 전달되는 경우 상기 신호전달부로부터 상기 좌측 레그 하단 스위칭소자로 상기 제3신호가 전달되는 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 1에 있어서, 상기 제3신호는, 코사인(cosine) 파형 중 양(+)의 진폭인 부위의 형상인 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 3에 있어서, 상기 제4신호는, 사인(sine) 파형 중 양(+)의 진폭인 부위의 형상인 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 1에 있어서,상기 신호전달부는,상기 교류전원과 연결되고, 상기 전류으로부터 제공되는 전류가 양(+)의 진폭만 구비하도록 하는 절대값회로, 및상기 좌측 레그 하단 스위칭소자, 상기 우측 레그 하단 스위칭소자 및 상기 절대값회로와 연결되고, 상기 좌측 레그 하단 스위칭소자에 대한 상기 제3신호와 상기 우측 레그 하단 스위칭소자에 대한 상기 제4신호를 교번적으로 출력하는 멀티플라이어부,를 구비하는 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 1에 있어서,상기 비교기 회로는, 2개의 연산증폭기(Op Amp
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청구항 1에 있어서,상기 좌측 레그 상단 스위칭소자 내지 상기 우측 레그 하단 스위칭소자 중 선택되는 어느 하나의 스위칭소자는 전계효과트랜지스터(MOSFET)인 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 1에 있어서,상기 좌측 레그 하단 스위칭소자와 상기 직류전원의 사이에 배치되어 연결되는 제1증폭기, 및상기 우측 레그 하단 스위칭소자와 상기 좌측 레그 하단 스위칭소자의 사이에 배치되어 연결되는 제2증폭기,를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 8에 있어서,상기 제1증폭기와 상기 신호전달부의 사이에 배치되어 연결되는 제1회로보호기, 및상기 제2증폭기와 상기 신호전달부의 사이에 배치되어 연결되는 제2회로보호기,를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 1에 있어서,상기 MEMS는, MEMS 미러인 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 1에 있어서,상기 좌측 레그 하단 스위칭소자와 상기 직류전원의 사이에 배치되어 연결되며, 통과하는 전류를 감지하는 전류센서부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 구동 회로
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청구항 1 내지 청구항 11 중 선택되는 어느 하나의 항에 의한 MEMS 구동 회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 스캐닝 미러
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청구항 12의 MEMS 스캐닝 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 프린터
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