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초고주파를 이용한 교차 주파수 플라즈마 진단 방법

  • 기술번호 : KST2019018400
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 교차 주파수 플라즈마 진단 방법은, 플라즈마가 없는 상태에서 네트워크 분석기의 제1 포트에 연결된 방사 안테나에 초고주파수의 구동 주파수를 스캔하면서 초고주파를 방사하고, 상기 네트워크 분석기의 제2 포트에 연결된 수신 안테나를 통하여 주파수에 따른 제1 투과 계수를 측정하는 단계; 플라즈마가 있는 상태에서 네트워크 분석기의 제1 포트에 연결된 방사 안테나에 초고주파수의 구동 주파수를 스캔하면서 초고주파를 방사하고, 상기 네트워크 분석기의 제2 포트에 연결된 수신 안테나를 통하여 주파수에 따른 제2 투과 계수를 측정하는 단계; 및 상기 제1 투과 계수과 상기 제2 투과 계수가 일치하는 교차 주파수를 산출하는 단계를 포함한다.
Int. CL H05H 1/00 (2006.01.01) H01J 37/32 (2006.01.01)
CPC H05H 1/0093(2013.01) H05H 1/0093(2013.01)
출원번호/일자 1020180067116 (2018.06.12)
출원인 충남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2024468-0000 (2019.09.17)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20190923) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.06.12)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유신재 대전광역시 유성구
2 이장재 대구광역시 수성구
3 김시준 대전광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 누리 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 **-*(역삼동, IT빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0572984-20
2 보정요구서
Request for Amendment		 2018.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0094699-26
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.06.21 수리 (Accepted) 1-1-2018-0608291-87
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.02.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2019-0016852-15
6 등록결정서
Decision to grant		 2019.09.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0652017-41
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번호 청구항
1 1
플라즈마가 없는 상태에서 네트워크 분석기의 제1 포트에 연결된 방사 안테나에 초고주파수의 구동 주파수를 스캔하면서 초고주파를 방사하고, 상기 네트워크 분석기의 제2 포트에 연결된 수신 안테나를 통하여 주파수에 따른 제1 투과 계수를 측정하는 단계;플라즈마가 있는 상태에서 네트워크 분석기의 제1 포트에 연결된 방사 안테나에 초고주파수의 구동 주파수를 스캔하면서 초고주파를 방사하고, 상기 네트워크 분석기의 제2 포트에 연결된 수신 안테나를 통하여 주파수에 따른 제2 투과 계수를 측정하는 단계; 및상기 제1 투과 계수과 상기 제2 투과 계수가 일치하는 교차 주파수를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차 주파수 플라즈마 진단 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 제2 투과 계수를 측정하는 동안 상기 구동 주파수를 스캔하는 범위는 컷오프 주파수 이하인 것을 특징으로 하는 교차 주파수 플라즈마 진단 방법
3 3
제1 항에 있어서,상기 교차 주파수(fcrossing)는 전자 밀도 또는 플라즈마 밀도(ne)와 다음과 같은 조건을 만족하고, 여기서, fpe는 플라즈마 주파수인 것을 특징으로 하는 교차 주파수 플라즈마 진단 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 성균관대학교산학협력단 에너지기술개발사업 PFC 가스대체용 Fluorocarbon 계역 Precursor를 이용한 식각 공정 개발