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내부에 챔버 내부 공간이 형성되며, 상기 챔버 내부 공간과 연결되는 챔버 하부 홀 및 챔버 상부 홀을 구비하는 챔버부와,상기 챔버 내부 공간에 안착되며, 내부에 공정 가스가 유입되는 지지 내부 공간을 형성하는 지지부 및상기 지지 내부 공간의 내부에 위치하며, 탄화규소 프리폼의 하면과 상면에 접촉하여 지지하면서 상기 공정 가스를 상기 탄화규소 프리폼의 하면으로 공급하는 프리폼 고정부를 포함하며,상기 프리폼 고정부는상기 탄화규소 프리폼의 하면보다 넓은 면적으로 형성되고, 하면에서 상면으로 관통되며 중앙에 위치하여 상기 공정 가스가 유입되는 하부 블록 홀 및 상면에서 하부로 상기 탄화규소 프리폼보다 작은 면적으로 형성되어 상기 하부 블록 홀과 연결되는 하부 블록 홈을 구비하는 하부 고정 블록 및상기 하부 고정 블록과 동일한 면적으로 형성되며, 상면에서 하면으로 관통되며 상기 하부 블록 홈에 대응되는 영역을 포함하는 영역에 형성되는 상부 블록 홀을 구비하는 상부 고정 블록을 포함하며,상기 하부 고정 블록은 상면에 상기 탄화규소 프리폼이 안착되면, 상기 탄화규소 프리폼의 외측으로 소정 폭의 상면이 노출되며,상기 상부 고정 블록은 상기 탄화규소 프리폼의 상면에 안착되면, 상기 탄화규소 프리폼의 외측으로 소정 폭의 하면이 노출되며,상기 상부 고정 블록의 노출되는 하면은 상기 하부 고정 블록의 노출되는 상면과 함께 상기 공정 가스가 흐르는 통로를 형성하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 상부 블록 홀은 복수 개가 상기 상부 고정 블록의 길이 방향으로 적어도 3줄로 형성되며, 길이 방향으로 직선 형태로 배열되고 폭 방향으로 지그재그 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 3 항에 있어서,상기 상부 블록 홀은 폭 방향으로 이웃하는 상부 블록 홀과 상부 블록 홀의 직경보다 작은 거리로 이격되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 3 항에 있어서,상기 상부 블록 홀은 하부에 위치하는 상기 하부 고정 블록의 하부 블록 홀의 중심 축 상에 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 상부 블록 홀은 상기 상부 고정 블록의 길이 방향으로 적어도 3줄로 형성되며, 길이 방향으로 직선 형태로 배열되고 폭 방향으로 직선 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 6 항에 있어서,상기 상부 블록 홀은 폭 방향으로 이웃하는 상부 블록 홀과 상부 블록 홀의 직경보다 큰 거리로 이격되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 6 항에 있어서,상기 상부 블록 홀은 하부에 위치하는 상기 하부 고정 블록의 하부 블록 홀의 중심 축 상에 형성되지 않는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 상부 블록 홀은 상기 하부 고정 블록의 하부 블록 홈의 상부에 한 개로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 지지부는상기 챔버 내부 공간의 하부에 위치하는 하부 본체 및 상기 하부 본체의 하부에 결합되어 상기 챔버 하부 홀의 내부에 삽입되는 하부 지지체를 포함하며, 상기 하부 본체의 상면에서 상기 하부 지지체의 하면으로 관통되어 상기 공정 가스가 흐르는 하부 관통 홀을 포함하는 하부 지지대와,상기 하부 지지대의 상면에 안착되며 상면에서 하면으로 관통되어 상기 하부 관통 홀과 연결되면서 상기 지지 내부 공간으로 상기 공정 가스가 유입되는 경로를 제공하는 중간 관통 홀을 구비하는 중간 지지대 및상기 챔버 내부 공간과 중간 지지대 사이에 위치하며, 상단이 상기 중간 지지대의 상면으로부터 상부로 노출되는 높이로 형성되어 상기 중간 지지대와 함께 상기 지지 내부 공간을 형성하는 측부 지지링을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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