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초음파를 발생시키도록 구성된 pMUT 요소;상기 pMUT 요소의 상부에 배치되고 전기 자극을 발생시키도록 구성된 전극 요소; 및상기 pMUT 요소 및 상기 전극 요소 사이에 배치되고 상기 pMUT 요소 및 상기 전극 요소를 전기적으로 절연시키도록 구성된 절연 물질;을 포함하고,상기 절연 물질에 의해 상기 pMUT 요소 및 상기 전극 요소가 일체형으로 형성되고,상기 전극 요소 위에 생체 물질이 배치되고, 상기 생체 물질에 초음파 자극과 전기 자극이 모두 또는 선택적으로 제공되도록, 상기 전극 요소는 상기 생체 물질에 상기 전기 자극을 제공하도록 구성되거나, 상기 pMUT 요소는 상기 전극 요소를 통해 상기 생체 물질에 초음파 자극을 제공하도록 구성된 자극 장치
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제1항에 있어서,상기 전극 요소는 상기 생체 신호로부터 발생하는 신호를 검출하도록 구성되는 자극 장치
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제1항에 있어서,상기 pMUT 요소는, 기판과, 상기 기판 위에 설치되는 산화실리콘과, 상기 산화실리콘 위에 설치되는 하부 전극과, 상기 하부 전극 위에 설치되는 압전 물질과, 상기 압전 물질 위에 설치되는 상부 전극을 포함하고,상기 하부 전극, 상기 압전 물질 및 상기 상부 전극은 상기 절연 물질에 의해 덮이도록 구성되는 자극 장치
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제3항에 있어서,상기 절연 물질 및 상기 전극 요소는 상기 산화실리콘, 상기 하부 전극, 상기 압전 물질 및 상기 상부 전극과 함께 상기 기판을 향해 볼록하게 형성되고, 상기 생체 물질이 상기 전극 요소의 오목한 부분에 배치되는 자극 장치
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제1항에 있어서,상기 절연 물질의 상부에 설치되고 상기 생체 물질을 수용하도록 구성된 웰 요소를 더 포함하는 자극 장치
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초음파를 발생시키도록 구성된 복수 개의 pMUT 요소;상기 복수 개의 pMUT 요소의 상부에 배치되고 전기 자극을 발생시키도록 구성된 복수 개의 전극 요소; 및상기 복수 개의 pMUT 요소 및 상기 복수 개의 전극 요소 사이에 배치되고 상기 복수 개의 pMUT 요소 및 상기 복수 개의 전극 요소를 전기적으로 절연시키도록 구성된 절연 물질;을 포함하고,상기 절연 물질에 의해 상기 복수 개의 pMUT 요소 및 상기 복수 개의 전극 요소가 일체형으로 형성되고,상기 복수 개의 전극 요소 위에 복수 개의 생체 물질이 배치되고, 상기 복수 개의 생체 물질에 초음파 자극과 전기 자극이 모두 또는 선택적으로 제공되도록 상기 복수 개의 전극 요소는 상기 복수 개의 생체 물질에 전기 자극을 각각 제공하도록 구성되거나, 상기 복수 개의 pMUT 요소는 상기 복수 개의 전극 요소를 통해 상기 복수 개의 생체 물질에 초음파 자극을 각각 제공하도록 구성된 자극 장치
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제6항에 있어서,상기 복수 개의 pMUT 요소는 서로 이격되게 배치되고, 상기 복수 개의 전극 요소는 서로 이격되게 배치되고, 상기 복수 개의 pMUT 요소 및 상기 복수 개의 전극 요소는 어레이 형태로 형성되는 자극 장치
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제6항에 있어서,상기 복수 개의 pMUT 요소 및 상기 복수 개의 전극 요소는 각각 개별적으로 구동되도록 구성되는 자극 장치
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