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반도체 물질의 전기광학적 특성 비접촉식 측정 시스템

  • 기술번호 : KST2019018627
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전기광학적 특성 비접촉식 측정 시스템으로서, 전기광학적 특성이 측정되는 반도체 기판; 상기 반도체 기판 상에 배치되어, 특정 주파수의 전자기파를 증폭시키고 상기 반도체 기판의 표면으로부터 특정 집속 깊이까지 상기 전자기파를 집속시키는 센싱 소자; 및 상기 센싱 소자에 의하여 증폭 및 집속된 전자기파를 이용하여, 상기 반도체 기판의 표면으로부터 특정 집속 깊이까지에서의 전기광학적 특성을 측정하는 전기광학적 측정 장치를 포함한다.
Int. CL G01N 21/63 (2006.01.01) G01N 21/956 (2006.01.01)
CPC G01N 21/63(2013.01) G01N 21/63(2013.01) G01N 21/63(2013.01)
출원번호/일자 1020180033366 (2018.03.22)
출원인 한국과학기술연구원, 서울대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0111344 (2019.10.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.03.22)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
2 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서민아 서울특별시 성북구
2 최근창 서울특별시 관악구
3 김대식 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 티앤아이 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
2 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0288869-48
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0060634-06
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0416694-51
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.08.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0823407-64
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2019-0823406-18
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2019.12.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0899728-65
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2019.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-1356996-25
12 법정기간연장승인서
2020.01.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0000196-06
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2020-0137930-98
14 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.02.10 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0137931-33
15 등록결정서
Decision to Grant Registration
2020.03.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0166696-13
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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전기광학적 특성이 측정되는 반도체 기판;상기 반도체 기판 상에 배치되어, 특정 주파수의 전자기파를 증폭시키고 상기 반도체 기판의 표면으로부터 특정 집속 깊이까지 상기 전자기파를 집속시키는 센싱 소자; 및상기 센싱 소자에 의하여 증폭 및 집속된 전자기파를 이용하여, 상기 반도체 기판의 표면으로부터 특정 집속 깊이까지에서의 전기광학적 특성을 측정하는 전기광학적 측정 장치; 및상기 특정 주파수의 전자기파가 조사되기 이전에, 상기 반도체 기판의 특정 집속 깊이에 전자-정공 쌍을 생성하기 위하여 펌프 빔을 방출하는 레이저 장치를 포함하며,상기 센싱 소자는 필름으로 구성되되,상기 필름은, 특정 주파수의 전자기파가 증폭되고, 증폭된 전자기파가 상기 반도체 기판의 표면으로부터 특정 집속 깊이까지 침투되도록, 직사각형 모양의 슬랏이 음각 패터닝 되며,상기 슬랏은, 상기 반도체 기판의 전기광학적 특성을 추출하기 위하여 이용되는 전자기파의 주파수에 따라 길이가 조절되고, 상기 전기광학적 특성을 추출하고자 하는 상기 반도체 기판의 표면으로부터의 집속 깊이에 따라 폭이 조절되며,상기 슬랏의 폭과 상기 집속 깊이는 선형관계를 가지고, 상기 집속 깊이는 상기 반도체 기판의 표면으로부터 상기 전자기파에 의한 전기장의 강도가 반치전폭이 되는 지점에 해당하는 것을 특징으로 하는 전기광학적 특성 비접촉식 측정 시스템
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제1항에 있어서, 상기 전기광학적 특성 측정 장치는상기 전자기파의 상기 반도체 기판에 대한 투과 신호를 기초로 투과도의 변화를 측정하고, 상기 투과도의 변화를 기초로 상기 반도체 기판의 표면으로부터 특정 집속 깊이까지에서의 전자수명을 측정하는 것을 특징으로 하는 전기광학적 특성 비접촉식 측정 시스템
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술연구원 개인기초연구(미래부) 생체 신호 전달 메커니즘 이해를 위한 메타물질 기반 고민감도 센싱 플랫폼 개발