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음극 및 양극이 이격된 챔버 내에 합성 가스를 공급하는 단계; 및상기 음극 및 상기 양극에 전압을 인가하여 아크 방전을 발생시켜서 상기 음극 상에 탄소나노튜브를 합성하는 단계를 포함하고,상기 합성 가스는 질소 및 산소를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 합성 가스에서 질소 대 산소의 분압은 9
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제1항에 있어서, 상기 합성 가스가 대기 중의 공기인 경우, 상기 챔버 내의 압력은 100 torr 내지 150 torr인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 합성 가스가 질소 및 산소로 구성된 경우, 상기 챔버 내의 압력은 80 torr 내지 150 torr인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브가 가지는 산화 피크 온도는 850℃ 이상인 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브가 가지는 결정성 평가지수 IG/ID 는 30 내지 49의 값을 가지는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 음극 상에 탄소나노튜브를 합성하는 단계는,상기 아크 방전에 의해 발생된 전자가 상기 양극에 충돌하는 단계; 및상기 전자가 충돌되는 양극에서 탄소 이온 또는 탄소 입자가 상기 음극으로 이동하여 탄소가 증착된 탄소나노튜브 집합체가 형성되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 집합체는,비정질 탄소 덩어리가 뭉쳐진 상태의 쉘 영역; 및상기 쉘 영역으로 둘러싸이고 중심으로 갈수록 상기 탄소나노튜브가 높은 순도를 가지는 코어 영역을 가지는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 상기 음극으로부터 먼 거리에 위치한 상기 탄소나노튜브 집합체의 말단에서 높은 결정성을 가지는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 집합체의 말단의 탄소나노튜브는 상기 아크 방전에 의해 전자를 양극으로 방출하고, 상기 탄소나노튜브 집합체 말단에는 탄소나노튜브가 고순도로 증착되는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 집합체의 말단과 상기 양극은 일정한 거리를 유지하는 것을 특징으로 하는 탄소나노튜브의 제조방법
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