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고감도의 다결정 란탄 트리플루오라이드 박막의 제조방법, 이에 의해 제조된 고감도의 다결정 란탄 트리플루오라이드 박막 및 이를 포함하는 센서

  • 기술번호 : KST2019018866
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 다결정 란탄 트리플루오라이드 박막에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 고감도의 다결정 란탄 트리플루오라이드 박막의 제조방법, 이로부터 제조된 고감도의 다결정 란탄 트리플루오라이드 박막 및 이를 포함하는 센서에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 열증착 공정에서 공정 조건을 최적화함으로써 비용이 저렴한 LaF3 결정을 이용하여 고감도의 다결정 LaF3 박막을 제조할 수 있으며, 상기 다결정 LaF3 박막은 고감도의 불소이온 및 불산 감지성능을 가지므로, 불소이온 및 불산 중 하나 이상의 불소계 성분 감지 센서 등에 유용하게 사용될 수 있다.
Int. CL H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/321 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) C23C 14/24 (2006.01.01)
CPC H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01) H01L 21/02595(2013.01)
출원번호/일자 1020180139254 (2018.11.13)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2000882-0000 (2019.07.10)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20191001) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.11.13)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백창기 경상북도 포항시 남구
2 김기현 경상북도 포항시 남구
3 조현수 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이상 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-1127918-35
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2018.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-1154409-30
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2018.11.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2018.11.23 수리 (Accepted) 9-1-2018-0063653-82
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0817651-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-1302026-30
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.12.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-1302027-86
8 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2019.03.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0226963-82
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2019-0418501-69
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.04.23 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-0418502-15
11 등록결정서
Decision to grant		 2019.07.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0488182-18
12 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
 2019.09.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5027330-26
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
진공 챔버 내의 측벽의 온도를 20~35℃로 유지하고, 상기 진공 챔버 내의 기판의 온도를 400~600℃로 유지하는 단계;순도 99% 이상의 LaF3 결정을 진공 챔버 내의 보트 위에 위치시키고, 챔버의 압력을 1×10-6 torr 이하로 유지하는 단계;상기 보트에 열을 가하여 LaF3 결정을 증발시킴으로써 기판 상에 다결정 LaF3 박막을 형성하는 단계; 및상기 다결정 LaF3 박막 형성이 완료된 후, 상기 다결정 LaF3 박막이 형성된 기판을 1×10-6 torr 이하의 고진공 상태에서 자연적으로 냉각하는 단계를 포함하며,상기 LaF3 결정을 1~5 Å/s의 증착 속도로 증발시켜 기판 상에 다결정 LaF3 박막을 50~100 nm의 두께로 형성시키는 것을 특징으로 하는 고감도의 다결정 LaF3 박막의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 진공 챔버의 압력은 1×10-6 내지 1×10-10 torr인 것을 특징으로 하는 고감도의 다결정 LaF3 박막의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,가열은 전자 빔, 전기 필라멘트 또는 아크(Arc)를 이용하여 수행하는 것을 특징으로 하는 고감도의 다결정 LaF3 박막의 제조방법
4 4
삭제
5 5
제1항의 제조방법으로 제조된, XRD 상에서 (002) 평면의 피크 세기가 (111) 평면의 피크 세기보다 2배 이상 큰 결정구조를 가지는 고감도의 다결정 LaF3 박막
6 6
제1항의 제조방법으로 제조된 고감도의 다결정 LaF3 박막을 포함하는 고감도의 불소계 성분 감지 센서
7 7
제6항에 있어서,상기 불소계 성분은 불소이온 및 불산 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 고감도의 불소계 성분 감지 센서
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.