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탈착가능한 전자현미경용 시료실 장치로,상기 장치는 상면부에 전자빔 경통으로부터 방출되는 전자빔이 입사하는 조리개(aperture)가 있고, 상기 조리개와 마주보는 하면부의 개구를 외부에서 기밀 봉합하는 진공유지판을 구비한 진공실; 상기 진공실 내부에 위치하는 전자검출기; 및상기 진공실의 진공이 유지되도록 상기 진공유지판과 접하여 수평이동하고, 상기 입사하는 전자빔의 진행방향에 전자가 통과하는 SiN 박막이 위치하도록 한 진공차단부; 및 시료홈이 상기 SiN 박막 하부에 위치하도록 대기압 상태에 놓인 시료 홀더를 포함하고, 상기 시료 홀더의 시료홈 하면에는 상기 시료 홀더 하부에 위치하는 전자기파 검출기로 향하는 전자기파가 투과되는 시료받침부를 구비하되, 상기 전자기파는 적외선과 X-선 사이의 파장을 가지며,상기 시료받침부는 X-선, 가시광선, 적외선 및 자외선을 포함하는 광선이 투과하는 유리이고,상기 시료받침부를 제외한 시료 홀더의 재료는 ITO(Indium Tin Oxide) 증착 유리 또는 알루미늄 판인, 탈착가능한 전자현미경용 시료실 장치
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탈착가능한 전자현미경용 시료실 장치로,상기 장치는 상면부에 전자빔 경통으로부터 방출되는 전자빔이 입사하는 조리개(aperture)가 있고, 상기 조리개와 마주보는 하면부의 구멍을 외부에서 기밀 봉합하는 진공유지판을 구비한 진공실;상기 진공실과 접하면서, 상기 진공실의 하면부와 평행하고 구멍이 뚫린 하면부를 상기 진공유지판으로 함께 기밀 봉합하는 제3 진공실;상기 진공실 내부에 위치하는 전자검출기; 및상기 진공실의 진공이 유지되도록 상기 진공유지판과 접하여 수평이동하고, 상기 입사하는 전자빔의 진행방향에 전자가 통과하는 SiN 박막이 위치하도록 한 진공차단부; 및 시료홈이 상기 SiN 박막 하부에 위치하도록 대기압 상태에 놓인 시료 홀더를 포함하고, 상기 시료 홀더의 시료홈 하면에는 상기 시료 홀더 하부에 위치하는 전자기파 검출기로 향하는 전자기파가 투과되는 시료받침부를 구비하되, 상기 전자기파는 적외선과 X-선 사이의 파장을 가지며,상기 시료받침부는 X-선, 가시광선, 적외선 및 자외선을 포함하는 광선이 투과하는 유리이고,상기 시료받침부를 제외한 시료 홀더의 재료는 ITO(Indium Tin Oxide) 증착 유리 또는 알루미늄 판인, 탈착가능한 전자현미경용 시료실 장치
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제 5항 또는 제 6항에 있어서,상기 진공차단부와 상기 시료 홀더는 일체형인,탈착가능한 전자현미경용 시료실 장치
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제 5항 또는 제 6항에 있어서,상기 전자검출기는 2차 전자 검출기이고,상기 전자기파 검출기는 CCD(charge-coupled device), EDS(Energy Dispersive Spectrometry), CMOS 이미지 센서(Complementary Metal Oxide Semiconductor Image Sensor) 중 어느 하나인, 탈착가능한 전자현미경용 시료실 장치
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제 5항 또는 제 6항의 시료실 장치를 포함하는,대기압 전자 현미경
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