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유연성을 갖는 기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에, 중심 영역, 상기 중심 영역에 대하여 제1 방향으로 연장되되 굴곡부를 갖는 제1 마스크 패턴 및 상기 중심 영역에 대하여 제2 방향으로 연장되되 직선부를 갖는 제2 마스크 패턴을 포함하는 마스크를 배치하는 단계; 및 상기 마스크를 통하여 상기 기판 상에 전도성 물질을 코팅하는 단계를 포함하되,상기 전도성 물질을 코팅하는 단계는, 상기 기판을 가열하는 단계, 및 상기 가열된 기판에 상기 전도성 물질을 코팅하는 단계를 포함하고, 상기 전도성 물질은 상기 제1 방향으로 가해지는 외력에 대하여 저항이 변하고, 상기 전도성 물질의 법선 방향으로 가해지는 외력에 대하여 저항이 변하는 플렉서블 센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 전도성 물질을 코팅하는 단계에 의하여, 상기 전도성 물질은, 상기 마스크의 중심 영역에 대응하는 중심 패드, 상기 마스크의 굴곡부에 대응하는 굴곡 패턴 및 상기 마스크의 직선부에 대응하는 직선 패턴으로 코팅되는 플렉서블 센서의 제조 방법
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제2 항에 있어서, 상기 마스크를 배치하는 단계에서, 상기 제1 마스크 패턴은 상기 굴곡부의 단부에 위치하는 제1 컨택 영역을 포함하고, 상기 제2 마스크 패턴은 상기 직선부의 단부에 위치하는 제2 컨택 영역을 포함하는 플렉서블 센서의 제조 방법
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제3 항에 있어서, 상기 전도성 물질을 코팅하는 단계에 의하여, 상기 전도성 물질은 상기 제1 컨택 영역에 대응하는 제1 컨택 패드 및 상기 제2 컨택 영역에 대응하는 제2 컨택 패드로 코팅되는 플렉서블 센서의 제조 방법
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제4 항에 있어서, 상기 중심 패드, 상기 굴곡 패턴, 상기 제1 컨택 패드, 상기 직선 패턴, 및 상기 제2 컨택 패드는 상기 전도성 물질을 코팅하는 단계에 의하여 한 번에 코팅되는 플렉서블 센서의 제조 방법
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제5 항에 있어서, 상기 제1 방향으로 가해지는 외력은, 상기 제1 컨택 패드에 상기 제1 방향으로 가해지고, 상기 법선 방향으로 가해지는 외력은, 상기 중심 패드에 법선 방향으로 가해지는 플렉서블 센서의 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 전도성 물질을 코팅하는 단계는, 0
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제7 항에 있어서, 상기 기판 상에 상기 전도성 물질을 코팅하는 횟수가 증가함에 따라 상기 기판 상에 코팅된 상기 전도성 물질의 균일성이 향상되는 것을 포함하는 플렉서블 센서의 제조 방법
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삭제
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제1 항에 있어서, 상기 전도성 물질이 코팅된 상기 기판 상에 유연성 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 플렉서블 센서의 제조 방법
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유연성 기판;상기 유연성 기판 상에 중심 패드, 상기 중심 패드의 일 양 단에 마련되는 굴곡 패턴, 상기 굴곡 패턴의 단부에 마련되는 제1 컨택 패드, 상기 중심 패드의 타 양 단에 마련되는 직선 패턴 및 상기 직선 패턴의 단부에 마련되는 제2 컨택 패드가 단일 레이어로 형성된 센싱층; 및상기 센싱층을 덮는 유연성 보호막을 포함하되,상기 센싱층은, 상기 센싱층에 대하여 법선 방향으로 가해지는 제2 외력에 따라, 상기 제2 컨택 패드에서의 저항 특성 변화가 상기 제1 컨택 패드에서의 저항 특성 변화보다 큰 플렉서블 센서
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제11 항에 있어서, 상기 센싱층은, 상기 센싱층에 대하여 면 방향으로 가해지는 제1 외력과 법선 방향으로 가해지는 제2 외력에 따라 저항 특성이 가변하는, 플렉서블 센서
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제12 항에 있어서, 상기 센싱층에 상기 제1 외력이 가해지는 경우, 상기 센싱층은 저항 특성이 증가하는 방향으로 가변하고, 상기 센싱층에 상기 제2 외력이 가해지는 경우, 상기 센싱층은 저항 특성이 감소하는 방향으로 가변하는, 플렉서블 센서
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제12 항에 있어서, 상기 제1 외력은 상기 제1 컨택 패드의 면 방향으로 상기 제1 컨택 패드에 가해지는 외력이고, 상기 제2 외력은 상기 중심 패드의 법선 방향으로 상기 중심 패드에 가해지는 외력인, 플렉서블 센서
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제12 항에 있어서, 상기 센싱층에 상기 제1 외력이 가해지는 경우, 상기 제1 컨택 패드의 저항 특성은 변화는, 상기 제2 컨택 패드에서의 저항 특성 변화보다 큰 것을 포함하는 플렉서블 센서
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제12 항에 있어서, 상기 굴곡 패턴의 굴곡부가 펼쳐지기 전의 상기 제1 컨택 패드에서 감지되는 저항 특성 변화는, 상기 굴곡 패턴의 굴곡부가 펼쳐진 후 상기 제1 컨택 패드에서 감지되는 저항 특성 변화 보다 작은 것을 포함하는 플렉서블 센서
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삭제
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제11 항에 있어서, 상기 센싱층은, 그래핀 플레이크(graphene flake)로 이루어진 플렉서블 센서
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