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기설정된 시간동안 엑스레이를 방출하는 엑스레이부;상기 방출된 엑스레이의 진행방향에 시료를 고정시키는 시료고정부;특정 위치에 고정되어, 상기 방출된 엑스레이가 상기 시료에 입사된 후 상기 시료에서 방사되는 형광선들을 수집하는 형광선 수집부;상기 방출된 엑스레이의 진행방향에 위치하고, 상기 시료를 통과한 엑스레이에 의해 투영된 시료의 영상을 촬영하는 촬영부; 및상기 시료를 회전시키도록 상기 시료고정부를 제어하고, 상기 수집된 형광선들 중 일정한 시간간격으로 수집된 형광선들을 추출하고, 상기 추출된 형광선들 각각의 파장을 측정하고, 상기 측정된 형광선들의 파장에 기반하여 상기 추출된 형광선들 각각을 방사시킨 원소들을 검출하고,상기 일정한 시간간격마다, 상기 검출된 원소들 각각이 방사한 형광선의 세기를 측정하고, 상기 검출된 원소들 각각이 방사한 형광선의 세기에 기반하여 상기 시료의 표면에 형성된 물질에 포함된 원소들 각각의 밀도를 측정하고,상기 검출된 원소들의 밀도에 기반하여 상기 형성된 물질의 두께를 측정하고,상기 촬영된 시료의 영상에서 상기 시료의 표면에 형성된 물질의 두께를 추가적으로 측정하는 제어부를 포함하고,상기 엑스레이부는, 상기 방출되는 엑스레이의 직경의 크기를 조절하는 조리개를 포함하며, 상기 제어부는, 상기 고정된 시료의 크기에 기반하여, 상기 조리개가 열리는 정도를 조절하고,상기 엑스레이부는, 상기 시료고정부에 고정된 시료의 회전 각속도에 따라 기설정된 시간동안 엑스레이를 방출하는,엑스레이를 이용한 물질두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 시료에 입사되는 엑스레이의 법선에 수직한 시료의 중심축을 기준으로 상기 시료가 회전되도록 상기 시료고정부를 제어하는,엑스레이를 이용한 물질두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 시료가 삼차원 평면에서 z축 평면상에 위치할 때, 상기 방출된 엑스레이가 상기 시료에 x축 방향으로 입사된 경우,상기 시료가 z축을 기준으로 회전되도록 상기 시료고정부를 제어하는,엑스레이를 이용한 물질두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 시료가 원기둥의 형상인 경우,상기 시료의 축을 기준으로 상기 시료가 회전되도록 상기 시료고정부를 제어하는,엑스레이를 이용한 물질두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 형광선 수집부는,상기 엑스레이부 및 시료고정부와 이격된 위치에 고정되며, 상기 방출된 엑스레이의 진행을 차단하지 않는,엑스레이를 이용한 물질두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 기설정된 시간은,상기 시료고정부가 일정한 각속도로 360°회전하는 시간이고,상기 제어부는,상기 기설정된 시간동안 상기 엑스레이를 방출하도록 상기 엑스레이부를 제어하는,엑스레이를 이용한 물질두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는,상기 일정한 시간간격마다, 상기 측정된 원소들 각각의 밀도에 기반하여 상기 형성된 물질의 두께를 측정하는,엑스레이를 이용한 물질두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 촬영부는,상기 시료를 통과한 엑스레이가 통과되어 가시광선으로 전환되는 신틸레이터;상기 전환된 가시광선을 확대하는 광학 렌즈;상기 확대된 가시광선이 투영되는 검출판; 및상기 검출판에 투영된 가시광선의 영상을 촬영하는 카메라를 포함하는,엑스레이를 이용한 물질두께 측정 장치
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제13항에 있어서,상기 신틸레이터, 광학 렌즈, 검출판 및 카메라는,중심이 상기 방출된 엑스레이의 광축상에 배열된,엑스레이를 이용한 물질두께 측정 장치
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