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유연한 재질로 형성되고, 압력 센서 영역, 광 센서 영역, 온도 센서 영역 및 스위칭 소자 영역을 포함하는 기판;상기 압력 센서 영역 상에 배치되는 하부 전극을 포함하는 압력 센서;상기 광 센서 영역 상에 배치되는 광 센서 게이트 전극을 포함하는 광 센서;상기 온도 센서 영역 상에 배치되는 포함하는 패턴 전극을 포함하는 온도 센서; 및상기 스위칭 소자 영역 상에 배치되는 스위칭 소자 게이트 전극을 포함하되,상기 하부 전극, 상기 게이트 전극, 상기 패턴 전극, 및 상기 스위칭 소자 게이트 전극은, 코어 및 상기 코어를 감싸는 쉘을 포함하는 코어쉘 구조를 갖고,상기 코어는 비정질 금속 및 결정질 금속 중 어느 하나로 형성되고, 상기 쉘은 비정질 금속 및 결정질 금속 중 다른 하나로 형성되는 것을 포함하는 스트레쳐블 다중모드 센서
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제1항에 있어서,상기 압력 센서는,상기 압력 센서 영역을 포함하는 상기 기판, 및 상기 하부 전극의 사이에 제공되는 탄성층을 포함하는 스트레쳐블 다중모드 센서
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제2항에 있어서,상기 탄성층은 볼록부 및 오목부를 갖고, 상기 하부 전극은 상기 탄성층 상에 콘포말하게(conformally) 제공되는 것을 포함하는 스트레쳐블 다중모드 센서
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제3항에 있어서,상기 압력 센서는, 상기 하부 전극과 대향하는 상부 전극을 더 포함하고, 상기 상부 전극은, 비정질 금속을 포함하고, 평평한 구조로 제공되는 스트레쳐블 다중모드 센서
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제1항에 있어서,상기 광 센서는,상기 광 센서 게이트 전극 상에 제공되는 광 센서 절연막;상기 광 센서 절연막 상에 제공되는 광 센서 활성층; 및상기 광 센서 활성층 상에 서로 이격되어 제공되는 광 센서 소스/드레인 전극을 포함하는 스트레쳐블 다중모드 센서
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제1항에 있어서,상기 온도 센서는,상기 패턴 전극 상에 제공되는 온도 센서 절연막을 포함하는 스트레쳐블 다중모드 센서
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제1항에 있어서,상기 패턴 전극은 FeZr/Pt인 것을 포함하고, FeZr은 상기 비정질 금속이고, Pt는 상기 결정질 금속인 것을 포함하는 스트레쳐블 다중모드 센서
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제1항에 있어서,상기 스위칭 소자는,상기 스위칭 소자 게이트 전극 상에 제공되는 스위칭 소자 절연막;상기 스위칭 소자 절연막 상에 제공되는 스위칭 소자 활성층; 및상기 스위칭 소자 활성층 상에 서로 이격되어 제공되는 스위칭 소자 소스/드레인 전극을 포함하는 스트레쳐블 다중모드 센서
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