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일면에 마이크로 소자가 점착되는 제1필름; 그리고상기 제1필름의 타면에 마련되는 제2필름을 포함하고, 상기 제1필름은 상기 마이크로 소자가 타겟기판에 가압될 때, 상기 타겟기판에 의해 상기 마이크로 소자에 외부응력이 가해지면 상기 제1필름에서 상기 마이크로 소자에 가압되는 부분이 파단되어 파단부가 생성되고, 상기 파단부는 형상이 변형되어 불균일한 표면을 가지게 되어 상기 마이크로 소자와의 접촉 계면에서 비정합(nonconformal) 접촉이 발생되어 상기 마이크로 소자와 불균일하게 점착되는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제1항에 있어서,상기 제1필름은 상기 외부응력보다 작은 제1파단강도를 가지고, 상기 제2필름은 상기 외부응력보다 큰 제2파단강도를 가지는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제1항에 있어서,상기 제2필름은 상기 외부응력보다 큰 항복강도를 가지는 것을 특징으로 하는 전사필름
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제1항에 있어서, 상기 제1필름의 제1두께는 상기 마이크로 소자의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는 전사필름
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제1항에 있어서,상기 제1필름의 제1두께 및 상기 제2필름의 제2두께의 합은 상기 마이크로 소자의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 전사필름
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제1필름의 일면에 마이크로 소자를 점착시키고, 상기 제1필름의 타면에 마련되는 제2필름에 가압력을 가하여 상기 마이크로 소자를 타겟기판에 가압하는 가압단계; 상기 타겟기판에 의해 상기 마이크로 소자에 외부응력이 가해짐에 따라 상기 제1필름에서 상기 마이크로 소자에 가압되는 부분이 파단되어 파단부가 생성되는 파단단계; 그리고 상기 제2필름 및 상기 제1필름이 상기 마이크로 소자로부터 분리되는 분리단계를 포함하고,상기 파단단계에서, 상기 파단부는 형상이 변형되어 불균일한 표면을 가지게 되고, 상기 마이크로 소자와의 접촉 계면에서 비정합(nonconformal) 접촉이 발생되어 상기 마이크로 소자와 불균일하게 점착되는 것을 특징으로 하는 전사필름을 이용한 전사방법
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제6항에 있어서, 상기 제1필름은 상기 외부응력보다 작은 제1파단강도를 가지고, 상기 제2필름은 상기 외부응력보다 큰 제2파단강도를 가지는 것을 특징으로 하는 전사필름을 이용한 전사방법
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8
제6항에 있어서,상기 제2필름은 상기 외부응력보다 큰 항복강도를 가지는 것을 특징으로 하는 전사필름을 이용한 전사방법
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제6항에 있어서, 상기 제1필름의 제1두께는 상기 마이크로 소자의 두께보다 작은 것을 특징으로 하는 전사필름을 이용한 전사방법
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10
제6항에 있어서,상기 제1필름의 제1두께 및 상기 제2필름의 제2두께의 합은 상기 마이크로 소자의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 전사필름을 이용한 전사방법
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