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캐리어 기판의 상부 표면 상에 다수 개의 나노시트들을 구비하는 나노시트층을 형성하되, 상기 나노시트들 사이에 상기 캐리어 기판의 상부 표면이 노출되는 단계;상기 나노시트층이 형성된 캐리어 기판 상에 플렉서블 기판층을 형성하는 단계;상기 플렉서블 기판층 상에 소자층을 형성하는 단계; 및상기 소자층이 형성된 플렉서블 기판층을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 단계를 포함하는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 나노시트들은 수 옹스트롱 내지 수 나노미터의 두께와 수십 나노미터 내지 수 마이크로미터의 폭을 갖는 2차원 물질(2-dimensional material)인 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 나노시트들은 전이금속 산화물의 1 내지 수개의 단위층들, 그래핀계 물질의 1 내지 수개의 단위층들, 또는 이들의 조합을 포함하는 층인 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 나노시트들은 TiOx (x는 0
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제4항에 있어서,상기 나노시트들은 그래핀 산화물 나노시트들을 더 포함하는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 캐리어 기판의 상부 표면을 상기 나노시트들이 덮는 면적은 약 10 내지 50%인 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 나노시트들은 전이금속 산화물의 1 내지 수개의 단위층들을 포함하는 경우,상기 캐리어 기판의 상부 표면 상에 나노시트층을 형성하는 단계는, 표면 상에 암모늄 이온이 결합하고 있는 나노시트들을 구비하는 나노시트 분산액을 상기 캐리어 기판 상에 코팅하는 것을 포함하는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 플렉서블 기판층은 폴리카보네이트층, 폴리에틸렌테레프탈레이트층, 폴리에테르설폰층, 폴리이미드층, 또는 폴리아크릴레이트층인 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 플렉서블 기판층은 고분자 전구체 용액을 상기 나노시트층이 형성된 캐리어 기판 상에 코팅한 후, 고분자 전구체를 고분자화하여 형성하는 플렉서블 장치 제조방법
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제1항에 있어서,상기 소자층이 형성된 플렉서블 기판층을 상기 캐리어 기판으로부터 박리하는 단계는상기 캐리어 기판의 하부면 상에 레이저를 조사하는 것을 포함하는 플렉서블 장치 제조방법
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플렉서블 기판층;상기 플렉서블 기판층의 상부표면 상에 형성된 소자층; 및상기 플렉서블 기판층의 하부표면 내에 배치된 다수 개의 나노시트들을 포함하되, 상기 나노시트들 사이에 상기 플렉서블 기판층의 하부표면이 노출되는 플렉서블 장치
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제11항에 있어서,상기 나노시트들은 전이금속 산화물의 1 내지 수개의 단위층들, 그래핀계 물질의 1 내지 수개의 단위층들, 또는 이들의 조합을 포함하는 층인 플렉서블 장치
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제11항에 있어서,상기 나노시트들은 TiOx (x는 0
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제13항에 있어서,상기 나노시트들은 그래핀 산화물 나노시트들을 더 포함하는 플렉서블 장치
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