맞춤기술찾기

이전대상기술

관통 전극을 이용한 정전 방식 압력 센서 및 제작 방법

  • 기술번호 : KST2019019472
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 정전 방식의 압력센서는 제1전극이 형성된 제1웨이퍼 및 상기 제1웨이퍼와 결합시 동공을 형성하도록 관통부가 구비되고, 상기 관통부의 일면을 차폐하는 박막, 상기 박막의 일면에 구비되는 제2전극을 포함하는 제2웨이퍼를 포함한다.
Int. CL H01L 41/113 (2006.01.01) G01L 1/14 (2006.01.01) H01L 41/047 (2006.01.01) H01L 41/29 (2013.01.01)
CPC H01L 41/1132(2013.01) H01L 41/1132(2013.01) H01L 41/1132(2013.01) H01L 41/1132(2013.01)
출원번호/일자 1020180038229 (2018.04.02)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0115327 (2019.10.11) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.04.02)
심사청구항수 7

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김인철 경상북도 포항시 남구
2 김수곤 경상북도 포항시 남구
3 강민재 경상북도 포항시 남구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 임상엽 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)
2 권정기 대한민국 서울특별시 성동구 광나루로 ***, *층 ***호 (성수동*가, 서울숲IT캐슬)(지반특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.04.02 수리 (Accepted) 1-1-2018-0326906-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.09.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.11.08 수리 (Accepted) 9-1-2018-0058823-29
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0527225-32
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2019-0968586-28
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-1077387-18
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.11.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1202209-11
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.11.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-1202208-65
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
12 등록결정서
Decision to grant
2020.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0049195-95
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
제1전극이 형성된 제1웨이퍼; 및상기 제1웨이퍼와 결합시 동공을 형성하도록 관통부가 구비되고, 상기 관통부의 일면을 차폐하는 박막, 상기 박막의 일면에 구비되는 제2전극을 포함하는 제2웨이퍼를 포함하고,상기 제2웨이퍼는 상기 박막 및 상기 제2전극 사이에 구비되는 지지부를 더 포함하고, 상기 지지부는 상기 동공의 중앙부위에 상기 제2웨이퍼의 다른 부위와 접촉이 되지 않으면서 상기 박막의 하면에 접촉이 되도록 형성되고, 상기 지지부는 상기 제2전극이 상기 제1전극에서 일정 거리 이격되어 위치하도록 상기 지지부의 하단이 상기 제2웨이퍼의 하단보다 높게 위치하는 정전 방식의 압력센서
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 동공의 하면에 노출되는 박막에 접촉되는 보강부를 더 포함하는 정전 방식의 압력센서
4 4
제1항에 있어서,상기 제2웨이퍼는 상기 박막의 타면에 구비되는 제3전극을 더 포함하고, 상기 제2전극 및 상기 제3전극을 연결하는 연결전극을 더 포함하는 정전 방식의 압력센서
5 5
제4항에 있어서,상기 연결전극은 상기 박막 및 상기 지지부를 관통하여 형성되는 정전 방식의 압력센서
6 6
일면에 박막이 형성된 제2웨이퍼의 타면을 동공을 형성하기 위한 동공형성단계;상기 박막에 제2전극을 구비하는 제2전극 형성단계; 및제1전극이 형성된 제1웨이퍼를 상기 제1전극이 상기 동공에 노출되도록 상기 제2웨이퍼에 결합시키는 웨이퍼결합단계;를 포함하고, 상기 동공형성단계는,상기 동공의 내부에 돌출된 지지부가 형성되도록 상기 지지부를 둘러싸고, 상기 박막이 노출되는 동공을 형성하는 동공형성과정; 및상기 지지부의 일부를 제거하는 지지부제거과정;를 포함하며, 상기 제2전극형성단계에서 제2전극은 상기 지지부제거과정를 통하여 높이가 낮아진 지지부의 표면에 형성되는 정전 방식의 압력센서 제조방법
7 7
삭제
8 8
제6항에 있어서,상기 동공형성과정은 상기 박막의 표면에 접촉되는 보강부가 형성되도록 동공을 형성하는 정전 방식의 압력센서 제조방법
9 9
삭제
10 10
제1항의 정전방식의 압력센서를 제작하는 방법에 있어서,일면에 박막이 형성된 제2웨이퍼에 상기 박막을 관통하고, 상기 제2웨이퍼 일부를 관통하는 비아홀을 형성하는 비아홀을 형성하고, 상기 비아홀에 연결전극을 구비하는 연결전극 형성단계;상기 연결전극과 연결되는 제3전극을 형성하는 제3전극 형성단계;상기 제2웨이퍼의 타면에 상기 비아홀이 형성된 부위를 포함하는 지지부가 형성되도록, 상기 지지부를 둘러싸고 상기 박막이 노출되는 동공을 형성하는 동공 형성단계;상기 연결전극이 노출되도록 상기 지지부의 일부를 제거하는 지지부 제거단계;상기 지지부 제거단계에서 노출된 연결전극과 접촉하는 제2전극을 형성하는 제2전극 형성단계; 및제1전극이 형성된 제1웨이퍼를 상기 제1전극이 상기 동공에 노출되도록 상기 제2웨이퍼에 결합시키는 웨이퍼결합단계;를 포함하는 정전 방식의 압력센서 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 포항공과대학교 선행공정·플랫폼기술연구개발사업 사물인터넷 나노 실리콘 기반 센서 공정 플랫폼 구축을 위한 신호 검출 회로 설계 및 배선 연결 공정 개발