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광 도파로를 따라 진행하는 광 신호를 전기 신호에 따라 변조하는 그래핀 전-광 변조기(electro-optic modulator)를 제조하는 방법으로서,기판 상에 형성된 산화막 상에 제1 금속 전극 및 제2 금속 전극을 형성하는 단계- 상기 제1 금속 전극 및 제2 금속 전극은 서로 이격되어 형성됨;금속 박막에 제1 그래핀 필름을 합성하는 단계;상기 제1 그래핀 필름을 제1 폴리머 막으로 코팅하는 단계 - 상기 제1 폴리머 막은 상기 금속 박막에 대향하도록 상기 제1 그래핀 필름의 표면 상에 형성됨;상기 제1 그래핀 필름이 합성된 금속 박막을 제거하는 단계;상기 제1 폴리머 막으로 코팅된 제1 그래핀 필름을 상기 제1 금속 전극 상에 전사시키는 단계를 포함하되,상기 제1 폴리머 막은 전사 이후에 제거되지 않고, 상기 제1 폴리머 막의 일부는 상기 제1 금속 전극 및 제2 금속 전극 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서, 금속 박막에 제2 그래핀 필름을 합성하는 단계;상기 제2 그래핀 필름을 제2 폴리머 막으로 코팅하는 단계;상기 제2 그래핀 필름이 합성된 금속 박막을 제거하는 단계; 및상기 폴리머 막으로 코팅된 제2 그래핀 필름을 상기 제2 금속 전극 상에 전사시키는 단계를 더 포함하는 방법
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제1항에 있어서, 상기 제1 그래핀 필름을 성장시키는 단계는,상기 금속 박막의 양 면에 그래핀 필름을 성장시키는 단계; 및상기 금속 박막의 일 면에서 성장된 그래핀 필름을 제거하는 단계를 포함하되,상기 제1 그래핀 필름은 제거되지 않은 그래핀 필름인 것을 특징으로 하는 방법
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제3항에 있어서, 상기 제1 그래핀 필름을 제1 폴리머 막으로 코팅하는 단계는,상기 그래핀 필름을 제거하는 단계 이전에 수행되는 것을 특징으로 하는 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 그래핀 필름을 전사하기 이전에, 상기 산화막의 일부, 그리고 금속 전극 중 하나를 폴리머 막으로 코팅하는 단계를 더 포함하는 방법
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제1항에 있어서, 제1 그래핀 필름을 전사한 이후에 폴리머를 가열하는 단계를 더 포함하는 방법
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광 도파로를 따라 진행하는 광 신호를 전기 신호에 따라 변조하는 그래핀 전-광 변조기(electro-optic modulator)로서, 기판 상에 형성된 산화막;상기 산화막 상에 이격 배치된 제1 금속 전극 및 제2 금속 전극;상기 제1 금속 전극에 전기적으로 연결된 제1 그래핀 필름; 및상기 제1 그래핀 필름 상에 코팅된 제1 폴리머 막을 포함하되,상기 제1 폴리머 막의 일부는 상기 제1 금속 전극 및 제2 금속 전극 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 그래핀 전-광 변조기
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제7항에 있어서, 상기 제2 금속 전극에 전기적으로 연결된 제2 그래핀 필름;상기 제2 그래핀 필름 상에 코팅된 제2 폴리머 막을 더 포함하는 그래핀 전-광 변조기
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제7항에 있어서, 상기 제1 그래핀 필름과 산화막 사이의 제2 폴리머 막을 더 포함하는 그래핀 전-광 변조기
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제7항에 있어서,상기 제1 폴리머 막은 PMMA로 이루어진 것을 특징으로 하는 그래핀 전-광 변조기
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제10항에 있어서,상기 PMMA의 분자량은 996K인 것을 특징으로 하는 그래핀 전-광 변조기
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제7항에 있어서,상기 제1 그래핀 필름의 면적은 60mm2인 것을 특징으로 하는 그래핀 전-광 변조기
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제7항에 있어서, 상기 광신호의 소실장 영역 범위에 그래핀 필름이 위치하는 경우 상기 광 신호를 변조하는 것을 특징으로 하는 그래핀 전-광 변조기
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제7항 내지 제13항 중 어느 하나의 항에 따른 그래핀 전-광 변조기; 광 신호를 발진하는 발진기; 상기 전기 신호를 생성하는 발생기;상기 전기 신호를 증폭하는 증폭기; 상기 전기 신호에 기초하여 상기 전-광 변조기에 바이어스 전압을 가하는 바이어스 티(bias tee); 및코어와 클래드층을 포함한 광 도파로를 포함하는 시스템으로서,상기 클래드층은 적어도 일부가 연마되고, 상기 그래핀 전-광 변조기는 상기 연마된 부분에 접촉되는 것을 특징으로 하는 시스템
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