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광을 조사하는 광원 유닛;상기 광원 유닛에서 조사된 광을 샘플광 및 기준광으로 나누는 편광 분배기;상기 샘플광을 상기 편광 분배기로 반사시키는 피검체부;상기 기준광을 상기 편광 분배기로 반사시키는 기준 미러;상기 광원 유닛에서 상기 편광 분배기를 향해 입사되는 광의 각도를 조절하여, 상기 피검체부에 입사되는 상기 샘플광의 입사각, 및 상기 기준 미러에 입사되는 상기 기준광의 입사각을 조절하는 스캐닝 미러; 상기 피검체부에서 반사된 상기 샘플광, 및 상기 기준 미러에서 반사된 상기 기준광을 회절시키는 회절 격자;상기 회절 격자에서 회절된 광을 수광하는 영상 획득 유닛; 상기 피검체부에서 반사되어 상기 편광 분배기로 입사되는 상기 샘플광을 수직하게 편광시키는 제1 파장판; 및상기 기준 미러에서 반사되어 상기 편광 분배기로 입사되는 상기 기준광을 수직하게 편광시키는 제2 파장판을 포함하는 반사 위상 현미경
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제1항에 있어서, 상기 회절 격자에서 회절된 광 중 상기 샘플광만 통과시키는 제1 편광기; 상기 회절 격자에서 회절된 광 중 상기 기준광만 통과시키는 제2 편광기; 및상기 제1 편광기를 통과한 상기 샘플광의 편광, 및 상기 제2 편광기를 통과한 상기 기준광의 편광을 일치시키는 제3 파장판을 더 포함하는 반사 위상 현미경
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제3항에 있어서, 상기 제3 파장판은, 상기 샘플광을 편광시키는 제1 서브 파장판, 및 상기 기준광을 편광시키는 제2 서브 파장판을 포함하고, 상기 제1 서브 파장판은 45°의 편광 축을 갖고, 상기 제2 서브 파장판은 -45°의 편광 축을 갖는 반사 위상 현미경
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제1항에 있어서, 상기 제1 파장판을 통과한 상기 샘플광의 편광, 및 상기 제2 파장판을 통과한 상기 기준광의 편광은 서로 교차하는 반사 위상 현미경
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제1항에 있어서, 상기 피검체부와 상기 제1 파장판 사이에 위치되고, 상기 피검체로 입사되는 상기 샘플광을 집속하는 제1 대물렌즈; 및상기 기준 미러와 상기 제2 파장판 사이에 위치되고, 상기 기준 미러로 입사되는 상기 기준광을 집속하는 제2 대물렌즈를 더 포함하는 반사 위상 현미경
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제6항에 있어서, 상기 스캐닝 미러는, 상기 제1 대물렌즈와 상기 제2 대물렌즈의 개구수를 커버하도록, 상기 피검체부로 입사되는 상기 샘플광의 입사각을 조절하는 반사 위상 현미경
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제1항에 있어서, 상기 스캐닝 미러와 상기 편광 분배기 사이에 위치되고, 상기 기준 미러에 입사되는 상기 기준광의 광도, 및 상기 피검체부에 입사되는 상기 샘플광의 광도를 조절하는 광도 파장판을 더 포함하는 반사 위상 현미경
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