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트렌치를 갖는 베이스 기판;상기 트렌치 내면을 따라 콘포말하게 배치되는 금속층; 및상기 트렌치 내부에 상기 금속층 위에 배치되며, 3차원으로 서로 연결되는 정렬된 기공을 갖는 3차원 다공성 나노구조물을 포함하고,제공된 가스 시료를 농축하여 분별기에 제공하며, 상기 분별기와 동일한 베이스 기판에 배치되는 것을 특징으로 하는 사전 농축기
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제1항에 있어서, 상기 베이스 기판은, 실리콘을 포함하는 것을 특징으로 하는 사전 농축기
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제1항에 있어서, 상기 트렌치는, 농축부, 가스 시료가 제공되는 주입부, 농축된 가스 시료를 방출하는 방출부, 상기 농축부와 상기 주입부를 연결하는 주입 채널, 및 상기 농축부와 상기 방출부를 연결하는 방출 채널을 포함하고, 상기 3차원 다공성 나노구조물은 상기 농축부에 배치되는 것을 특징으로 하는 사전 농축기
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제1항에 있어서, 상기 베이스 기판과 결합하여 상기 트렌치를 커버하며, 상기 3차원 다공성 나노구조물과 이격된 커버 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 사전 농축기
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제1항에 있어서, 상기 3차원 다공성 나노 구조물은, 상기 금속층의 줄열에 의해 가열되어 농축된 가스 시료를 방출하는 것을 특징으로 하는 사전 농축기
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베이스 기판의 트렌치 내부에 3차원 다공성 주형을 형성하는 단계;상기 3차원 다공성 주형의 기공을 충진하여 역상의 충진 구조를 형성하는 단계;및 상기 3차원 다공성 주형을 제거하여 3차원으로 서로 연결되는 정렬된 기공을 갖는 3차원 다공성 나노구조물을 형성하는 단계를 포함하고,상기 3차원 다공성 주형을 형성하는 단계는, 상기 트렌치 내에 감광성 필름을 형성하는 단계;상기 감광성 필름 위에 광학 매질 부재를 제공하는 단계;상기 광학 매질 부재 위에 요철 형상을 갖는 위상 마스크를 배치하는 단계; 및상기 위상 마스크 및 상기 광학 매질 부재를 통하여 상기 감광성 필름에 3차원 분포를 갖는 광을 제공하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 사전 농축기의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 위상 마스크 및 상기 광학 매질 부재는 동일한 계열의 고분자를 포함하는 것을 특징으로 하는 사전 농축기의 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 위상 마스크 및 상기 광학 매질 부재는 폴리디메틸실록산(polydimetyl siloxane: PDMS), 폴리우레탄 아크릴레이트(polyurethane acrylate: PUA) 및 퍼플루오로폴리에테르(perfluoropolyether: PFPE)로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 사전 농축기의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 광학 매질 부재는 유리를 포함하며, 상기 트렌치에 적어도 일부가 삽입되는 것을 특징으로 하는 사전 농축기의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 광학 매질 부재는 굴절율 매칭 윤활제를 포함하는 것을 특징으로 하는 사전 농축기의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 3차원 다공성 나노구조물은, 세륨 산화물(CeO2), 알루미늄 산화물(Al2O3), 티타늄 산화물(TiO2), 지르코늄 산화물(ZrO2), 아연 산화물(ZnO) 및 티타늄 질화물(TiN)로 이루어지는 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 사전 농축기의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 3차원 다공성 나노구조물은, 금, 은, 백금, 팔라듐, 루테늄, 로듐, 이리듐, 바나듐, 니켈, 코발트, 구리, 텅스텐, 몰리브덴, 망간, 알루미늄 및 철로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 사전 농축기의 제조 방법
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