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마이크로 소자 어레이 기판 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019019815
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자 및 입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자와 대응되는 음각 패턴이 배열된 기판; 을 포함하며, 상기 입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자는 일부분이 에칭된 형태이며, 전면 및 후면이 서로 구분되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 어레이 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/52 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/677 (2006.01.01) H01L 21/607 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180106574 (2018.09.06)
출원인 중앙대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0118100 (2019.10.17) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020180040971   |   2018.04.09
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.09.06)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유재수 서울특별시 동작구
2 임태길 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 중앙대학교 산학협력단 서울특별시 동작구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-0887812-96
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.07.29 수리 (Accepted) 4-1-2019-5151122-15
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.01 수리 (Accepted) 4-1-2019-5153932-16
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.11.08 수리 (Accepted) 9-1-2019-0050315-06
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.04.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0246479-77
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.06.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0577588-73
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.06.04 수리 (Accepted) 1-1-2020-0577587-27
9 등록결정서
Decision to grant		 2020.09.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0602039-53
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자; 및입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자와 대응되는 음각 패턴이 배열된 기판; 을 포함하며,상기 입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자는 일부분이 에칭된 형태이며, 전면 및 후면이 서로 구분되고,입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자는 전면 및 후면이 사각형의 판상 형상이며,상기 사각형의 네 개의 꼭지점 중 적어도 하나의 꼭지점 또는 상기 사각형의 네 개의 모서리 중 적어도 하나의 모서리, 또는 사각형의 네 개의 꼭지점 중 적어도 하나의 꼭지점 및 상기 사각형의 네 개의 모서리 중 적어도 하나의 모서리가 일부분 절단된 형태인 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 어레이 기판
2 2
제 1 항에 있어서,입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자는 2 종류 이상이며, 종류에 따라 상기 마이크로 소자의 에칭된 위치 또는 에칭된 형태가 상이한 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 어레이 기판
3 3
입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자가 분산된 용매에 특정 에너지를 가지는 진동을 인가하여,입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자가 상기 입체적 독립성을 가지는 소자와 대응되는 음각 패턴이 형성된 기판과 접촉하여 상기 기판에 배열되는 것을 포함하며,상기 입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자는 일부분이 에칭된 형태이며, 전면 및 후면이 서로 구분되는 것을 특징으로 하는 제1항의 마이크로 소자 어레이 기판의 제조방법
4 4
제 3 항에 있어서,입체적 독립성을 가지는 마이크로 소자는 2 종류 이상이며,상기 2 종류 이상의 마이크로 소자는 상기 기판에 순차적으로 또는 동시에 배열하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 어레이 기판의 제조방법
5 5
제 3 항에 있어서,상기 마이크로 소자가 배열된 기판에서 수용기판으로 마이크로 소자를 전사하는 것을 더 포함하는 마이크로 소자 어레이 기판의 제조방법
6 6
제 3 항에 있어서,상기 용매는 아세톤이고,상기 특정 에너지의 진동수는 28 내지 40KHz인 마이크로 소자 어레이 기판의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR102158976 KR 대한민국 FAMILY

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