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정압을 맥동 압력으로 변환시키는 미세유체 진동자; 및제1 단에서 상기 맥동압력과 연결되어 제1 압력을 형성하는 제1 커패시터와 상기 제1 커패시터의 제2 단과 연결되어 제2 압력을 형성하는 제2 커패시터를 통해 상기 맥동압력의 변화를 계단파형으로 생성하는 다이오드 펌프를 포함하는 미세유체 계단파형 생성장치
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제1항에 있어서, 상기 미세유체 진동자는교번 개폐하여 상기 정압을 상기 맥동 압력으로 변환하는 제1 및 제2 밸브들을 포함 하는 것을 특징으로 하는 미세유체 계단파형 생성장치
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제1항에 있어서, 상기 다이오드 펌프는상기 제1 커패시터의 제2 단과 상기 제2 커패시터의 제1 단의 사이에 배치되어 제3 압력을 제공하는 제1 다이오드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체 계단파형 생성장치
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제3항에 있어서, 상기 다이오드 펌프는상기 제1 커패시터의 제2 단과 상기 제 2 커패시터의 제2 단의 사이에 배치되고 기준압력과 연결된 제2 다이오드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체 계단파형 생성장치
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제4항에 있어서, 상기 다이오드 펌프는미세유체 흐름을 상기 제2 커패시터의 제1 단의 방향으로 제어하도록 상기 제1 및 제2 다이오드들을 구현하여 상기 맥동압력의 변화를 상기 계단파형으로 증가시키는 것을 특징으로 하는 미세유체 계단파형 생성장치
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제4항에 있어서, 상기 다이오드 펌프는미세유체 흐름을 상기 제2 커패시터의 제2 단의 방향으로 제어하도록 상기 제1 및 제2 다이오드들을 구현하여 상기 맥동압력의 변화를 상기 계단파형으로 감소시키는 것을 특징으로 하는 미세유체 계단파형 생성장치
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제4항에 있어서, 상기 제1 및 제2 다이오드들 각각은돌기를 가지는 채널;상기 채널에 대향하는 챔버; 및상기 채널과 상기 챔버 간에 형성된 멤브레인을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체 계단파형 생성장치
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제7항에 있어서, 상기 멤브레인은미세유체의 유동을 단방향으로 제한하는 유동 제어홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체 계단파형 생성장치
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제1항에 있어서, 상기 다이오드 펌프는상기 제1 및 제2 커패시터들의 커패시턴스들 간의 비율을 기초로 상기 계단파형의 계단크기를 결정하는 것을 특징으로 하는 미세유체 계단파형 생성장치
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제1항에 있어서, 상기 미세유체 진동자는주기를 가변하여 상기 다이오드 펌프와 독립적으로 압력지속시간을 제어하는 것을 특징으로 하는 미세유체 계단파형 생성장치
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정압을 맥동 압력으로 변환시키는 미세유체 진동자; 및상기 맥동압력과 연결되고 제1 및 제2 다이오드들의 방향을 함께 제어하여 상기 맥동압력의 변화를 계단파형으로 생성하며, 상기 제1 및 제2 다이오드들 각각은 돌기를 가지는 채널, 상기 채널에 대향하는 챔버 및 상기 채널과 상기 챔버 간에 형성되고 미세유체의 유동을 단방향으로 제한하는 유동 제어홀을 포함하는 멤브레인으로 구성되는 다이오드 펌프를 포함하는 미세유체 계단파형 생성장치
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정압을 기초로 계단파형의 압력을 생성하는 미세유체 계단파형 생성장치; 및상기 미세유체 계단파형 생성장치와 연결되고 가변적인 유체저항을 형성하여 상기 계단파형의 압력에 따라 유량 또는 전단응력을 조절하는 마이크로 밸브를 포함하고,상기 미세유체 계단파형 생성장치는정압을 맥동 압력으로 변환시키는 미세유체 진동자; 및제1 단에서 상기 맥동압력과 연결되어 제1 압력을 형성하는 제1 커패시터와 상기 제1 커패시터의 제2 단과 연결되어 제2 압력을 형성하는 제2 커패시터를 통해 상기 맥동압력의 변화를 상기 계단파형 압력으로 생성하는 다이오드 펌프를 포함하는 미세유체 유량 조절장치
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