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3차원 다공성 구조를 갖는 그래핀 구조체;상기 그래핀 구조체의 표면 상에 제공되는 평면 시트들; 및상기 그래핀 구조체 및 상기 평면 시트들을 덮는 폴리머막을 포함하되,상기 평면 시트들은 전이금속 칼코게나이드 화합물을 포함하는 압력-변형 센서
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제 1 항에 있어서,상기 평면 시트들은 MoS2, WS2, TiS2, TaS2, NiS2, PtS2, PdS2, ReS2, ZrS2, HfS2, NbS2, CoS2, MoSe2, WSe2, TiSe2, TaSe2, NiSe2, PtSe2, PdSe2, ReSe2, ZrSe2, HfSe2, NbSe2, CoSe2, MoTe2, WTe2, TiTe2, TaTe2, NiTe2, PtTe2, PdTe2, ReTe2, ZrTe2, HfTe2, NbTe2 및 CoTe2 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 압력-변형 센서
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제 1 항에 있어서,상기 그래핀 구조체의 내부는 빈 공간인 압력-변형 센서
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제 1 항에 있어서,상기 그래핀 구조체, 상기 평면 시트들 및 상기 폴리머막을 둘러싸는 보호막을 더 포함하는 압력-변형 센서
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제 4 항에 있어서,상기 보호막을 관통하여 상기 평면 시트들과 연결되는 와이어를 더 포함하는 압력-변형 센서
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제 1 항에 있어서,상기 평면 시트들은 서로 이격되는 압력-변형 센서
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제 6 항에 있어서,상기 평면 시트들은 상기 그래핀 구조체의 표면의 일부를 덮고, 상기 그래핀 구조체의 표면의 다른 일부를 노출하는 압력-변형 센서
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제 4 항에 있어서,상기 폴리머막 및 상기 보호막은 동일한 물질을 포함하는 압력-변형 센서
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제 8 항에 있어서,상기 폴리머막 및 상기 보호막은 PDMS, 에코플렉스(ecoflex), 하이드로젤(hydrogel) 및 유연성 폴리머중 하나를 포함하는 압력-변형 센서
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3차원 다공성 금속폼 상에 그래핀 구조체를 형성하여 제1 예비 구조체를 형성하는 단계;상기 그래핀 구조체 상에 평면 시트들을 형성하여 제2 예비 구조체를 형성하는 단계;상기 그래핀 구조체 및 상기 평면 시트들을 덮는 폴리머막을 형성하여 제3 예비 구조체를 형성하는 단계; 및상기 금속폼을 제거하는 단계를 포함하는 압력-변형 센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 평면 시트들을 형성하는 것은,상기 제1 예비 구조체를 전이금속 칼코게나이드 화합물 용액에 담그는 것을 포함하는 압력-변형 센서 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 전이금속 칼코게나이드 화합물 용액은 전이금속 칼코게나이드 화합물의 비율이 0
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제 12 항에 있어서,상기 전이금속 칼코게나이드 화합물은 MoS2, WS2, TiS2, TaS2, NiS2, PtS2, PdS2, ReS2, ZrS2, HfS2, NbS2, CoS2, MoSe2, WSe2, TiSe2, TaSe2, NiSe2, PtSe2, PdSe2, ReSe2, ZrSe2, HfSe2, NbSe2, CoSe2, MoTe2, WTe2, TiTe2, TaTe2, NiTe2, PtTe2, PdTe2, ReTe2, ZrTe2, HfTe2, NbTe2 및 CoTe2 로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나인 압력-변형 센서 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 평면 시트들을 형성하는 것은,상기 제1 예비 구조체를 80℃ 내지 100℃의 온도에서 건조하는 것, 및 상기 제1 예비 구조체를 600℃ 내지 1000℃에서 열처리하는 것을 더 포함하는 압력-변형 센서 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 제1 예비 구조체를 600℃ 내지 1000℃에서 열처리하는 것은,상기 제1 예비 구조체를 챔버 내에 배치하는 것, 및 상기 챔버 내에 아르곤을 흘리는 것을 포함하는 압력-변형 센서 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 제1 예비 구조체를 전이금속 칼코게나이드 화합물 용액에 담그는 것은,상기 제1 예비 구조체를 상기 전이금속 칼코게나이드 화합물 용액에 1분 내지 60분 동안 담그는 것을 포함하는 압력-변형 센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제3 예비 구조체를 형성하는 단계는,상기 제3 예비 구조체를 둘러싸는 보호막을 형성하는 것을 포함하는 압력-변형 센서 제조 방법
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제 10 항에 있어서,상기 폴리머막을 형성하는 것은,상기 제2 예비 구조체를 액상 폴리머에 담그는 것, 및 상기 제2 예비 구조체에 달라붙은 상기 액상 폴리머를 건조시키는 것을 포함하는 압력-변형 센서 제조 방법
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