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2차원 물질이 서로 상하 방향으로 적층된 층상 구조를 갖는 측정 대상물의 저항을 측정하는 저항 측정 방법에 있어서,제 1 상부 전극 및 제 2 상부 전극이 서로 일정 거리로 이격되어 상기 측정 대상물의 상면에 접촉되도록 제공되고, 제 1 하부 전극 및 제 2 하부 전극이 서로 일정 거리로 이격되어 상기 측정 대상물의 저면에 접촉되도록 제공되며, 상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극 중 두 전극 간의 저항값 중 일부 또는 전부를 측정하는 저항 측정 단계와;이 후, 상기 저항 측정 단계에서 측정된 저항값 중 일부 또는 전부를 이용해 연산하여 상기 측정 대상물의 저항값을 도출하는 연산 단계를 포함하고,상기 제 1 상부 전극과 상기 제 1 하부 전극은 상기 측정 대상물을 사이에 두고 상호 대향하고, 상기 제 2 상부 전극과 상기 제 2 하부 전극은 상기 측정 대상물을 사이에 두고 상호 대향하고,상기 연산 단계에서 도출되는 상기 측정 대상물의 상기 저항값은, 상기 측정 대상물의 횡방향 저항값 및 상기 측정 대상물의 종방향 저항값을 포함하고,상기 연산 단계에서 도출되는 상기 측정 대상물의 상기 저항값은, 상기 측정 대상물과 각각의 상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극 간의 접촉 저항값을 포함하고,상기 연산 단계에서 도출되는 상기 접촉 저항값은, 상기 측정 대상물로부터 각각의 상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극으로 전류가 흐르는 경우의 접촉 저항값과, 각각의 상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극으로 전류가 흐르는 경우의 접촉 저항값을 포함하고,상기 연산 단계에서는, 상기 저항 측정 단계에서 측정된 저항값 중 일부 또는 전부로부터 다원일차 연립방정식을 이용해 상기 측정 대상물의 저항값을 각각 도출하고,상기 연산 단계에서는, 측정한 저항값들 중 특정 저항값 도출에 필요한 상기 다원일차 연립방정식을 선택하여 특정 저항값을 다시 도출하고,상기 연산 단계에서는, 다시 도출된 저항값을 상기 저항 측정 단계에서 측정된 저항값을 비교하는 저항 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 저항 측정 단계에서는, 상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극 중 측정 대상인 두 전극 간에 전류가 일방향으로 흐르는 경우 및 타방향으로 흐르는 경우를 각각 측정하는 저항 측정 방법
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제 1 항에 있어서,상기 저항 측정 단계 이전에, 제 1 상부 전극 및 제 2 상부 전극을 상기 측정 대상물의 상면에 접촉되도록 제공하고, 제 1 하부 전극 및 제 2 하부 전극을 상기 측정 대상물의 저면에 접촉되도록 제공하는 전극 제공 단계를 더 포함하는 저항 측정 방법
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제 9 항에 있어서,상기 전극 제공 단계는,상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극을 상기 측정 대상물의 저면에 접촉시키는 하부 전극 제공 단계와;이 후, 위에서 바라볼 때, 상기 제 1 하부 전극의 상면의 상기 측정 대상물의 외측으로 돌출된 영역 및 상기 측정 대상물의 측면의 상기 제 1 하부 전극에 대향된 영역과, 상기 제 2 하부 전극의 상면의 상기 측정 대상물의 외측으로 돌출된 영역 및 상기 측정 대상물의 측면의 상기 제 2 하부 전극에 대향된 영역을 커버하도록 절연체를 제공하는 절연체 제공 단계와;이 후, 상기 제 1 하부 전극에 대향되도록 상기 제 1 상부 전극을 상기 측정대상물에 첩촉시키고, 상기 제 2 하부 전극에 대향되도록 상기 제 2 상부 전극을 상기 측정대상물에 접촉시키는 상부 전극 제공 단계를 포함하는 저항 측정 방법
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2차원 물질이 서로 상하 방향으로 적층된 층상 구조를 갖는 측정 대상물의 저항을 측정하는 저항 측정 장치에 있어서,서로 일정 거리로 이격되어 상기 측정 대상물의 상면에 접촉되는 제 1 상부 전극 및 제 2 상부 전극과,서로 일정 거리로 이격되어 상기 측정 대상물의 저면에 접촉되는 제 1 하부 전극 및 제 2 하부 전극과,상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극 중 두 전극 간의 저항값 중 일부 또는 전부를 측정하는 저항 측정 유닛과;상기 저항 측정 유닛이 측정한 저항값 중 일부 또는 전부를 이용해 연산하여 상기 측정 대상물의 저항값을 도출하는 연산 유닛을 포함하고,상기 제 1 상부 전극과 상기 제 1 하부 전극은 상기 측정 대상물을 사이에 두고 상호 대향하고, 상기 제 2 상부 전극과 상기 제 2 하부 전극은 상기 측정 대상물을 사이에 두고 상호 대향하고,상기 연산 유닛에서 도출되는 상기 측정 대상물의 상기 저항값은, 상기 측정 대상물의 횡방향 저항값 및 상기 측정 대상물의 종방향 저항값을 포함하고,상기 연산 유닛에서 도출되는 상기 측정 대상물의 상기 저항값은, 상기 측정 대상물과 각각의 상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극 간의 접촉 저항값을 포함하고,상기 연산 유닛에서 도출되는 상기 접촉 저항값은, 상기 측정 대상물로부터 각각의 상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극으로 전류가 흐르는 경우의 접촉 저항값과, 각각의 상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극으로 전류가 흐르는 경우의 접촉 저항값을 포함하고,상기 연산 유닛에서는, 상기 저항 측정 유닛에서 측정된 저항값 중 일부 또는 전부로부터 다원일차 연립방정식을 이용해 상기 측정 대상물의 저항값을 각각 도출하고,상기 연산 유닛에서는, 측정한 저항값들 중 특정 저항값 도출에 필요한 상기 다원일차 연립방정식을 선택하여 특정 저항값을 다시 도출하고,상기 연산 유닛에서는, 다시 도출된 저항값을 상기 저항 측정 유닛에서 측정된 저항값을 비교하는 저항 측정 장치
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제 11 항에 있어서,상기 저항 측정 유닛은, 상기 제 1 상부 전극, 상기 제 2 상부 전극, 상기 제 1 하부 전극 및 상기 제 2 하부 전극 중 측정 대상 전극 간에 흐르는 전류의 방향을 변경하여 저항을 측정할 수 있는 저항 측정 장치
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