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광학 수차의 고속 보정이 가능한 광학 이미징 방법에 있어서,(A) 광학계를 이용하여 측정 대상물에 대한 측정 이미지가 획득되는 단계와,(B) 상기 광학계에 대해 기 설정된 위상 마스크를 이용하여 상기 측정 이미지의 초점 왜곡이 보정되는 단계 - 상기 위상 마스크는 상기 광학계에 대해 측정된 투과 행렬로부터 추출되며, 상기 투과 행렬의 각도별 행렬 요소에서 임의 위치의 위상을 기준으로 모든 각도에 대해 동일 위상을 갖도록 하는 2차원 위상 보정 행렬임 - 와,(C) 상기 (B) 단계를 통해 초점 왜곡이 보정된 측정 이미지에 공간 왜곡 보정 계수가 적용되어 공간 왜곡이 보정되는 단계를 포함하며;상기 공간 왜곡 보정 계수는(a) 기준 표식 패턴으로 구성된 기준 표식 이미지에 대한 왜곡 이미지를 획득하는 단계와,(b) 상기 위상 마스크를 이용하여 상기 왜곡 이미지의 초점 왜곡을 보정하여 초점 보정 이미지를 획득하는 단계와,(c) 상기 기준 표식 이미지와 상기 초점 보정 이미지를 이용하여, 상기 기준 표식 패턴의 공간 왜곡을 보정하기 위한 상기 공간 왜곡 보정 계수를 산출하는 단계를 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 광학 수차의 고속 보정이 가능한 광학 이미징 방법
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광학 수차의 고속 보정이 가능한 광학 이미징 방법에 있어서,(A) 광학계를 이용하여 측정 대상물에 대한 측정 이미지가 획득되는 단계와,(B) 상기 측정 이미지에 공간 왜곡 보정 계수가 적용되어 공간 왜곡이 보정되는 단계와,(C) 상기 광학계에 대해 기 설정된 위상 마스크를 이용하여 상기 (B) 단계에서 공간 왜곡이 보정된 측정 이미지의 초점 왜곡이 보정되는 단계 - 상기 위상 마스크는 상기 광학계에 대해 측정된 투과 행렬로부터 추출되며, 상기 투과 행렬의 각도별 행렬 요소에서 임의 위치의 위상을 기준으로 모든 각도에 대해 동일 위상을 갖도록 하는 2차원 위상 보정 행렬임 -를 포함하며;상기 공간 왜곡 보정 계수는(a) 기준 표식 패턴으로 구성된 기준 표식 이미지에 대한 왜곡 이미지를 획득하는 단계와,(b) 상기 위상 마스크를 이용하여 상기 왜곡 이미지의 초점 왜곡을 보정하여 초점 보정 이미지를 획득하는 단계와,(c) 상기 기준 표식 이미지와 상기 초점 보정 이미지를 이용하여, 상기 기준 표식 패턴의 공간 왜곡을 보정하기 위한 상기 공간 왜곡 보정 계수를 산출하는 단계를 통해 산출되는 것을 특징으로 하는 광학 수차의 고속 보정이 가능한 광학 이미징 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 (a) 단계에서 상기 기준 표식 패턴은 N×M 개의 점 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 광학 수차의 고속 보정이 가능한 광학 이미징 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 (c) 단계에서는 기 등록된 공간 왜곡 함수의 회기 분석 기법을 이용하여 상기 공간 왜곡 보정 계수를 산출하는 것을 특징으로 하는 광학 수차의 고속 보정이 가능한 광학 이미징 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 (b) 단계에서는 상기 왜곡 이미지를 퓨리에 변환하여 각도 스펙트럼을 추출하고, 상기 각도 스펙트럼과 상기 위상 마스크의 행렬 곱을 통해 상기 초점 보정 이미지를 획득하는 것을 특징으로 하는 광학 수차의 고속 보정이 가능한 광학 이미징 방법
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