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수소 가스 센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019020219
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 IGZO를 포함하는 금속 산화물층 상에 Pd 나노 입자가 코팅된 구조에 의해, 낮은 수소 가스 농도에서도 검출 민감도가 우수한 수소 가스 센서 및 그 제조 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 수소 가스 센서는 기판; 상기 기판 상에 배치되는 금속 산화물층; 상기 금속 산화물층 상에 배치되는 수소 흡착층; 및 상기 금속 산화물층의 양단과 접촉하는 제1전극 및 제2전극;을 포함하고, 상기 수소 흡착층은 Pd를 포함하고, 금속 산화물층은 IGZO를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01N 27/04 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 27/04(2013.01) G01N 27/04(2013.01) G01N 27/04(2013.01)
출원번호/일자 1020180046351 (2018.04.20)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0122489 (2019.10.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.04.20)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 요긴스 쿠마레산 광주광역시 북구
2 정건영 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0398005-20
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.03.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0112840-58
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.10.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0747597-05
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-1239762-93
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1239761-47
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.03.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0165197-74
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.03 수리 (Accepted) 1-1-2020-0350359-12
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.04.03 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0350360-69
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.04.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0252951-13
11 등록결정서
Decision to grant
2020.12.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0851134-66
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 배치되는 금속 산화물층; 상기 금속 산화물층 상에 배치되는 수소 흡착층; 및상기 금속 산화물층의 양단과 접촉하는 제1전극 및 제2전극;을 포함하고, 상기 수소 흡착층은 Pd를 포함하고, 금속 산화물층은 IGZO를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
2 2
제1항에 있어서,상기 수소 흡착층의 두께는 1~5nm인 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
3 3
제1항에 있어서,상기 제1전극 및 제2전극 각각은 다층막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서
4 4
(a) 기판 상에 반도체 금속 산화물층을 형성하는 단계;(b) 상기 금속 산화물층 상에 수소 흡착층을 형성하는 단계; 및(c) 수소 흡착층이 형성된 금속 산화물층의 양단에 제1전극 및 제2전극을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 수소 흡착층은 Pd를 포함하고, 금속 산화물층은 IGZO를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서의 제조 방법
5 5
제4항에 있어서,상기 (a) 단계에서, 기판 상에 금속 산화물을 스퍼터링으로 증착하여 금속 산화물층을 형성하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서의 제조 방법
6 6
제4항에 있어서,상기 (b) 단계에서, 수소 흡착층의 두께가 1~5nm가 되도록 Pd 나노입자를 전자빔으로 증착하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서의 제조 방법
7 7
제4항에 있어서,상기 제1전극 및 제2전극 각각은 다층막으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서의 제조 방법
8 8
제4항에 있어서,상기 (c) 단계는 (c1) 수소 흡착층과 금속 산화물층이 형성된 기판 상에 섀도 마스크를 배치하되, 상기 제1전극 및 제2전극 형상의 개구부를 갖는 섀도 마스크를 배치하는 단계; (c2) 상기 섀도 마스크가 배치된 기판 상에 금속을 전자빔으로 증착하여, 상기 금속 산화물층의 양단에 제1전극 및 제2전극을 형성하는 단계; 및(c3) 상기 섀도 마스크를 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소 가스 센서의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.