1 |
1
이황화몰리브덴 박막; 및상기 이황화몰리브덴 박막에 탄소나노튜브층이 함입되어 탄소나노튜브 네트워크를 형성하는 유연 가스센서
|
2 |
2
제 1항에 있어서,상기 유연 가스센서에서, 이황화몰리브덴 박막은 두께가 0
|
3 |
3
제 1항에 있어서,상기 유연 가스센서에 포함된 이황화몰리브덴 박막 : 탄소나노튜브의 두께 비는 1: 1 내지 10인 유연 가스센서
|
4 |
4
제 1항에 있어서,상기 유연 가스센서는 이황화몰리브덴 박막 1 ㎛2 당 1 내지 100개의 탄소나노튜브를 포함하는 것인 유연 가스센서
|
5 |
5
제 1항에 있어서,상기 탄소나노튜브는 단일벽 탄소나노튜브인 유연 가스센서
|
6 |
6
제 1항에 있어서,상기 탄소나노튜브 네트워크는 탄소나노튜브 분산액이 도포되어 형성된 유연 가스센서
|
7 |
7
제 1항에 있어서,상기 유연 가스센서에 포함되는 탄소 나노튜브는 외경이 1 내지 20 ㎚이고, 종횡비가 100 내지 1000인 유연 가스센서
|
8 |
8
기판 상에 탄소나노튜브 분산액을 도포하여 탄소나노튜브 네트워크를 형성하는 단계; 및상기 탄소나노튜브 네트워크 상에 이황화몰리브덴 박막을 형성하는 단계;를 포함하는 유연 가스센서 제조방법
|
9 |
9
제 8항에 있어서,상기 유연 가스센서 제조방법은 상기 탄소나노튜브 네트워크 형성단계 후 박막 형성단계 전 탄소나노튜브 네트워크 상에 유기 촉진제를 도포하는 유기 촉진제층 형성단계;를 더 포함하는 유연 가스센서 제조방법
|
10 |
10
제 9항에 있어서,상기 유기 촉진제는 포르피린계화합물인 유연 가스센서 제조방법
|
11 |
11
제 9항에 있어서,상기 유기 촉진제층 형성단계는 열증발증착을 통하여 수행되는 유연 가스센서 제조방법
|
12 |
12
제 9항에 있어서,상기 박막형성 단계는 화학 기상 증착법을 이용하는 것인 유연 가스센서 제조방법
|