요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
| 요약 |
개시되는 자장여과 아크 소스를 이용하여 도핑된 박막을 코팅하는 장치는, 증착 공간으로 제공되는 코팅 챔버; 상기 코팅 챔버의 일 측에 구비되며, 상기 코팅 챔버 내부로 카본 이온을 공급하는 자장 여과 아크 소스 유닛; 상기 코팅 챔버의 타 측에 구비되며, 상기 코팅 챔버 내부로 상기 카본 이온과 독립적으로 도핑 원자를 공급하는 이온빔 스퍼터 유닛; 및 상기 코팅 챔버의 내부에 구비되며, 상기 카본 이온 및 상기 도핑 원자가 증착되는 피코팅체가 배치되는 홀더;를 포함한다.
|
| Int. CL |
C23C 14/32 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/50 (2006.01.01) C23C 14/06 (2006.01.01)
|
| CPC |
|
| 출원번호/일자 |
1020190113802
(2019.09.16)
|
| 출원인 |
한국광기술원
|
| 등록번호/일자 |
|
| 공개번호/일자 |
10-2019-0122601
(2019.10.30)
문서열기
|
| 공고번호/일자 |
|
| 국제출원번호/일자 |
|
| 국제공개번호/일자 |
|
| 우선권정보 |
|
| 법적상태 |
공개 |
| 심사진행상태 |
수리 |
| 심판사항 |
|
| 구분 |
신규 |
| 원출원번호/일자 |
10-2017-0107800
(2017.08.25)
|
| 관련 출원번호 |
1020170107800 |
| 심사청구여부/일자 |
N
|
| 심사청구항수 |
1 |
