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테라헤르츠파를 발생시키는 테라헤르츠파 방출부;상기 테라헤르츠파 방출부에서 발생된 테라헤르츠파를 길이 방향을 따라서, 측정 대상체로 가이드하는 가이드 와이어; 및상기 가이드 와이어를 상기 가이드 와이어 폭 방향으로 진동시키는 진동부를 포함하되,상기 진동부는,상기 가이드 와이어의 일 측에 배치되는 제1 진동부 및상기 제1 진동부로부터 소정 거리 이격하여 배치되는 제2 진동부를 포함하는 테라헤르츠파 기반 검출기
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제1 항에 있어서,상기 제1 진동부는 상기 가이드 와이어의 내측에 배치되는 테라헤르츠파 기반 검출기
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제1 항에 있어서,상기 제1 진동부는 상기 가이드 와이어의 외면에 배치되는 테라헤르츠파 기반 검출기
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제4 항에 있어서,상기 제1 진동부는 부도체로 상기 가이드 와이어의 외면에 고정되는 테라헤르츠파 기반 검출기
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제1 항에 있어서,상기 제1 진동부는 자석으로 이루어지고,상기 제2 진동부는 코일로 이루어진, 테라헤르츠파 기반 검출기
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파 방출부와 상기 가이드 와이어가 배치되는 커플링 기판; 및측정 대상체에 대한 상기 커플링 기판의 위치를 제어하는 제어부를 더 포함하며,상기 제어부는 상기 진동에 의한 상기 가이드 와이어 단부와 측정 대상체 사이의 거리 변화를 보정하도록 상기 커플링 기판의 위치를 제어하는, 테라헤르츠파 기반 검출기
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제7 항에 있어서,상기 진동부에 의한 상기 가이드 와이어 진동 주파수와 상기 커플링 기판의 보정 주파수는 서로 연계되는, 테라헤르츠파 기반 검출기
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제1 항에 있어서,상기 가이드 와이어는 전도성을 가지며,상기 가이드 와이어 팁의 폭은 수nm 내지 수um인, 테라헤르츠파 기반 검출기
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제1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파가 조사되는 영역은, 상기 진동에 의하여 상기 가이드 와이어의 팁 크기보다 커지는, 테라헤르츠파 기반 검출기
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측정 대상체를 준비하는 준비 단계;테라헤르츠파의 경로를 제공하는 가이드 와이어를 측정 대상체의 일 측에 위치시키는 위치 단계; 및상기 가이드 와이어를 통하여 테라헤르츠파를 측정 대상체에 조사하는 조사 단계;를 포함하되,상기 조사 단계는, 상기 가이드 와이어의 일 측에 배치되는 제1 진동부 및 상기 제1 진동부로부터 소정 거리 이격하여 배치되는 제2 진동부를 포함하는 진동부를 동작시켜 상기 가이드 와이어를 상기 가이드 와이어의 폭 방향으로 진동시키는 단계를 더 포함하는, 테라헤르츠파 기반 검출기의 동작 방법
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제11 항에 있어서,상기 조사 단계의 진동에 의하여,테라헤르츠파는 상기 가이드 와이어의 팁(tip)이 제공하는 테라헤르츠파 빔 스팟(beam spot) 보다 큰 면적에 조사되는, 테라헤르츠파 기반 검출기의 동작 방법
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제11 항에 있어서,상기 조사 단계의 진동에 따른 상기 가이드 와이어의 팁과 측정 대상체의 거리 변화를 보정하는 보정 단계를 더 포함하는 테라헤르츠파 기반 검출기의 동작 방법
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제13 항에 있어서,상기 보정 단계는,상기 조사 단계의 진동에 따라 상기 가이드 와이어의 팁과 측정 대상체의 거리가 멀어지는 경우, 상기 가이드 와이어를 상기 측정 대상체 방향으로 이동시키고,상기 조사 단계의 진동에 따라 상기 가이드 와이어의 팁과 측정 대상체의 거리가 가까워지는 경우, 상기 가이드 와이어를 상기 측정 대상체와 멀어지는 방향으로 이동시키는, 테라헤르츠파 기반 검출기의 동작 방법
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