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제1 회전롤을 구비하고 다수 개의 낱개 기판들을 로딩하기 위한 기판 로딩 챔버;제2 회전롤을 구비하는 롤 챔버;상기 기판 로딩 챔버와 상기 롤 챔버 사이에 배치되고 증착 영역을 구비하는 반응 챔버;일측이 상기 제1 회전롤에 감긴 상태에서 상기 반응 챔버 내에서 연장되고 타측이 상기 제2 회전롤에 감긴 상태에 있는 컨베이어 벨트;상기 기판 로딩 챔버 내에 상기 기판을 하나씩 상기 컨베이어 벨트 상에 공급하는 로딩수단;상기 기판 로딩 챔버에 연결된 가스 공급 라인과 상기 롤 챔버에 연결된 가스 방출 라인; 및 상기 증착 영역과 상기 롤 챔버 사이의 상기 반응 챔버 내에 배치된 흡착제를 포함하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 다수 개의 낱개 기판들은,층층이 적층된 다수의 지지판들을 구비하는 기판 로딩 홀더의 서로 인접하는 지지판들 사이의 공간들에 각각 배치되는 그래핀 제조장치
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제2항에 있어서,상기 로딩수단은 로딩롤이고,상기 기판 로딩 홀더 내 각 지지판은 그에 의해 지지된 기판이 상기 로딩롤에 접하도록 개구부를 구비하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 롤 챔버는 상기 반응 챔버 내에서 박막이 성장된 다수의 기판들을 언로딩 하기 위한 기판 언로딩 챔버이고,상기 기판 언로딩 챔버 내에, 상기 컨베이어 벨트로부터 상기 기판들을 하나씩 기판 언로딩 홀더로 전달하는 언로딩수단을 더 포함하는 그래핀 제조장치
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제4항에 있어서,상기 기판 언로딩 홀더는, 층층이 적층된 다수의 지지판들을 구비하여 서로 인접하는 지지판들 사이의 공간들 중 어느 하나에 상기 기판을 수용하는 그래핀 제조장치
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제5항에 있어서,상기 언로딩수단은 언로딩롤이고,상기 기판 언로딩 홀더 내 각 지지판은 상기 언로딩롤을 수용하는 개구부를 구비하여, 상기 언로딩롤은 상기 지지판의 상부로 상기 기판이 수용되도록 동작하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 기판 로딩 챔버 내에 상기 제1 회전롤에 인접하여 배치되고 상기 반응 챔버 내에서 상기 컨베이어 벨트를 수평 상태로 유지하는 제1 가이드롤; 및상기 롤 챔버 내에 상기 제2 회전롤에 인접하여 배치되고 상기 반응 챔버 내에서 상기 컨베이어 벨트를 수평 상태로 유지하는 제2 가이드롤을 더 포함하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 반응 챔버 외부에 상기 증착 영역을 둘러싸는 방열장치를 더 포함하는 그래핀 제조장치
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삭제
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제1항에 있어서,상기 기판 로딩 챔버는 상기 기판이 로딩되는 기판 로딩 공간과 상기 기판이 반응을 대기하는 대기 공간을 구분하는 차단판을 더 포함하는 그래핀 제조장치
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제1항에 있어서,상기 롤 챔버는 상기 반응 챔버 내에서 박막이 성장된 다수의 기판들을 언로딩 하기 위한 기판 언로딩 챔버이고,상기 기판 언로딩 챔버는 상기 기판이 언로딩되는 기판 언로딩 공간과 상기 기판 상에 박막이 증착된 후 언로딩을 대기하는 대기 공간을 구분하는 차단판을 더 포함하는 그래핀 제조장치
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13
제1항에 있어서,상기 기판 로딩 챔버와 상기 롤 챔버 사이에 상기 반응 챔버와 별도로 배치된 냉각 챔버를 더 포함하고,상기 컨베이어 벨트는 상기 냉각 챔버 내로 연장되어 상기 기판 로딩 챔버, 상기 반응 챔버, 상기 롤 챔버, 및 상기 냉각 챔버 내에서 폐쇄 루프를 형성하는 그래핀 제조장치
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제13항에 있어서,상기 냉각 챔버는 상기 반응 챔버 하부에 배치된 그래핀 제조장치
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제13항에 있어서,상기 냉각 챔버는 냉각 영역을 구비하고,상기 냉각 영역과 상기 롤 챔버 사이, 그리고 상기 냉각 영역과 상기 기판 로딩 챔버 사이의 상기 냉각 챔버 내에 배치되고, 상기 컨베이어 벨트를 수용하는 관통홀들을 구비하는 격벽들을 포함하는 그래핀 제조장치
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제1 회전롤을 구비하고 다수 개의 낱개 기판들을 로딩하기 위한 기판 로딩 챔버, 제2 회전롤을 구비하는 롤 챔버, 상기 기판 로딩 챔버와 상기 롤 챔버 사이에 배치되고 증착 영역을 구비하는 반응 챔버, 일측이 상기 제1 회전롤에 감긴 상태에서 상기 반응 챔버 내에서 연장되고 타측이 상기 제2 회전롤에 감긴 상태에 있는 컨베이어 벨트, 상기 기판 로딩 챔버 내에 상기 기판을 하나씩 상기 컨베이어 벨트 상에 공급하는 로딩수단, 상기 기판 로딩 챔버에 연결된 제1 가스라인과 상기 롤 챔버에 연결된 제2 가스 라인, 및 상기 증착 영역과 상기 롤 챔버 사이의 상기 반응 챔버 내에 배치된 흡착제을 포함하는 그래핀 제조장치를 제공하는 단계;상기 제1 가스 라인을 통해 불활성 가스를 공급하여 상기 기판 로딩 챔버, 상기 반응 챔버, 및 상기 롤 챔버를 불활성 가스 분위기로 만드는 단계;상기 불활성 가스 분위기에서 상기 기판 로딩 챔버 내에서 컨베이어 벨트 상에 낱개의 기판을 공급하는 단계;상기 컨베이어 벨트 상에 공급된 낱개의 기판이 상기 증착 영역 전의 상기 반응 챔버 내부를 이동할 때, 상기 반응 챔버 내부는 상기 불활성 가스 분위기로 유지되는 단계;상기 컨베이어 벨트 상의 상기 기판이 상기 증착 영역 내부에 위치할 때, 상기 제1 가스 라인을 통해 반응가스를 공급하여 상기 반응 챔버 내부를 반응 가스 분위기로 만든 후 상기 기판 상에 그래핀을 성장시키는 단계;상기 제1 가스 라인을 통해 불활성 가스를 공급하여 잔류 반응가스와 반응후 생성가스를 상기 제2 가스 라인을 통해 퍼지하여, 상기 기판 로딩 챔버, 상기 반응 챔버, 및 상기 롤 챔버를 불활성 가스 분위기로 만드는 단계; 및상기 그래핀 성장된 기판이 상기 증착 영역 후의 상기 반응 챔버 내부를 이동할 때, 상기 반응 챔버 내부는 상기 불활성 가스 분위기로 유지되는 단계를 포함하는 그래핀 제조방법
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제16항에 있어서,상기 그래핀을 상기 반응 가스 분위기에서 성장시키는 단계는,상기 반응 챔버 내부를 환원 가스 분위기로 유지하면서 상기 기판을 열처리하는 단계; 및상기 반응 챔버 내부를 탄소 가스 분위기로 유지하면서 상기 열처리된 기판 상에 그래핀을 성장시키는 단계를 포함하는 그래핀 제조방법
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제16항에 있어서,상기 기판을 상기 컨베이어 벨트 상으로 공급하기 전에,상기 기판 로딩 챔버 내에 층층이 적층된 다수의 지지판들을 구비하여 서로 인접하는 지지판들 사이의 공간들에 상기 기판들 각각을 수용하는 기판 로딩 홀더를 로딩하는 단계를 더 포함하고,상기 기판 로딩 홀더의 최하단부에 위치하는 기판을 상기 컨베이어 벨트 상으로 공급하는 그래핀 제조방법
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제16항에 있어서,상기 롤 챔버는 기판 언로딩 챔버이고,상기 기판을 상기 컨베이어 벨트 상으로 공급하기 전에, 상기 기판 언로딩 챔버 내에 층층이 적층된 다수의 지지판들을 구비하는 기판 언로딩 홀더를 배치하는 단계를 더 포함하고,상기 증착 영역 후의 상기 반응 챔버 내부를 이동하여 상기 기판 언로딩 챔버 내로 공급된 상기 그래핀이 성장된 기판은 상기 기판 언로딩 홀더 내의 지지판들 사이의 비어 있는 공간들 중 최상단부 공간에 공급되는 단계를 더 포함하는 그래핀 제조방법
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제16항에 있어서,상기 그래핀 제조장치는 기판 로딩 챔버와 상기 롤 챔버 사이에 상기 반응 챔버와는 별도로 배치된 냉각 챔버를 더 포함하고, 상기 컨베이어 벨트는 상기 냉각 챔버 내에서 냉각되는 그래핀 제조방법
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