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챔버에 형성된 뷰 포트와 마주하게 배치되며, 상기 뷰 포트를 통해 방출되는 플라즈마 광을 선택적으로 차단하는 복수의 선택적 차광부가 마련된 선택영역 광 투과부; 및상기 복수의 선택적 차광부 중 적어도 하나를 투과한 플라즈마 광을 수신하여 상기 플라즈마 광의 정보를 획득하며, 상기 플라즈마 광의 정보를 통해 상기 챔버 내에 형성된 플라즈마의 균일도를 모니터링하는 모니터링부;를 포함하며, 상기 복수의 선택적 차광부는 상기 뷰 포트를 영역별로 나누어 번갈아 가며 상기 플라즈마 광을 차단 또는 투과시키는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서,상기 광 투과부는 수평 방향 또는 수직 방향으로 나란하게 배치되는 복수개의 선택적 차광부를 포함하는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제2항에 있어서,상기 선택적 차광부는 직사각형 형상으로 형성되는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 플라즈마 광의 정보는 상기 선택적 차광부를 투과한 플라즈마 광의 강도(intensity) 또는 광량을 포함하는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 선택영역 광 투과부는,적어도 1개 이상의 영역으로 구획되어 개별적으로 전원을 공급받는 적어도 하나 이상의 단위 LCD 패널을 구비하며, 전원이 공급된 영역에만 상기 플라즈마 광이 투과하도록 하는 투명 LCD 패널과, 상기 투명 LCD 패널에 연결되며, 상기 단위 LCD 패널의 각 영역에 선택적으로 전원을 공급하는 스위칭부를 포함하는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 선택영역 광 투과부는,상기 뷰 포트와 마주하게 배치되며, 개구가 형성된 프레임과,상기 프레임 내에 일렬로 배치되어 상기 개구의 일정 영역을 선택적으로 차폐하는 복수의 셔터부재를 포함하는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 선택영역 광 투과부는,서로 중첩되도록 배치되는 적어도 2개 이상의 편광필터를 구비하고, 상기 플라즈마 광이 선택적으로 투과하도록 형성된 복수의 편광필터 세트와,상기 편광필터 세트에 구비되는 편광필터 가운데 적어도 하나의 배치각도를 제어하여 상기 편광필터 세트로 입사되는 플라즈마 광을 선택적으로 차단하는 제어부를 포함하는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 선택영역 광 투과부는 상기 뷰 포트의 일면에 일체로 형성된 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제2항에 있어서, 상기 선택적 차광부는 상기 플라즈마 광을 일방향을 따라 순차적으로 투과시키는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 모니터링부는 광 섬유(Optical Fiber) 또는 측정 센서를 구비하여 상기 플라즈마 광의 강도 또는 광량을 모니터링하는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 모니터링부는 광 방출 분석기(OES: Optical Emission Spectroscope) 또는 카메라를 구비하는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 모니터링부는 상기 각각의 선택적 차광부를 투과한 플라즈마 광의 정보를 수신 및 상호 비교하여, 상기 챔버 내부에 형성된 플라즈마의 균일도를 판단하는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 모니터링부는 상기 선택적 차광부를 투과한 플라즈마 광의 아크방전 상태를 촬영하기 위한 촬영 모듈을 더 포함하는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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제1항에 있어서, 상기 선택영역 광 투과부와 상기 모니터링부 사이에는 상기 챔버 내부로부터 방출되는 상기 플라즈마 광의 입사각 범위를 확장 및 집속하여 상기 모니터링부로 제공하는 집광부가 더 설치되는 플라즈마 공정 모니터링 장치
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플라즈마를 이용한 공정이 진행되는 챔버; 상기 챔버에 설치되며, 상기 챔버 내에서 방출되는 플라즈마 광을 외부로 전달하는 뷰 포트; 상기 뷰 포트와 마주하게 배치되며, 상기 뷰 포트를 통해 방출되는 플라즈마 광을 선택적으로 차단하는 복수의 선택적 차광부가 마련된 선택영역 광 투과부; 및상기 복수의 선택적 차광부 중 적어도 하나를 투과한 플라즈마 광을 수신하여 상기 플라즈마 광의 정보를 획득하며, 상기 플라즈마 광의 정보를 통해 상기 챔버 내에 형성된 플라즈마의 균일도를 모니터링하는 모니터링부;를 포함하며, 상기 복수의 선택적 차광부는 상기 뷰 포트를 영역별로 나누어 번갈아 가며 상기 플라즈마 광을 차단 또는 투과시키는 플라즈마 처리장치
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제15항에 있어서,상기 광 투과부는 수평 방향 또는 수직 방향으로 나란하게 배치되는 직사각형 형상의 복수개의 선택적 차광부를 포함하는 플라즈마 처리장치
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17
제15항에 있어서, 상기 플라즈마 광의 정보는 상기 선택적 차광부를 투과한 플라즈마 광의 강도(intensity) 또는 광량을 포함하는 플라즈마 처리장치
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18
제15항에 있어서, 상기 선택영역 광 투과부는,적어도 1개 이상의 영역으로 구획되어 개별적으로 전원을 공급받는 적어도 하나 이상의 단위 LCD 패널을 구비하며, 전원이 공급된 영역에만 상기 플라즈마 광이 투과하도록 하는 투명 LCD 패널과, 상기 투명 LCD 패널에 연결되며, 상기 단위 LCD 패널의 각 영역에 선택적으로 전원을 공급하는 스위칭부를 포함하는 플라즈마 처리장치
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제15항에 있어서, 상기 선택영역 광 투과부는,상기 뷰 포트와 마주하게 배치되며, 개구가 형성된 프레임과,상기 프레임 내에 일렬로 배치되어 상기 개구의 일정 영역을 선택적으로 차폐하는 복수의 셔터부재를 포함하는 플라즈마 처리장치
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제15항에 있어서, 상기 선택영역 광 투과부는,서로 중첩되도록 배치되는 적어도 2개 이상의 편광필터를 구비하고, 상기 플라즈마 광이 선택적으로 투과하도록 형성된 복수의 편광필터 세트와,상기 편광필터 세트에 구비되는 편광필터 가운데 적어도 하나의 배치각도를 제어하여 상기 편광필터 세트로 입사되는 플라즈마 광을 선택적으로 차단하는 제어부를 포함하는 플라즈마 처리장치
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