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펄스 레이저 조사를 이용한 구리 나노 와이어 투명 전도성 전극의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019020560
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본발명은 펄스 레이저 조사를 이용한 구리 나노 와이어 투명 전도성 전극의 제조방법에 관한 것으로, Cu NW를 PVP 기반 잉크에 분산시키는 단계; Meyer로드로 기판에 코팅하는 단계; 상기 코팅 된 Cu NW 필름을 펄스 레이저로 조사하여 나노 와이어 접합부를 용접하고 필름 형성기를 부분적으로 제거하는 단계; 를 포함하는 것으로, 본발명은 레이저 조사 과정에 의해 교차점에서 나노 와이어를 통해 배선이 연결되었기 때문에 전극의 전도도가 현저히 향상되었고, 나노 와이어는 모든 나노 와이어를 연결하여 견고한 네트워크를 형성하므로 나노 와이어 네트워크의 기계적 내구성이 크게 향상되어 Cu NW가 아세트산으로 세척되는 것을 막을 수 있으며, 또한, 레이저 조사의 열 효과는 산 처리에 의해 필름 형성 제의 제거 속도를 높이는 와이어를 덮는 필름 형성 제를 태울 수 있는 현저한 효과가 있다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01)
CPC H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01)
출원번호/일자 1020180042626 (2018.04.12)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0119322 (2019.10.22) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.04.12)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현철 부산광역시 연제구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김석계 대한민국 경상남도 김해시 분성로 *** (봉황동, ***-*번지 *층) (김석계특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0364548-69
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.05.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0343818-36
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.07.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0719361-90
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0719368-19
5 등록결정서
Decision to grant
2019.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0841986-35
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
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번호 청구항
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Cu NW를 PVP 기반 잉크에 분산시키는 단계; 메이어(Meyer)로드로 기판에 코팅하는 단계; 상기 코팅 된 Cu NW 필름을 펄스 레이저로 조사하여 나노 와이어 접합부를 용접하고 필름 형성기를 부분적으로 제거하는 단계; 를 포함하는 펄스 레이저 조사를 이용한 구리 나노 와이어 투명 전도성 전극의 제조방법에 있어서,상기 나노 와이어 접합부를 용접하고 필름 형성기를 부분적으로 제거한 단계; 를 거친 후 아세트산에 일정시간 동안 담구는 것이며,상기 Cu NW의 합성에는 에틸렌 디아민(EDA) 매개 된 방법을 사용하며, 합성 과정에서 CuO와 Cu2O가 형성되지 않는 것이며,상기 기판은 유리 기판인 것이며,상기 유리 기판에 코팅 한 후 Cu NW는 잔류 합성 화학 물질 및 PVP 기반 잉크로 덮여 비 전도성 필름을 만들고, 산성 처리가 직접 사용되는 경우 Cu NW는 산성 용액에서 제거 될 때 즉시 씻겨 나가는 것을 방지하기 위해, 코팅 된 Cu NW 필름을 핫 플레이트에 놓고 아세트산에 신속히 담그는 것이며,상기 펄스 레이저에 의한 조사 후에, Cu NW 전극은 네트워크 변형없이 오랫동안 빙초산에 침적 될 수 있으며, 레이저 조사는 PVP 기반 잉크에 묻혀있는 Cu NW에도 나노 와이어 접촉을 향상시키는 것이며, 와이어 접점은 금속 나노 와이어 접합부에서 로컬 나노 와이어로 설정되는 것이며,상기 Cu NW가 하향 이동하고 오븐에서 1시간 동안 가열 한 후 PVP 층의 바닥에 침전되되, 펄스 레이저에 의한 조사 후에, Cu NW 전극은 네트워크 변형없이 오랫동안 빙초산에 침적 되는 것이며, 펄스 레이저에 의한 조사는 PVP 기반 잉크에 묻혀있는 Cu NW에도 나노 와이어 접촉을 향상시키는 것이며,상기 펄스 레이저 빔 아래에서 copper24의 광 흡수 특성으로 인해 나노 와이어만 가열되고, 나노 초 단위의 빠른 펄스 레이저 가열 동안 Cu NW는 전자기 에너지를 흡수하고 나노 와이어 온도는 빠르게 증가하고 와이어에서 주변 잉크로의 열 확산이 뒤 따르며, 결과적으로 Cu NW 주위의 PVP 기반 잉크가 녹았고 화상을 입었고 색상이 매우 어두워지는 것이며, 레이저 파워가 증가되면, 조사 된 영역은 레이저 빔의 가우스 분포가 길어 져서 확대되고, 레이저 소스의 파워가 12μJ 이상으로 상승하면 레이저 빔의 중심에 있는 Cu NW가 기화되는 것이며,연소된 필름 형성 제는 조사공정 후에 전극 투과율을 10-15% 감소시키며, 가장 높은 전도도를 달성하기 위해, 레이저 출력은 12μJ를 사용하는 것이며,상기 전극의 시트 저항은 빙초산에 담그면 감소하며, 침지시간은 60초인 것이며,상기 펄스 레이저에 의한 조사 공정의 지원으로 PVP 기반의 잉크는 완전히 제거되고 산 처리 후 기판 표면에 CuNW 만 남아있게 되어, 나노 와이어는 공기 중의 산소에 직접 접촉함으로써 산화되는 것이며,상기 전극에서 터치 센서를 만들되, 2개의 Cu NW 투명 전극을 제작하고, 도체는 조사 과정에서 최적화 된 레이저 매개 변수를 유지하고 초점 위치를 디 포커스에서 온 포커스로 변경하여 다이아몬드 모양으로 패턴 화한 후, 전극을 125 ㎛ 폴리에틸렌 테레 프탈레이트 필름을 유전체 필름으로 하여 끼우고 플래시 마이크로 컨트롤러에 연결 하여, 센서는 패턴 화 된 도체의 표면에 접근하는 손가락을 검출 하는 것이며,상기 나노 와이어의 합성은 반응 플라스크에 KOH (40mL, 15 M), CuCl2 (2mL, 0
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