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유연성을 갖는 PET 기판을 구비하는 단계; 및 상온에서 별도의 열처리 없이 AD 장비가 사용되며, 에어로졸 증착 공정에 의해 상기 유연성을 PET 기판 위에 ZnO 막(ZnO film)을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 유연성을 PET 기판 위에 ZnO 막이 형성된 투명 전극을 제조하는, 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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제1항에 있어서, 상기 AD 장비는 ZnO 나노 분말을 넣고, 캐리어 가스를 주입하며, 진동기로 진동시켜 혼합하여 에어로졸이 형성되는 에어로졸 챔버; 상기 에어로졸 챔버와 연결되며, 에어로졸 상태의 분말을 노즐을 통해 분사시켜 성막이 이루어지는 데포지션 챔버; 및 상기 데포지션 챔버와 연결되며 수∼수십 Torr의 진공상태를 유지시켜 주는 진공펌프;를 포함하는, 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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제1항에 있어서, 상기 ZnO 막은 유연성을 갖는 PET 기판 위에 형성된 400 nm의 두께를 가지는 ZnO 막 인 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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유연성을 갖는 PET 기판을 구비하는 단계; 및 상온에서 별도의 열처리 없이 AD 장비가 사용되며, 에어로졸 증착 공정에 의해 상기 유연성을 PET 기판 위에 AZO(Al-doped ZnO) 막을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 유연성을 PET 기판 위에 AZO 막이 형성된 투명 전극이 제조되며,상기 AZO 막은 산화 아연(ZnO) 기반 투명전도성 재료에 Al의 Ⅲ족 원소를 불순물로 첨가시켜 전도성을 향상시키는, 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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제4항에 있어서, 상기 AD 장비는 AZO 나노 분말을 넣고, 캐리어 가스를 주입하며, 진동기로 진동시켜 혼합하여 에어로졸이 형성되는 에어로졸 챔버; 상기 에어로졸 챔버와 연결되며, 에어로졸 상태의 분말을 노즐을 통해 분사시켜 성막이 이루어지는 데포지션 챔버; 및 상기 데포지션 챔버와 연결되며 수∼수십 Torr의 진공상태를 유지시켜 주는 진공펌프;를 포함하는 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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제4항에 있어서, 상기 AZO 막은 상기 유연성을 갖는 PET 기판 위에 형성된 400 nm의 두께를 가지는 AZO 막 인 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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유연성을 갖는 PET 기판을 구비하는 단계; 및 상온에서 별도의 열처리 없이 AD 장비가 사용되며, 에어로졸 증착 공정에 의해 상기 유연성을 PET 기판 위에 ITO(indium tin oxide) 막을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 유연성을 PET 기판 위에 ITO 막이 형성된 투명 전극을 제조하는, 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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제7항에 있어서, 상기 AD 장비는 ITO 나노 분말을 넣고, 캐리어 가스를 주입하며, 진동기로 진동시켜 혼합하여 에어로졸이 형성되는 에어로졸 챔버; 상기 에어로졸 챔버와 연결되며, 에어로졸 상태의 분말을 노즐을 통해 분사시켜 성막이 이루어지는 데포지션 챔버; 및 상기 데포지션 챔버와 연결되며 수∼수십 Torr의 진공상태를 유지시켜 주는 진공펌프;를 포함하는 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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제7항에 있어서, 상기 ITO 막은 상기 유연성을 갖는 PET 기판 위에 형성된 400 nm의 두께를 가지는 ITO 막 인 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 ZnO 막은 상대적으로 적은 캐리어 가스 유량(3 ~ 5 l/min)에서도 400 nm의 두께를 가지는 투명하고 균일한 막이 형성되었으며, 반면에 AZO 및 ITO 막은 캐리어 가스 유량이 3 l/min일 때 압분체 형태의 막이 형성되어 표면의 균일도가 좋지 않아 RMS 표면 거칠기가 크며, 반면에, 캐리어 가스를 10 l/min로 증가시켰을 때, AZO 및 ITO 필름은 약 400 nm 위 두께를 가지는 투명하고 균일한 막이 형성되었으며, 치밀하고 균일한 막을 AD공정으로 제조할 때 캐리어 가스 유량과 분말 입자 크기는 중요한 변수로 알려져 있으며, 즉, ITO 분말 및 AZO 분말의 평균입경이 ZnO 분말 보다 상대적으로 작아 치밀한 막을 얻기 위해 캐리어 가스 유량 증가로 더욱 가속된 입자에 의한 유연성을 갖는 PET 기판과의 높은 충돌 에너지를 필요로 하는, 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 ZnO 막은 캐리어 가스 유량이 5 l/min일 때 550 nm 파장에서 67
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제1항, 제4항 및 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 AZO 및 ITO 막의 비저항은 캐리어 가스 유량이 증가함에 따라 감소하며, 막(film)의 치밀도가 증가하며, 캐리어 가스가 10 l/min일 때 AZO 및 ITO 막의 비저항은 각각 95 × 102, 63 × 10-1 Ω·cm 인 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착 공정으로 제조된 ZnO, AZO, ITO 박막의 특성과 유연 내구성 향상 방법
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