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아크 용융법(arc-melting)을 통하여 초내열합금의 금속간화합물 잉곳을 제조하는 합금 잉곳 제조 단계;상기 금속간화합물 잉곳을 분쇄하여 코어(core) 금속간화합물 분말을 제조하는 분쇄 단계;코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버에 불활성 기체와 함께 흘려주면서 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하는 RF 플라즈마 처리를 통해 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조하는 1차 RF 플라즈마 단계;상기 1차 RF 플라즈마 단계에서 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 산화몰리브덴(MoO3) 쉘을 형성하는 코팅 단계;상기 코팅 단계를 통해 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어금속간화합물 분말에서 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시켜 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노입자를 형성하는 환원 단계; 및상기 환원 단계를 거친 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 몰리브덴(Mo) 쉘로 둘러싸인 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 2차 RF 플라즈마 단계;를 포함하며,상기 합금 잉곳 제조 단계는,몰리브덴(Mo), 규소(Si) 및 붕소(B)를 불활성 기체 분위기하에서 가열하여 상기 초내열합금의 금속간화합물로 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상을 형성하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 초내열합금의 금속간화합물은상기 Mo5SiB2상 및 상기 Mo3Si상이 단독 또는 둘이상 혼합된 상인 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법
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제2항에 있어서,상기 합금 잉곳 제조 단계는,1400℃ 내지 1800℃ 온도로 가열하여 초내열합금 금속간화합물을 형성하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분쇄 단계는,상기 금속간화합물 잉곳을 불활성화 기체 분위기하에서 분쇄기로 분쇄하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분쇄 단계에서 분쇄된 코어 금속간화합물 분말의 입도는 1 내지 100㎛인 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 환원 단계는,산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어금속간화합물 분말을 수소 분위기하에서 300℃ 내지 1200℃ 온도로 가열하여 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시키는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 2차 RF 플라즈마 단계는,상기 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버 내에 넣고 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분쇄 단계 이후 상기 1차 RF 플라즈마 단계 이전에, 분쇄된 코어(core) 초내열합금 금속간화합물 분말을 분급하는 분급 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법
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제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제5항, 제7항, 제8항, 및 제9항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조되는 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말로 코어(core)에는 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상인 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말
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