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미끄럼 절연막을 포함하는 기판 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019021036
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속원자의 표면이동을 활성화시키는 저(低)표면에너지 미끄럼 절연막을 사용하여 형성된 기판 및 이의 제조방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게 본 발명은 기판; 상기 기판 상에 형성된 저(低)표면에너지를 갖는 미끄럼 절연막; 및 상기 미끄럼 절연막 상에 형성된 나노입자;를 포함하되, 상기 미끄럼 절연막의 표면에너지에 비해 상기 나노입자의 표면에너지가 1000 mJ/m2 이상 높은, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판에 관한 것이다. 상기 본 발명에 의하면, 고밀도로 형성된 이격 나노입자 간, 및 하부 기판과 상부 나노입자 간의 플라즈모닉 커플링 현상을 극대화 하여, 가시광 전 영역에서 낮은 광손실 특성을 가지면서 매우 높은 SERS 증강지수를 갖는 기판을 제공할 수 있다.
Int. CL G01J 3/02 (2006.01.01) G01J 3/44 (2006.01.01) G01N 21/65 (2006.01.01)
CPC G01J 3/02(2013.01) G01J 3/02(2013.01) G01J 3/02(2013.01)
출원번호/일자 1020180048785 (2018.04.26)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0124606 (2019.11.05) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.04.26)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성규 경상남도 창원시 성산구
2 김동호 경상남도 창원시 의창구
3 정호상 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인이지 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ***(가산동, KCC웰츠밸리) ***-***

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.04.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-0418392-33
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.09.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.11.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2018-0137786-75
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0210311-15
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2019.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2019-0473784-96
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2019-0473827-61
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.06.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0594256-50
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2019-0594247-49
9 등록결정서
Decision to grant
2019.10.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0784241-79
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 형성된, 저(低)표면에너지를 갖는 미끄럼 절연막; 및상기 미끄럼 절연막 상에 형성된 나노입자;를 포함하되,상기 미끄럼 절연막의 표면에너지에 비해 상기 나노입자의 표면에너지가 1000 mJ/m2 이상 높은, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
2 2
제1항에 있어서,상기 미끄럼 절연막의 표면에너지는 100 mJ/m2 이하인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
3 3
제1항에 있어서,상기 미끄럼 절연막은 탄화수소 티올(alkanethiol), 이황화 탄화수소(alkyldisulfide), 탄화불소 티올(fluorocarbon thiol), 탄화불소 실란(fluorocarbon silane), 탄화염소 실란(chlorocarbon silane), 탄화불소 카복실 산(fluorocarbon carboxylic acid), 탄화불소 아민(fluorocarbon amine), 탄화불소계 고분자(fluorocarbon polymer) 및 이들의 유도체 중 1종 이상으로 형성된, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
4 4
제1항에 있어서,상기 미끄럼 절연막이 형성된 기판의 수접촉각이 90° 이상인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
5 5
제1항에 있어서,상기 미끄럼 절연막의 두께는 0
6 6
제1항에 있어서,상기 미끄럼 절연막은 기상증착 또는 용액공정으로 형성된 것인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
7 7
제1항에 있어서,상기 기판은 고분자, 유리, 세라믹, 금속, 종이, 수지, 실리콘, 또는 금속 산화물로 형성된 것인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
8 8
제1항에 있어서,상기 기판은 표면에 서로 이격되어 형성된 나노구조체를 더 포함하는, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
9 9
제8항에 있어서,상기 나노구조체는 플라즈마 식각(plasma etching), 소프트 리소그라피(soft lithography), 나노임프린트 리소그라피(nanoimprint lithography), 포토 리소그라피(photo lithography), 또는 홀로그래픽 리소그라피(holographic lithography)로 형성된 것인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
10 10
제8항 또는 제9항에 있어서,상기 기판 및 상기 나노구조체 중 1 이상의 표면 상에 형성되는 제1금속 함유 박막을 더 포함하는, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
11 11
제10항에 있어서,상기 제1금속 함유 박막은 라만활성물질을 진공증착시켜 형성된 것인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
12 12
제11항에 있어서, 상기 라만활성물질은 Au, Ag, 또는 이의 합금인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
13 13
제11항에 있어서, 상기 제1금속 함유 박막은 라만활성물질을 10 nm 이상으로 진공증착시켜 형성된 것인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
14 14
제10항에 있어서,상기 기판과 상기 제1금속 함유 박막 사이에 제2금속 함유 박막을 더 포함하고, 상기 제2금속 함유 박막은 제1금속 함유 박막보다 낮은 표면에너지를 갖는, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
15 15
제14항에 있어서,상기 제2금속 함유 박막은 Ag, Cu, Pt, Pd, Ti, 및 이의 합금 중 1종으로 형성된 것인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
16 16
제1항에 있어서,상기 나노입자는 금속 함유 나노입자인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
17 17
제1항에 있어서,상기 나노입자는 라만활성물질을 진공증착시켜 형성되는 것인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
18 18
제17항에 있어서,상기 라만활성물질은 Au, Ag 또는 이의 합금인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
19 19
제1항에 있어서,상기 나노입자는 평균입도가 40 nm 이상인, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판
20 20
제1항 기재의 미끄럼 절연막을 포함하는 기판을 제조하는 방법에 있어서,기판을 형성하는 단계;상기 기판 상에 저(低)표면에너지를 갖는 미끄럼 절연막을 형성하는 단계; 및상기 미끄럼 절연막 상에 나노입자를 형성하는 단계;를 포함하되,상기 미끄럼 절연막의 표면에너지에 비해 상기 나노입자의 표면에너지가 1000 mJ/m2 이상 높게 형성되는, 미끄럼 절연막을 포함하는 기판의 제조방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 농림축산식품부 한국기계연구원 부설 재료연구소 첨단생산기술개발사업 나노바이오 기술을 활용한 농산물 유해물질 초고감도 판별기술 개발(3/4)
2 과학기술정보통신부 한국기계연구원 부설 재료연구소 주요사업 분자감지용 초고감도 라만증강소재 기술개발(5/5)