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그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019021045
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지의 제조 방법은, 복수의 홀이 형성된 그라파이트 기판을 준비하는 단계와, 상기 그라파이트 기판 상에 제1 도전성 타입의 그래핀층을 형성하는 단계와, 상기 그래핀층 상에 제2 도전성 타입의 불순물을 포함하는 실리콘층을 형성하고, 상기 실리콘층을 결정화시켜 반도체층을 형성하는 단계와, 상기 반도체층의 전면에 패시베이션층을 형성하는 단계와, 상기 패시베이션층 상에 반사 방지막을 형성하는 단계와, 상기 반사 방지막 상에 제1 전극을 형성하는 단계와, 상기 그라파이트 기판 하부에 제2 전극을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 31/032 (2006.01.01) H01L 31/036 (2006.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01) H01L 31/0216 (2014.01.01) C01B 32/205 (2017.01.01)
CPC H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01) H01L 31/1804(2013.01)
출원번호/일자 1020180049955 (2018.04.30)
출원인 충남대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2118903-0000 (2020.05.29)
공개번호/일자 10-2019-0125754 (2019.11.07) 문서열기
공고번호/일자 (20200608) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.04.30)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장효식 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김호종 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **-*, *층 (역삼동, 신도빌딩)(태산특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-0428074-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2019-0031222-68
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0590546-49
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-1057116-05
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.11.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-1184184-34
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-1295026-10
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.01.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0053720-69
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2020.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2020-0053718-77
10 등록결정서
Decision to grant
2020.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0353360-20
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번호 청구항
1 1
복수의 홀이 형성된 그라파이트 기판을 준비하는 단계;상기 그라파이트 기판 상에 제1 도전성 타입의 그래핀층을 형성하는 단계;상기 그래핀층 상에 제2 도전성 타입의 불순물을 포함하는 실리콘층을 형성하고, 상기 실리콘층을 결정화시켜 반도체층을 형성하는 단계;상기 반도체층의 전면에 패시베이션층을 형성하는 단계;상기 패시베이션층 상에 반사 방지막을 형성하는 단계;상기 반사 방지막 상에 제1 전극을 형성하는 단계; 및상기 그라파이트 기판 하부에 제2 전극을 형성하는 단계;를 포함하며,상기 복수의 홀은 상기 그라파이트 기판을 관통하여 형성되며,상기 그래핀층을 형성하는 단계에서,상기 그라파이트 기판 상에 그래핀 페이스트를 1~100nm의 두께로 도포한 후, 소성시키는 공정을 반복적으로 수행하여 복수의 층으로 구성된 상기 그래핀층을 형성하며,상기 그래핀층은 상기 그라파이트 기판의 상부 및 상기 복수의 홀 내에 배치되는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지의 제조 방법
2 2
삭제
3 3
제1 항에 있어서,상기 그래핀층을 형성하는 단계에서,상기 제1 도전성 타입은 N형 도전성 타입이며,상기 그래핀층은 인(P), 비소(As), 안티몬(Sb) 중 적어도 하나의 불순물을 포함하는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지의 제조 방법
4 4
제1 항에 있어서,상기 반도체층을 형성하는 단계에서,상기 제2 도전성 타입은 P형 도전성 타입이며,상기 반도체층은 붕소(B), 갈륨(Ga), 인듐(In) 중 적어도 하나의 불순물을 포함하는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지의 제조 방법
5 5
제1 항에 있어서,상기 반도체층을 형성하는 단계에서,상기 반도체층에 습식 에칭을 수행하여, 상기 반도체층에 텍스쳐링 구조 또는 요철 구조를 형성하는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지의 제조 방법
6 6
제1 항에 있어서,상기 패시베이션층을 형성하는 단계에서,상기 반도체층의 전면에 산화 알루미늄(Al2O3)을 5~50nm의 두께로 증착시켜 상기 패시베이션층을 형성하는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지의 제조 방법
7 7
제1 항에 있어서,상기 패시베이션층을 형성하는 단계에서,상기 반도체층의 전면에 비정질 실리콘을 1~10nm의 두께로 증착시켜 상기 패시베이션층을 형성하는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지의 제조 방법
8 8
제1 항에 있어서,제1 전극을 형성하는 단계에서,투명한 전도성 물질로 상기 제1 전극을 형성하는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지의 제조 방법
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제1 항에 있어서,제2 전극을 형성하는 단계에서,알루미늄(Al), 니켈(Ni), 구리(Cu), 은(Ag), 주석(Sn), 아연(Zn), 인듐(In), 티타늄(Ti), 금(Au) 중 하나의 물질 또는 적어도 2개의 물질의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택된 도전성 물질로 상기 제2 전극을 형성하는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지의 제조 방법
10 10
복수의 홀이 형성된 그라파이트 기판;상기 그라파이트 기판 상에 배치된 제1 도전성 타입의 그래핀층;상기 그래핀층 상에 배치된 제2 도전성 타입의 반도체층;상기 반도체층 상에 배치된 패시베이션층;상기 패시베이션층 상에 배치된 반사 방지막;상기 반사 방지막의 상부에 배치된 제1 전극; 및상기 그라파이트 기판의 하부에 배치된 제2 전극;을 포함하며,상기 복수의 홀은 상기 그라파이트 기판을 관통하여 형성되며,상기 그래핀층은 1~100nm의 두께를 가지는 복수의 서브 그래핀층이 적층되어 형성되며,상기 그래핀층은 상기 그라파이트 기판의 상부 및 상기 복수의 홀 내에 배치되는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지
11 11
삭제
12 12
제10 항에 있어서,상기 제1 도전성 타입은 N형 도전성 타입이며,상기 그래핀층은 인(P), 비소(As), 안티몬(Sb) 중 적어도 하나의 불순물을 포함하는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지
13 13
제10 항에 있어서,상기 제2 도전성 타입은 P형 도전성 타입이며,상기 반도체층은 붕소(B), 갈륨(Ga), 인듐(In) 중 적어도 하나의 불순물을 포함하는,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지
14 14
제10 항에 있어서,상기 패시베이션층은 상기 반도체층의 전면에 산화 알루미늄(Al2O3)이 5~50nm의 두께로 증착되어 형성된,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지
15 15
제10 항에 있어서,상기 패시베이션층은 상기 반도체층의 전면에 비정질 실리콘을 1~10nm의 두께로 증착되어 형성된,그라파이트 기판 및 그래핀을 이용한 태양 전지
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)뉴파워프라즈마 전략적핵심소재기술개발사업 셀효율 15% 이상의 실리콘 코팅 Carbon fiber 전자소재 개발