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밀폐된 내부 공간에 작동 유체가 밀실하게 채워진 압력 챔버; 상기 압력 챔버와 인접하여 배치되며, 내부에 약물 용액이 수용되고 일측에 상기 약물 용액이 외부로 배출되는 마이크로 노즐이 형성된 약물 챔버;확장 및 원상회복이 가능하도록 탄성을 가지는 막으로서 상기 압력 챔버와 상기 약물 챔버의 사이를 분리 구획하는 탄성막;상기 압력 챔버 내의 작동 유체에 전기 에너지를 가하여 상기 작동 유체 내에 절연 파괴에 의한 버블을 발생시키는 전극 및;상기 전극 주변의 작동 유체에 미세한 크기의 버블을 발생시키는 마이크로 버블 발생기;을 포함하여 구성된 마이크로젯 분사 장치
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제1항에 있어서, 상기 전극에 전기 에너지를 공급하는 전원 공급부를 더 포함하여 구성된 마이크로젯 분사 장치
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제1항에 있어서, 상기 마이크로 버블 발생기는 상기 전극 및; 상기 전극에 전기 에너지를 인가하여 전극 주변의 작동 유체에 전류를 흐르게 하는 전원 공급 장치를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로젯 분사 장치
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제1항에 있어서, 상기 압력 챔버에는 내부에 채워진 작동 유체를 외부로 배출하는 유체 배출구와; 외부에서 압력 챔버 내로 작동 유체를 공급하는 유체 유입구;가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로젯 분사 장치
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제4항에 있어서, 상기 유체 배출구로부터 배출된 작동 유체는, 작동 유체 내부에 포함된 기체 버블을 제거하는 필터를 거쳐 상기 유체 유입구를 통해 압력 챔버로 순환 공급되도록 한 것을 특징으로 하는 마이크로젯 분사 장치
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제1항에 있어서, 상기 마이크로 버블 발생기를 가동하여 상기 전극 주변에 미세 버블을 발생시킨 다음, 상기 전극에 전기 에너지를 인가하여 상기 작동 유체에 절연 파괴에 의한 버블을 발생시키는 제어를 수행하는 제어모듈을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로젯 분사 장치
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제1항에 있어서, 상기 작동 유체는 물인 것을 특징으로 하는 마이크로젯 분사 장치
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밀폐된 내부 공간에 작동 유체가 밀실하게 채워진 압력 챔버와; 상기 압력 챔버와 인접하여 배치되며, 내부에 약물 용액이 수용되고 일측에 상기 약물 용액이 외부로 배출되는 마이크로 노즐이 형성된 약물 챔버와; 확장 및 원상회복이 가능하도록 탄성을 가지는 막으로서 상기 압력 챔버와 상기 약물 챔버의 사이를 분리 구획하는 탄성막과; 상기 압력 챔버 내의 작동 유체에 전기 에너지를 가하여 상기 작동 유체 내에 버블을 발생시키는 전극과; 상기 압력 챔버의 내부에 설치되고, 상기 전극의 주변의 작동 유체에 미세한 크기의 버블을 발생시키는 마이크로 버블 발생기 및; 상기 전극에 전기 에너지를 공급하는 전원 공급부;를 포함하여 구성된 마이크로젯 분사 장치의 동작을 제어하는 방법으로서,(a) 상기 마이크로 버블 발생기를 가동하여 상기 전극의 주변에 미세 버블을 발생시키는 단계;(b) 상기 미세 버블이 발생된 상태에서, 상기 전극에 전기 에너지를 인가하여 상기 작동 유체에 절연 파괴에 의한 버블을 발생시키는 단계;를 포함하여 이루어지는 마이크로젯 분사 장치의 동작 제어 방법
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제8항에 있어서, 상기 마이크로 버블 발생기는 상기 전극 및; 상기 전극에 전기 에너지를 인가하여 전극 주변의 작동 유체에 전류를 흐르게 하는 전원 공급 장치를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로젯 분사 장치의 동작 제어 방법
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제8항에 있어서, 상기 압력 챔버에는 내부에 채워진 작동 유체를 외부로 배출하는 유체 배출구와; 외부에서 압력 챔버 내로 작동 유체를 공급하는 유체 유입구;가 더 형성되고,(c) 상기 압력 챔버 내에 저장된 작동 유체의 전부 또는 일부를 상기 유체 배출구를 통해 외부로 배출하는 단계;(d) 상기 유체 유입구를 통해 상기 압력 챔버 내로 작동 유체를 공급하여 압력 챔버 내부를 밀실하게 채우는 단계;를 더 포함하여 이루어지는 마이크로젯 분사 장치의 동작 제어 방법
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제10항에 있어서, 상기 (d) 단계에서 압력 챔버 내로 공급되는 작동 유체는, 상기 (c) 단계에서 배출된 작동 유체로부터 기체 버블의 제거 처리가 된 작동 유체를 순환 공급한 것임을 특징으로 하는 마이크로젯 분사 장치의 동작 제어 방법
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