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자기이력곡선 연속 측정장치에 있어서,측정대상 조성경사형 박막이 지나가는 영역에 상기 조성경사형 박막과 접촉되지 않도록 이격된 상태로 설치되며, 상기 조성경사형 박막에 자기장을 인가하는 N극 및 S극으로 이루어진 영구자석부재와;상기 영구자석부재와 상기 조성경사형 박막 간의 거리를 조절하고, 상기 조성경사형 박막과 근접하는 상기 영구자석부재의 영역 중 N극 및 S극이 교대로 근접하도록 상기 영구자석부재를 상기 조성경사형 박막의 길이방향을 따라 수직으로 배치하고, 상기 조성경사형 박막의 표면에 수직 또는 수평으로 자기장을 가할 수 있도록 구동시키는 자석구동부와;상기 조성경사형 박막이 지나가는 영역과 상기 영구자석부재의 사이에 설치되어 상기 영구자석부재의 자기장에 의한 상기 조성경사형 박막의 자화도를 일정 간격으로 측정하는 홀프로브센서와;상기 조성경사형 박막이 상기 홀프로브센서와 근접 또는 이격되도록 위치를 조절하는 박막이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정장치
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제 1항에 있어서,상이한 자성재료를 증발시키는 복수 개의 증발기를 내부에 포함하며, 기판이 내부로 장입되어 상기 기판에 자성재료를 증착시켜 상기 조성경사형 박막이 형성되는 챔버와;상기 조성경사형 박막이 연속이동 가능하도록 상기 조성경사형 박막을 공급 및 회수하는 공급부 및 회수부를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정장치
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제 2항에 있어서,상기 공급부 및 상기 회수부는 각각 릴(reel)로 이루어지며, 상기 조성경사형 박막은 릴투릴(reel-to-reel) 방식으로 연속이동되는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 홀프로브센서는, 상기 조성경사형 박막이 근접 배치된 상태에서 1차 측정을 수행하고, 상기 조성경사형 박막이 이격 배치된 상태에서 2차 측정을 수행하며, 제어부를 통해 상기 1차 측정 및 상기 2차 측정의 차이를 계산하여 상기 조성경사형 박막의 자화도를 확인하는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정장치
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제 4항에 있어서,상기 1차 측정은 상기 영구자석부재의 자기장 및 상기 조성경사형 박막의 자화도가 측정되며, 상기 2차 측정은 상기 영구자석부재의 자기장 만 측정되는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 영구자석부재는 길이방향을 따라 복수 개의 영구자석이 동일한 극끼리 서로 마주보도록 배치되며, 상기 영구자석 사이에는 금속심이 배치되어 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 영구자석부재는 상기 조성경사형 박막의 폭방향에 해당하는 측면을 향해 자기장을 인가하도록 배치되며, 상기 조성경사형 박막의 측면과의 거리가 조절되도록 상기 자석구동부가 구동되는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 영구자석부재는 상기 조성경사형 박막의 폭방향에 해당하는 측면을 향해 자기장을 인가하도록 배치되며, 상기 조성경사형 박막의 상면과의 거리가 조절되도록 상기 자석구동부가 구동되는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정장치
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제 1항에 있어서,상기 영구자석부재는 자장이 1 내지 1
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자기이력곡선 연속 측정방법에 있어서,조성경사형 박막을 이동시켜 영구자석부재 및 홀프로브센서 주위에 배치하는 단계와;상기 홀프로브센서 주위에 상기 조성경사형 박막이 근접 배치된 상태에서 자화도를 1차 측정하고, 상기 홀프로브센서 주위에 상기 조성경사형 박막이 이격 배치된 상태에서 자화도를 2차 측정하여 상기 조성경사형 박막의 자화도를 확인하는 단계와;상기 조성경사형 박막의 자화도를 기초하여 해당 영역의 잔류자화 및 보자력을 확인하고, 최적의 자성재료 조성비를 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정방법
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제 10항에 있어서,상기 조성경사형 박막을 이동시켜 영구자석부재 및 홀프로브센서 주위에 배치하는 단계와, 상기 조성경사형 박막의 자화도를 확인하는 단계는 반복 수행되는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정방법
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제 10항에 있어서,상기 조성경사형 박막을 이동시켜 영구자석부재 주위에 배치하는 단계 이전에,기판에 복수의 자성재료를 증착하여 조성경사형 박막을 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정방법
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제 10항에 있어서,상기 1차 측정은 상기 영구자석부재의 자기장 및 상기 조성경사형 박막의 자화도가 측정되며, 상기 2차 측정은 상기 영구자석부재의 자기장 만 측정되는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정장치
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제 10항에 있어서,상기 자화도를 연속 측정하는 단계는,상기 영구자석부재와 상기 조성경사형 박막 간의 간격을 조절하면서 측정하는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정방법
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제 14항에 있어서,상기 조성경사형 박막과 상기 영구자석부재 중 N극이 서로 멀리 떨어진 상태에서부터 점점 가까워진 후 반대로 점점 멀어지도록 하며, 상기 조성경사형 박막과 상기 영구자석부재 중 S극이 서로 멀리 떨어진 상태에서부터 점점 가까워진 후 반대로 점점 멀어지도록 하여 상기 조성경사형 박막이 느끼는 자기장의 세기를 통해 자화도를 측정하는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정방법
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제 10항에 있어서,상기 최적의 자성재료 조성비를 얻는 단계에서,상기 잔류자화 및 상기 보자력은 히스테리시스 곡선을 통해 확인되는 것을 특징으로 하는 자기이력곡선 연속 측정방법
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