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기체 차단용 필름 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019021449
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기체 차단용 필름 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 기판; 및 상기 기판 상에 위치하고, 실리콘(Si), 질소(N), 및 수소(H)를 포함하며, 상기 실리콘, 질소, 및 수소의 함량 관계를 하기 식 1로 나타낼 때, 하기 식 2를 만족하는 실리콘질화막;을 포함하는 기체 차단용 필름 및 이의 제조방법을 제공할 수 있다. [식 1] SixNyHz [식 2] 1.0 ≤ z/y ≤ 1.4
Int. CL C23C 16/34 (2006.01.01) C23C 16/511 (2006.01.01) C23C 16/54 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01) C08J 5/18 (2006.01.01)
CPC C23C 16/345(2013.01) C23C 16/345(2013.01) C23C 16/345(2013.01) C23C 16/345(2013.01) C23C 16/345(2013.01)
출원번호/일자 1020180051219 (2018.05.03)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0127086 (2019.11.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.05.03)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조성근 대전광역시 서구
2 조태연 대전광역시 유성구
3 이재흥 대전광역시 유성구
4 이상진 대전광역시 유성구
5 최우진 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2018-0439192-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.07.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2019-0112599-48
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.12.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0896611-18
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2020.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2020-0134711-81
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2020.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2020-0255753-47
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.03.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0255744-36
8 등록결정서
Decision to grant		 2020.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0492237-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 및상기 기판 상에 위치하고, 실리콘(Si), 질소(N), 및 수소(H)를 포함하며, 상기 실리콘, 질소, 및 수소의 함량 관계를 하기 식 1로 나타낼 때, 하기 식 2 및 식 3을 만족하는 실리콘질화막;을 포함하는 기체 차단용 필름
2 2
제 1항에서,상기 기판은 플라스틱 기판인 기체 차단용 필름
3 3
삭제
4 4
제 1항에서,상기 식 1에서, 0
5 5
제 1항에서,상기 실리콘질화막의 두께가 30 내지 300nm인 기체 차단용 필름
6 6
실란 가스(SiH4) 및 암모니아 가스(NH3)를 원료로 하고, 마이크로웨이브(microwave)를 에너지원으로 하는 플라즈마 강화 화학 기상 증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)을 이용하여 기판 상에 실리콘질화막을 성막하는 단계;를 포함하고, 상기 실리콘질화막을 성막하는 단계에서 암모니아 가스의 유량에 대한 실란 가스의 유량의 비율이 2 내지 5인, 제 1항의 기체 차단용 필름의 제조방법
7 7
제 6항에서,상기 기판은 플라스틱 기판인 기체 차단용 필름의 제조방법
8 8
제 6항에서,상기 원료에 수소 가스(H2)가 포함되지 않는 기체 차단용 필름의 제조방법
9 9
제 6항에서,상기 실리콘질화막을 성막하는 단계는, 상기 기판을 롤투롤 방식으로 이송하면서 수행되는 것인 기체 차단용 필름의 제조방법
10 10
삭제
11 11
제 1항의 기체 차단용 필름을 포함하는 플렉서블 디바이스
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국화학연구원 한국화학연구원 기관고유사업 기능성 코팅 소재 및 공정 개발 지원