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텅스텐(W) 금속 나노 분말을 포함하고, 입경 사이즈가 500nm 이하인 첨가제를 준비하는 단계;플라즈마 에칭을 수행하여 상기 첨가제의 표면을 가공하는 단계;Sn-Ag-Cu 합금, Sn-Cu 합금 및 Sn-Ag 합금 중에서 선택되는 하나 이상의 합금이 포함된 솔더를 용융하는 단계; 및상기 첨가제와 용융된 솔더를 혼합한 후 교반하여 조성물을 제조하는 단계;를 포함하고,텅스텐(W) 금속 나노 분말을 포함하는 첨가제를 준비하는 단계;는, 10 내지 30rpm으로 회전하는 베슬 및 상기 베슬 내에서 3000 내지 14000rpm으로 회전하는 임펠러를 이용하여 비정형의 텅스텐(W) 금속 나노 분말을 제조하는 방법으로 수행되고,상기 플라즈마 에칭은 70~95부피% CF4 및 5~30부피% O2 가스를 사용하며, 10~30mTorr의 진공도에서 30~180분간 에칭하고,첨가제와 용융된 솔더를 혼합한 후 교반하여 조성물을 제조하는 단계는,100 내지 500rpm으로 회전하는 프로펠러를 이용하여 10 내지 50분 동안 교반하는 방법에 의해 수행 되는 무연솔더 합금 조성물 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 텅스텐(W) 금속 나노 분말을 준비하는 단계; 이후, 상기 금속 나노 분말 표면 중 적어도 일부를 금속 재질로 코팅하는 단계를 더 포함하는 것인 무연솔더 합금 조성물 제조방법
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제2항에 있어서,상기 금속 나노 분말 표면 중 적어도 일부를 금속 재질로 코팅하는 단계; 이후, 상기 플라즈마 에칭을 수행하여 상기 첨가제의 표면을 가공하는 단계;를 포함하는 무연솔더 합금 조성물 제조방법
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제2항에 있어서,상기 금속 나노 분말 표면 중 적어도 일부를 금속 재질로 코팅하는 단계는,스퍼터 코터를 이용하여, 20 내지 60mA의 전류로 70 내지 280초 동안 코팅하는 방법에 의해 수행되는 것인 무연솔더 합금 조성물 제조방법
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제1항에 있어서,상기 첨가제와 용융된 솔더를 혼합한 후 교반하여 조성물을 제조하는 단계 이후에는,상기 교반된 조성물을 관통홀에 통과시킴으로써 솔더볼로 가공하는 단계;를 더 포함하는 무연솔더 합금 조성물 제조방법
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