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상부에 제1 관통홀을 갖고, 내부공간을 제공하는 단열부;상기 단열부의 내부공간에 위치되며, 단결정 원료의 용융액을 수용하는 도가니;상기 도가니에 열을 가하여 상기 단결정 원료를 용융시키는 가열부;상기 제1 관통홀을 지나 상하 방향으로 이동하고 하단부에 종자결정이 부착되는 구동축;상기 구동축을 중심으로 대칭되게 돌출되도록 상기 구동축에 연결되어 상기 구동축과 연동하는 열차단부; 및 상기 제1 관통홀 상에 제공되는 덮개부를 포함하고,상기 덮개부는 상기 단열부의 상부면과 함께 상기 내부공간과 연통하는 보조공간을 형성하고, 상기 덮개부의 하단부의 폭이 상기 제1 관통홀의 폭보다 큰 단결정 성장장치
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제 1항에 있어서,상기 종자결정이 상기 용융액에 닿아 단결정을 성장시키는 용액공정 중에는,상기 열차단부가 상기 용융액의 상부면보다는 상기 단열부의 상부면과 가깝게 위치하도록 제공되는 단결정 성장장치
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제 1항에 있어서,상기 열차단부는 상기 제1 관통홀의 폭보다 좁은 폭을 갖는 단결정 성장장치
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제 1항에 있어서,상기 열차단부는 상기 구동축의 하단부로부터의 이격 거리를 조절할 수 있도록 상기 구동축에 연결되는 단결정 성장장치
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제 5항에 있어서,상기 구동축은 복수의 단위 기둥이 조립되어 형성되고,상기 열차단부는 상기 구동축의 단위 기둥 사이 중 어느 한 곳에 체결되어 상기 이격 거리를 조절하는 단결정 성장장치
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제 5항에 있어서,상기 구동축은 외부면의 적어도 일부에 형성된 제1 나사산과, 상기 열차단부의 내부면에 형성된 제2 나사산의 체결에 의해 상기 이격 거리를 조절하는 단결정 성장장치
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제 1항에 있어서,상기 덮개부는 상단부의 중앙 영역에 형성되는 제2 관통홀을 포함하는 단결정 성장장치
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제 1항에 있어서,상기 덮개부는 상기 구동축을 따라 이동하는 상기 열차단부와 연동하여 상하방향으로 이동하는 단결정 성장장치
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제 8항에 있어서,상기 열차단부의 폭이 상기 제2 관통홀의 폭보다 큰 단결정 성장장치
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제 8항에 있어서,상기 열차단부는 판상형태로서, 측단부는 상기 구동축을 중심으로 대칭되게 형성된 제1 경사면을 이루고,상기 제2 관통홀을 형성하는 상기 덮개부의 내측벽이 상기 제1 경사면과 평행한 제2 경사면을 이루며,상기 제1 경사면과 상기 제2 경사면이 적어도 부분적으로 맞닿는 단결정 성장장치
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제 1항에 있어서,상기 덮개부는 덮개부의 내부 표면으로부터 보조공간 내부로 돌출되는 돌출부를 포함하는 단결정 성장장치
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제 12항에 있어서,상기 돌출부의 적어도 일부분은 상기 보조공간 안에 있는 상기 단열부의 상부면 상에 위치하도록 제공되는 단결정 성장장치
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제 1항에 있어서,상기 단열부, 구동축, 열차단부 및 덮개부는 흑연으로 이루어진 단결정 성장장치
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제 1항에 있어서,상기 용융액에서 상기 단결정의 구성요소 중 적어도 하나의 용해도를 높여주는 촉매금속을 포함하는 단결정 성장장치
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