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마그네틱램

  • 기술번호 : KST2019021799
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마그네틱램에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 메모리셀을 포함하는 마그네틱램으로서, 상기 메모리셀은, 제1전극단자가 마련된 금속층; 상기 금속층의 하측에 접하도록 배치되며, 적어도 일부분의 자화(magnetization)방향이 업 또는 다운으로 됨으로써 소정의 정보가 저장될 수 있는 자기터널접합층; 상기 자기터널접합층의 하측에 접하도록 배치되고, 제2전극단자가 마련되어 있으며, 상기 자기터널접합층 측으로 스핀전류를 전달하는 스핀전류전달층; 상기 스핀전류전달층의 하측에 접하도록 배치되고, 상기 스핀전류전달층을 통하여 상기 자기터널접합층 측으로 전달될 스핀전류가 발생되는 스핀전류발생층; 및 상기 스핀전류발생층의 하측에 접하도록 배치되고, 제3전극단자가 마련되어 있으며, 상기 스핀전류발생층에서 상기 스핀전류가 발생될 수 있도록 열전자를 상기 스핀전류발생층 측으로 주입시켜주는 열전자주입층; 을 포함하고, 상기 스핀전류에 의하여 상기 자기터널접합층 내 적어도 일부분에서 발생되는 스핀전달토크로 인하여 상기 자기터널접합층 내 적어도 일부분에서의 상기 자화방향이 변경될 수 있으므로 자기터널접합층 내 자유자성서브층의 자화방향을 스위칭 하는데 필요한 전류밀도를 감축시킬 수 있는 기술이 개시된다.
Int. CL H01L 43/08 (2006.01.01) H01L 43/10 (2006.01.01) H01L 43/02 (2006.01.01)
CPC H01L 43/08(2013.01) H01L 43/08(2013.01) H01L 43/08(2013.01) H01L 43/08(2013.01)
출원번호/일자 1020180072127 (2018.06.22)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-2053007-0000 (2019.12.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20191206) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.06.22)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민병철 서울특별시 성북구
2 최경민 경기도 수원시 권선구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2018.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2018-0615766-26
2 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.07.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0740376-22
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.12.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0065499-93
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-0499241-14
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0627205-42
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-1109142-35
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.10.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1109141-90
9 등록결정서
Decision to grant
2019.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0863331-66
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
메모리셀을 포함하는 마그네틱램으로서, 상기 메모리셀은,외부로부터 인가되는 전압을 받기 위한 제1전극단자가 마련된 금속층;상기 금속층의 하측에 배치되며 금속자성체를 포함하는 고정자성서브층과, 상기 고정자성서브층의 하측에 마련되고 금속자성체를 포함하는 자유자성서브층과, 상기 고정자성서브층 및 상기 자유자성서브층 사이에 위치하여 상기 고정자성서브층과 상기 자유자성서브층 사이를 절연시켜주는 절연서브층을 포함하는 자기터널접합층; 금속비자성체를 포함하여 이루어지고, 상기 자기터널접합층의 하측에 배치되고, 외부로부터 인가되는 전압을 받기 위한 제2전극단자가 마련되어 있으며, 상기 자기터널접합층 측으로 스핀전류를 전달하는 스핀전류전달층;상기 스핀전류전달층의 하측에 배치되고, 상기 스핀전류전달층을 통하여 상기 자기터널접합층 측으로 전달될 스핀전류가 발생되는 스핀전류발생층; 및 상기 스핀전류발생층의 하측에 배치되는 베이스절연층과, 상기 베이스절연층의 하측에 배치되고, 외부로부터 인가되는 전압을 받기 위한 제3전극단자가 마련되어 있으며, 금속비자성체를 포함하는 금속비자성베이스층을 포함하며, 상기 스핀전류발생층에서 상기 스핀전류가 발생될 수 있도록 열전자를 상기 스핀전류발생층 측으로 주입시켜주는 열전자주입층; 을 포함하고, 상기 스핀전류에 의하여 발생되는 스핀전달토크로 인하여 상기 자유자성서브층에서의 자화방향이 변경될 수 있는 것을 특징으로 하는 마그네틱램
2 2
제 1항에 있어서, 상기 금속층은 금속비자성체를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 마그네틱램
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 고정자성서브층은, FCT결정구조(face centered tetragonal crystal structure)의 FePt, FCT결정구조의 FePd, FCT결정구조의 CoPt, 다층박막구조의 , 다층박막구조의 , 다층박막구조의 , 적층구조의 CoFeB/Ta, 적층구조의 CoFeB/W 및 적층구조의 CoFeB/Hf 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마그네틱램
5 5
제 1항에 있어서, 상기 자유자성서브층은, FCT결정구조(face centered tetragonal crystal structure)의 FePt, FCT결정구조의 FePd, FCT결정구조의 CoPt, 다층박막구조의 Co/Pt, 다층박막구조의 Co/Pd, 다층박막구조의 Co/Ni, 적층구조의 CoFeB/Ta, 적층구조의 CoFeB/W 및 적층구조의 CoFeB/Hf 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마그네틱램
6 6
삭제
7 7
제 1항에 있어서, 상기 스핀전류발생층은, 금속자성체를 포함하여 이루어진 금속자성층인 것을 특징으로 하는 마그네틱램
8 8
제 1항에 있어서, 상기 고정자성서브층의 자화방향은 상기 스핀전류발생층의 자화방향에 대하여 수직인 것을 특징으로 하는 마그네틱램
9 9
제 1항에 있어서, 상기 스핀전류발생층은 Co, Fe, Ni, CoFe합금, NiFe합금, CoFeAl합금, CoAl합금 및 CoFeB 합금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 마그네틱램
10 10
제 1항에 있어서,상기 스핀전류발생층에서 발생되는 스핀전류는 상기 제3전극단자 및 상기 제2전극단자 사이에 인가되는 전압에 의하여 발생되는 것을 특징으로 하는 마그네틱램
11 11
제 1항에 있어서,제 1항에 있어서,상기 스핀전류발생층에서 발생되는 스핀전류는 상기 제3전극단자 및 상기 제1전극단자 사이에 인가되는 전압에 의하여 발생되는 것을 특징으로 하는 마그네틱램
12 12
제 1항에 있어서, 전압이 상기 제1전극단자 및 상기 제2전극단자 사이에 인가되어 상기 제1전극단자 측으로부터 상기 제2전극단자 측으로 흐르게 되는 전류로 인한 전류적 스핀전달토크가, 상기 스핀전류에 의한 스핀전달토크로 인해 자화방향이 변경된 자유자성서브층에 가해져서 상기 자유자성서브층의 자화방향이 다운방향이 되는 것을 특징으로 하는 마그네틱램
13 13
제 1항에 있어서, 전압이 상기 제1전극단자 및 상기 제2전극단자 사이에 인가되어 상기 제2전극단자 측으로부터 상기 제1전극단자 측으로 흐르게 되는 전류로 인한 전류적 스핀전달토크가, 상기 스핀전류에 의한 스핀전달토크로 인해 자화방향이 변경된 자유자성서브층에 가해져서 상기 자유자성서브층의 자화방향이 업(up)방향이 되는 것을 특징으로 하는 마그네틱램
14 14
제 1항에 있어서, 상기 메모리셀은제1전극단자, 제2전극단자 및 제3전극단자 사이에 배치되어 상기 제1전극단자, 제2전극단자 및 제3전극단자가 상호간에 직접적으로 통전되지 않도록 절연시켜주는 전극절연층; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마그네틱램
15 15
제1항에 있어서,상기 스핀전류발생층의 자화 방향은 박막의 평면에 수평인 방향이고, 상기 고정자성서브층의 자화 방향은 박막의 평면에 수직인 방향인 것을 특징으로 하는 마그네틱램
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국과학기술연구원 창의형 융합연구사업 스핀/양자현상을 이용한 초저전력 및 초고속 스핀 메모리 기술 개발