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탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계;상기 CNT 유기용매 혼합물을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 및상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합을 가지는 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계;를 포함하고,상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행되고,상기 멤브레인필터와 분리하는 단계에서 분리된 상기 CNT 박막은 변형률이 커질수록 저항이 커지는 스트레인 게이지용 신축성 CNT박막인 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 CNT는,1 내지 990 nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법
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제 1항에 있어서
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제1항에 있어서, 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 CNT분산용액을 생성하는 단계는,상기 CNT 유기용매 슬러지에 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막 제조 방법
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유기 용매와 탄소나노튜브를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계;상기 CNT가 분산된 CNT 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계;상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합을 가지는 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계; 및CNT 박막에 수소 반응성을 부여하고, CNT-CNT 직접 결합 및 CNT-수소반응물질 직접 결합체를 가지는 수소센서용 CNT 박막의 생성을 위해 상기 CNT 박막을 고온 산화처리하는 단계;를 포함하고,상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 CNT는,1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 CNT는,상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0
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제8항에 있어서, 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계는,상기 CNT 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 고온 산화처리하는 단계는,산소 또는 질소 분위기에서 50 내지 900 ℃로 30 내지 120분간 가열하여 수소반응물질인 카르복실기 또는 하이드록실기를 생성하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계;상기 CNT분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계;상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합을 가지는 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계; 및CNT-CNT 직접 결합 및 CNT-수소반응물질 직접 결합체를 가지는 수소센서용 CNT 박막의 생성을 위해 산성용액을 이용하여 상기 CNT 박막을 산화처리하는 단계;를 포함하고,상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제15항에 있어서, 상기 CNT,1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제15항에 있어서, 상기 CNT는,상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0
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제15항에 있어서, 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제15항에 있어서, 상기 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계는,상기 CNT 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제15항에 있어서, 상기 CNT 박막을 산화처리하는 단계는,상기 CNT 박막을 산성 용액에 침지하여 수소반응물질인 카르복실기 또는 하이드록실기를 생성하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT')와 유기용매를 혼합하여 CNT 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;상기 CNT 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;상기 CNT 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 분산 용액을 생성하는 단계;상기 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계;상기 멤브레인필터에 걸러져 건조되지 않은 CNT 박막을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합을 가지는 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계; 및CNT-CNT 직접 결합 및 CNT-수소반응물질 직접 결합체를 가지는 수소센서용 CNT 박막의 생성을 위해 상기 CNT 박막에 수소 반응물질을 증착시키는 단계;를 포함하고,상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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23
제22항에 있어서, 상기 CNT는,1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제22항에 있어서, 상기 CNT는,상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0
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제22항에 있어서, 상기 CNT 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,상기 CNT 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제22항에 있어서, 상기 CNT 분산 용액을 생성하는 단계는,상기 CNT 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제22항에 있어서, 상기 CNT 박막에 수소반응물질을 증착시키는 단계의 상기 수소반응물질은,Pt, Pd 또는 Au 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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탄소나노튜브(CNT: Carbon Nano Tube, 이하 'CNT'), 수소반응물질 및 유기용매를 혼합하여 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물을 생성하는 단계;상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물에 초음파를 인가하여 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지를 생성하는 단계;상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지에 기 설정된 에너지를 가지는 초음파를 인가하여 CNT를 분산시켜 CNT 수소반응물질 분산 용액을 생성하는 단계;상기 CNT 수소반응물질 분산용액을 멤브레인필터를 이용하여 진공여과를 수행하는 단계; 및상기 멤브레인필터에 걸러진 건조되지 않은 CNT 수소반응물질을 경화시켜 잔류 유기용매를 제거하고 CNT-CNT 직접 결합 및 CNT-수소반응물질 직접 결합체를 가지는 CNT 수소반응물질 박막으로 형성되는 수소센서용 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계;를 포함하고,상기 CNT 박막을 멤브레인필터와 분리하는 단계에서의 상기 경화는, 상기 CNT 박막의 면적의 감소가 20% 미만이 되도록 수축을 제한하기 위해 15 ℃ 내지 45 ℃의 온도 범위에서 30 분 내지 24 시간 수행하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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30
제29항에 있어서, 상기 CNT는,1 내지 990nm 크기의 다중벽 CNT(MW: Multi Walled Carbon Nano Tube), 단일벽 CNT(SW: Single Walled Carbon Nano Tube) 또는 플로렌(fullerene) 중 하나 이상을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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31
제29항에 있어서, 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물을 생성하는 단계에서 혼합되는 상기 수소반응물질은,Pt, Pd 또는 Au 중 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제29항에 있어서,상기 CNT와 상기 수소반응물질의 전체 중량은 상기 유기용매 전체 중량에 대하여 0
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제29항에 있어서, 상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지를 생성하는 단계는,상기 CNT 수소반응물질 유기용매 혼합물에 30 내지 480분 동안 10 내지 100kHz의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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제29항에 있어서, 상기 CNT 수소반응물질을 분산시켜 CNT 수소반응물질 분산용액을 생성하는 단계는,상기 CNT 수소반응물질 유기용매 슬러지에 30 내지 120분 동안 100 내지 500 W의 초음파를 인가하는 과정인 것을 특징으로 하는 CNT 박막을 이용한 수소센서 제조 방법
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