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중심부의 상면에 제1경사축부(51)가 형성되고 하면에 컨디셔닝디스크(55)가 결합되는 디스크홀더(50)와,상기 디스크홀더(50)의 상측에 위치하고 원판디스크의 형상이며, 상기 제1경사축부(51)에 구면접촉 또는 볼접촉에 의해 결합되는 제2경사축부(61)가 하면의 중심부에 설치됨으로써 상기 디스크홀더(50)의 상대적인 경사작동이 가능하도록 하는 회전전달부재(60)와,상기 회전전달부재(60)를 회전시키도록 회전전달부재(60)에 결합되는 회전축부(70)와,상기 제1경사축부(51) 및 상기 제2경사축부(61)를 중심으로 둘레를 따라 형성되는 것으로서 상기 회전전달부재(60)와 상기 디스크홀더(50)를 결합시키는 가동결합구조를 포함하되,상기 가동결합구조는, 상기 회전전달부재(60)가 상기 디스크홀더(50)를 회전시킴과 함께 상기 회전전달부재(60)에 대하여 상기 디스크홀더(50)의 상기 경사작동이 가능하도록, 홈과 돌기가 맞물려 상하방향으로 서로 상대적인 이동이 가능한 구조로서, 상기 회전전달부재(60)의 외주면을 따라 일정간격으로 형성되고 중심방향으로 오목한 걸림홈(62)과,상기 디스크홀더(50)의 상면에서 상측으로 돌출되도록 둘레를 따라 일정간격으로 설치되고 상기 걸림홈(62)에 각각 끼워져 맞물리는 걸림핀(52)을 포함하고,상기 디스크홀더(50)가 상기 회전전달부재(60)에 대하여 경사지는 각도를 제한할 수 있도록, 상기 회전전달부재(60)를 상측에서 덮고, 상기 디스크홀더(50)의 둘레를 따라 상기 디스크홀더(50)에 결합되는 환형의 커버부재(81)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 컨디셔너
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제1항에 있어서,상기 걸림홈(62)의 내면은 돌출된 구면이나 라운드된 곡면을 형성하여 상기 걸림핀(52)과 점접촉하도록 함으로써, 상기 회전전달부재(60)가 상기 디스크홀더(50)를 회전시 상기 걸림홈(62)의 내면과 상기 걸림핀(52)이 점접촉한 상태에서 상하방향으로 상대적인 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 컨디셔너
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스윙축(10a)을 구비하는 스윙구동부(10)와, 상기 스윙구동부(10)로부터 연마패드(P) 측으로 연장된 스윙아암(20)과, 상기 스윙아암(20)의 단부에 설치되어 상기 스윙구동부(10)의 구동에 의해 스윙(swing)운동하고 상기 연마패드(P)에 대한 컨디셔닝을 수행하는 헤드부(30)를 포함하는 씨엠피장치의 컨디셔너에 있어서,상기 헤드부(30)에는중심부의 상면에 제1경사축부(51)가 형성되고 하면에 컨디셔닝디스크(55)가 결합되는 디스크홀더(50)와,상기 디스크홀더(50)의 상측에 위치하고, 원판디스크의 형상이며, 상기 제1경사축부(51)에 구면접촉 또는 볼접촉에 의해 결합되는 제2경사축부(61)가 하면의 중심부에 설치됨으로써 상기 디스크홀더(50)의 상대적인 경사작동이 가능하도록 하는 회전전달부재(60)와,상기 회전전달부재(60)를 회전시키도록 회전전달부재(60)에 결합되는 회전축부(70)와,상기 회전축부(70)를 회전시키는 회전구동부(43)와,상기 제1경사축부(51) 및 상기 제2경사축부(61)를 중심으로 둘레를 따라 형성되는 것으로서 상기 회전전달부재(60)와 상기 디스크홀더(50)를 결합시키는 가동결합구조를 포함하되,상기 가동결합구조는, 상기 회전전달부재(60)가 상기 디스크홀더(50)를 회전시킴과 함께 상기 회전전달부재(60)에 대하여 상기 디스크홀더(50)의 상기 경사작동이 가능하도록, 홈과 돌기가 맞물려 상하방향으로 서로 상대적인 이동이 가능한 구조로서, 상기 회전전달부재(60)의 외주면을 따라 일정간격으로 형성되고 중심방향으로 오목한 걸림홈(62)과,상기 디스크홀더(50)의 상면에서 상측으로 돌출되도록 둘레를 따라 일정간격으로 설치되고 상기 걸림홈(62)에 각각 끼워져 맞물리는 걸림핀(52)을 포함하고,상기 디스크홀더(50)가 상기 회전전달부재(60)에 대하여 경사지는 각도를 제한할 수 있도록, 상기 회전전달부재(60)를 상측에서 덮고, 상기 디스크홀더(50)의 둘레를 따라 상기 디스크홀더(50)에 결합되는 환형의 커버부재(81)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 씨엠피장치의 컨디셔너
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제6항에 있어서,상기 걸림홈(62)의 내면은 돌출된 구면이나 라운드된 곡면을 형성하여 상기 걸림핀(52)과 점접촉하도록 함으로써, 상기 회전전달부재(60)가 상기 디스크홀더(50)를 회전시 상기 걸림홈(62)의 내면과 상기 걸림핀(52)이 점접촉한 상태에서 상하방향으로 상대적인 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 컨디셔너
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제6항 또는 제7항에 있어서,상기 디스크홀더(50)에 외력을 부가하여 상기 컨디셔닝디스크(55)의 컨디셔닝강도를 상기 제1경사축부(51)의 일측편과 타측편에서 서로 차이가 발생하도록 조절하는 가압조절부를 포함하되,상기 일측편과 타측편은, 각각,상기 디스크홀더(50)에서,상기 헤드부(30)가 스윙운동하는 방향을 기준으로 할 때의 일측과 타측의 방향에 대응하는 일측편과 타측편인 것을 특징으로 하는 씨엠피장치의 컨디셔너
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제9항에 있어서,상기 가압조절부의 작동을 제어하는 제어부(95)가 설치되고,상기 제어부(95)는상기 헤드부(30)가 스윙운동에 의해 일단측으로 이동시는, 상기 컨디셔닝디스크(55)에서 일측편이 타측편보다 더 연마패드(P)를 가압하도록 상기 가압조절부를 제어하고, 타단측으로 이동시는, 상기 컨디셔닝디스크(55)에서 타측편이 일측편보다 더 연마패드(P)를 가압하도록 상기 가압조절부를 제어하는 것을 특징으로 하는 씨엠피장치의 컨디셔너
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