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연마패드에 대한 가압력 조절이 가능한 씨엠피장치의 컨디셔너

  • 기술번호 : KST2019021971
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 연마패드의 마모가 전체적으로 균일하게 이루어질 수 있도록, 연마패드의 중심부 근처와 에지부 근처에서 컨디셔닝을 위한 컨디셔닝디스크부의 가압력 조절이 가능하도록 구성한 씨엠피장치의 컨디셔너를 제공하는 것이다. 본 발명은 연마패드의 표면과 마찰하면서 스윙(swing)운동함에 의해 연마패드의 표면상태를 개선하기 위한 컨디셔너에 있어서, 연마패드와 접촉하는 컨디셔닝디스크부와, 상기 컨디셔닝디스크부의 경사동작이 가능하도록 하단부가 컨디셔닝디스크부의 중심부와 결합축에 의해 결합되는 중심샤프트부와, 상기 컨디셔닝디스크부에 자력에 의한 외력을 부가하여 컨디셔닝디스크부의 컨디셔닝강도를 결합축의 일측편과 타측편에서 서로 차이가 발생하도록 하는 가압조절부를 포함한다.
Int. CL H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/304 (2006.01.01) B24B 53/017 (2012.01.01)
CPC H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01)
출원번호/일자 1020180061528 (2018.05.30)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0136184 (2019.12.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.05.30)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형재 부산광역시 북구
2 이상직 부산광역시 연제구
3 조한철 부산광역시 강서구
4 김도연 부산광역시 부산진구
5 이태경 경상남도 양산시 웅상대로 ***,
6 강정진 서울특별시 서대문구
7 황정호 경기도 성남시 수정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동국 대한민국 부산광역시 동래구 명륜로 ** ,**층 *호(수안동, 경보이리스힐상가동)(한려국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2018.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-0529760-13
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.10.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0761399-90
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.11.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1164856-49
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2019-1164826-80
6 등록결정서
Decision to grant		 2020.01.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0008390-97
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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스윙축을 구비하는 스윙구동기(10)와, 상기 스윙구동기(10)로부터 연장된 스윙아암(20)과, 상기 스윙아암(20)의 단부에 설치되어 상기 스윙구동기(10)에 의한 스윙아암(20)의 스윙(swing)운동에 따라 운동하는 헤드(30)를 포함하는 씨엠피장치의 컨디셔너에 있어서,상기 헤드(30)는연마패드와 접촉하는 컨디셔닝디스크부(50)와,상기 컨디셔닝디스크부(50)의 경사동작이 가능하도록 하단부가 상기 컨디셔닝디스크부(50)의 중심부와 결합축(40)에 의해 결합되는 중심샤프트부(60)와,상기 컨디셔닝디스크부(50)에 자력에 의한 외력을 부가하여 상기 컨디셔닝디스크부(50)의 컨디셔닝강도를 상기 결합축(40)의 일측편과 타측편에서 서로 차이가 발생하도록 하는 가압조절부(70)와,상기 가압조절부(70)의 자력을 제어하는 제어부(80)를 포함하고,상기 일측편과 타측편은, 상기 스윙운동하는 방향을 기준으로 할 때의 일측과 타측의 방향에 대응하는 일측편과 타측편이며,상기 가압조절부(70)는, 상기 일측편과 타측편 중 선택적으로 상기 컨디셔닝디스크부(50)를 누르는 외력을 부가하도록 상기 컨디셔닝디스크부(50)의 상측에서 상기 중심샤프트부(60)의 외측에 설치되는 전자석(71)과,상기 컨디셔닝디스크부(50)의 둘레를 따라 일정간격으로 복수개가 설치되고 상기 전자석(71)과의 자력작용에 의해 상기 컨디셔닝디스크부(50)에 외력이 부가될 수 있도록 하는 자력작용체(72)를 포함하고,상기 전자석(71)은 상기 결합축(40)의 일측편과 타측편에 각각 설치되는 일측전자석(71a)과 타측전자석(71b)을 포함하며,상기 제어부(80)는상기 헤드(30)가 스윙운동에 의해 상기 스윙운동의 중간영역에서부터 일단측으로 이동시는, 이동해 갈수록 상기 컨디셔닝디스크부(50)에서 일측편이 타측편보다 점점 더 연마패드(P)를 가압하도록 상기 가압조절부(70)의 자력을 제어하고, 상기 스윙운동의 중간영역에서부터 타단측으로 이동시는, 이동해 갈수록 상기 컨디셔닝디스크부(50)에서 타측편이 일측편보다 점점 더 연마패드를 가압하도록 상기 가압조절부(70)의 자력을 제어하는 것을 특징으로 하는 씨엠피장치의 컨디셔너
6 6
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7 7
제5항에 있어서,상기 전자석(71)은 상기 중심샤프트부(60)를 둘러싸는 하우징에 결합되고,상기 자력작용체(72)는 상기 전자석(71)과 척력을 발생시키는 영구자석인 것을 특징으로 하는 씨엠피장치의 컨디셔너
8 8
삭제
9 9
제5항에 있어서,상기 결합축(40)은,상기 컨디셔닝디스크부(50)의 중심부의 상면에 형성된 제1경사축부(41)와,상기 중심샤프트부(60)의 하면에 형성되고 상기 제1경사축부(41)에 구면접촉 또는 볼접촉에 의해 결합되는 제2경사축부(42)를 포함하는 것을 특징으로 하는 씨엠피장치의 컨디셔너
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.