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물리증착용 타겟, 이에 의한 질화물 경질피막 및 이들의 제조방법

  • 기술번호 : KST2019021975
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Cr: 9 ~ 40 원자%, Fe: 0.1 ~ 6 원자% 및 잔부가 Al으로 구성된 합금으로 이루어진 물리증착용 타겟에 대하여 질소 및 불활성기체를 포함하는 혼합기체 분위기에서 물리증착 공정을 수행하여 구현한 질화물 경질피막으로서, Al을 기지로 하며, 5 ~ 25 원자%의 Cr 및 0.1 ~ 4 원자%의 Fe을 함유하는, 질화물 경질피막을 제공한다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/00 (2018.01.01) C23C 28/00 (2006.01.01) C22C 21/00 (2006.01.01) C22C 1/04 (2006.01.01) B22F 3/10 (2006.01.01) B22F 5/00 (2006.01.01)
CPC C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01)
출원번호/일자 1020190063398 (2019.05.29)
출원인 한국생산기술연구원, 주식회사 와이지-원
등록번호/일자 10-2055320-0000 (2019.12.06)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20191213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.05.29)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 주식회사 와이지-원 대한민국 인천광역시 부평구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문경일 인천광역시 남동구
2 이한찬 인천광역시 계양구
3 윤혜원 경기도 시흥시 정왕대로
4 정훈 경기도 평택시 탄현로
5 오세필 경기도 시흥시
6 박영군 인천광역시 남동구
7 김광식 인천광역시 서구
8 정세일 인천광역시 부평구
9 임창빈 경기도 김포시 유현

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남식 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2 이인행 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 *-*, *층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
2 주식회사 와이지-원 인천광역시 부평구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0553594-72
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-0608756-40
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2019.06.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2019.06.19 수리 (Accepted) 9-1-2019-0029084-50
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0634717-71
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.11.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1129717-46
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.11.04 수리 (Accepted) 1-1-2019-1129716-01
8 등록결정서
Decision to grant
2019.12.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0872585-56
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
삭제
3 3
Al 분말, Cr 분말 및 Fe 분말을 준비하는 단계;상기 Al 분말, 상기 Cr 분말 및 상기 Fe 분말을 혼합하여 기계적 합금화를 수행하는 단계; 및상기 기계적 합금화가 수행된 혼합분말을 진공 분위기 또는 대기 중에서 소결하는 단계; 를 포함하며, 상기 소결이 완료된 소결체는 Cr: 9 ~ 40 원자%, Fe: 0
4 4
Al 분말, Cr 분말, Fe 분말, Ti, Zr, Mn, Si, W, Mo, Nb, Y 및 V 중에서 선택된 어느 하나의 분말을 준비하는 단계;상기 Al 분말, 상기 Cr 분말, 상기 Fe 분말, 상기 Ti, Zr, Mn, Si, W, Mo, Nb, Y 및 V 중에서 선택된 어느 하나의 분말을 혼합하여 기계적 합금화를 수행하는 단계; 및상기 기계적 합금화가 수행된 혼합분말을 진공 분위기 또는 대기 중에서 소결하는 단계; 를 포함하며, 상기 소결이 완료된 소결체는 Cr: 9 ~ 32 원자%, Fe: 0
5 5
Cr: 9 ~ 40 원자%, Fe: 0
6 6
Cr: 9 ~ 32 원자%, Fe: 0
7 7
Cr: 9 ~ 40 원자%, Fe: 0
8 8
Cr: 9 ~ 32 원자%, Fe: 0
9 9
Al과 Cr으로 이루어진 AlCr층; 및상기 AlCr층 상에 형성된 제 5 항 및 제 6 항 중 어느 한 항에 의한 상기 질화물 경질피막;을 포함하는, 다층 코팅막
10 10
제 9 항에 있어서,상기 질화물 경질피막의 두께는 상기 다층 코팅막의 두께 중에서 60% 내지 90%인 것을 특징으로 하는, 다층 코팅막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)와이지원 나노융합산업핵심기술개발 기존 코팅소재보다 물성이 우수한 나노-마이크론 코팅소재 및 이를 적용한 난삭재 절삭공구개발