요약 | 본 발명은 Cr: 9 ~ 40 원자%, Fe: 0.1 ~ 6 원자% 및 잔부가 Al으로 구성된 합금으로 이루어진 물리증착용 타겟에 대하여 질소 및 불활성기체를 포함하는 혼합기체 분위기에서 물리증착 공정을 수행하여 구현한 질화물 경질피막으로서, Al을 기지로 하며, 5 ~ 25 원자%의 Cr 및 0.1 ~ 4 원자%의 Fe을 함유하는, 질화물 경질피막을 제공한다. |
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Int. CL | C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/00 (2018.01.01) C23C 28/00 (2006.01.01) C22C 21/00 (2006.01.01) C22C 1/04 (2006.01.01) B22F 3/10 (2006.01.01) B22F 5/00 (2006.01.01) |
CPC | C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020190063398 (2019.05.29) |
출원인 | 한국생산기술연구원, 주식회사 와이지-원 |
등록번호/일자 | 10-2055320-0000 (2019.12.06) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20191213) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 등록 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2019.05.29) |
심사청구항수 | 8 |